一种生产使用过程中化学品自动供给的管路系统的制作方法
【专利摘要】本发明涉及生产使用的过程中化学药品的供给系统领域，具体地说是一种生产使用过程中化学品自动供给的管路系统。包括控制系统、补液桶、供液罐、控制阀体、电磁阀、产生负压的管路系统、上位液压传感器及下位液压传感器，其中供液罐上设有液体进、出口和气体进、出口，所述液体进、出口和气体进、出口分别通过单独的所述控制阀体控制其开、关，各控制阀体分别与电磁阀连接；补液桶通过液体管路与供液罐上的液体进口连接，产生负压的管路系统通过气体管路与供液罐上的气体出口连接，上位液压传感器和下位液压传感器分别设置于供液罐的上部和下部，上位液压传感器、下位液压传感器及电磁阀均与所述控制系统连接。本发明保证设备生产的连续性以及危险化学品非人工自动供给的安全性。
【专利说明】—种生产使用过程中化学品自动供给的管路系统
【技术领域】
[0001]本发明属于生产使用的过程中液体供给系统领域，具体地说是一种生产使用过程中化学品自动供给的管路系统。
【背景技术】
[0002]目前，多数半导体设备，在液体供给过程中除了工厂自动化供应外，还需很多的手动供应液，而这些供应液有很多是有毒或是易挥发的液体，有的液体会频繁供给，这样就会给操作者带来很多不必要的麻烦。
【发明内容】
[0003]针对上述问题，本发明的目的在于提供一种生产使用过程中化学品自动供给的管路系统。该管路系统保证设备 生产的连续性以及危险化学品非人工自动供给的安全性。
[0004]为了实现上述目的，本发明采用以下技术方案:
[0005]一种生产使用过程中化学品自动供给的管路系统，包括控制系统、补液桶H、供液罐G、控制阀体、电磁阀、产生负压的管路系统、上位液压传感器C1及下位液压传感器C2，其中供液罐G上设有液体进、出口和气体进、出口，所述液体进、出口和气体进、出口分别通过独立的所述控制阀体控制其开、关，所述各控制阀体分别与独立的所述电磁阀连接、并由各电磁阀分别控制；所述供液罐G上的液体进口和液体出口分别通过液体管路与补液桶H和设备连接，所述供液罐G上的气体进口和气体出口分别通过气体管路与氮气源和产生负压的管路系统连接，所述上位液压传感器C1和下位液压传感器C2分别设置于供液罐G的上部和下部，所述上位液压传感器C1、下位液压传感器C2及各电磁阀均与所述控制系统连接。
[0006]所述产生负压的管路系统包括控制阀体Y4、控制阀体Y5及负压真空发生器Z，其中负压真空发生器Z的端部进气口通过气体管路与压缩气体源连接，所述负压真空发生器Z的侧壁通过气体管路与供液罐G的气体出口连接，所述负压真空发生器Z的端部进气口与压缩气体源及负压真空发生器Z的侧壁与供液罐G的气体出口之间分别设有控制阀体￥4和控制阀体Y5,所述控制阀体Y4和控制阀体Y5分别与电磁阀D4和电磁阀D5连接、并分别由电磁阀D4和电磁阀D5控制。
[0007]所述压缩气体源供给的压缩气体通过负压真空发生器Z排出时，使供液罐G内的气体通过控制阀体Y5被排出供液罐G的罐体外部。
[0008]所述供液罐G的排气管路上设有由电磁阀D6控制的控制阀体Y6,所述控制阀体Y6与产生负压的管路系统并联设置。所述供液罐G的气体进、出口并联设置，所述气体进、出口通过共同的气体管路与供液罐G连通。
[0009]所述控制阀体为气动控制阀体，与气动控制阀体连接的所述电磁阀与气源连接。所述电磁阀与气源之间设有压缩空气调压阀T和压力显示表。所述供液罐G为密闭容器。
[0010]本发明的优点及有益效果是:
[0011]1.本发明供液罐内部产生的负压不是靠外部真空管路提供的，而是靠自身的气体流动产生的负压，节省了真空供应能源。
[0012]2.本发明为自动供给，避免人员操作带来的危险性。
[0013]3.本发明操作简单，避免人为误操作，保障设备的连续运转，节省人力。
【专利附图】
【附图说明】
[0014]图1为本发明的管路示意图；
[0015]图2为本发明产生负压的局部管路示意图；
[0016]其中:1为电磁阀D1, 2为电磁阀D2, 3为电磁阀D3,4为电磁阀D6, 5为电磁阀D5,6为电磁阀D4, 7为控制阀体Y6,8为控制阀体Y5,9为控制阀体Y4，10为控制阀体Y3，11为控制阀体Y2,12为控制阀体Y1,13为压缩空气调压阀T，14为压力显示表Α，15为负压真空发生器Ζ，16为供液罐G，17为 上位液压传感器C1,18为下位液压传感器C2,19为药液桶H。
【具体实施方式】
[0017]下面结合附图对本发明作进一步的描述。
[0018]如图1所示，本发明包括控制系统、补液桶Η19、供液罐G16、控制阀体、电磁阀、产生负压的管路系统、气源、上位液压传感器CJ7及下位液压传感器C218，其中供液罐G16为密闭的容器，供液罐G16上设有液体进、出口和气体进、出口，供液罐G16上的气体进口与气体出口并联设置、并通过共同的气体管路与供液罐G16连接。所述液体进、出口和气体进、出口分别通过单独的所述控制阀体控制其开、关，所述各控制阀体分别与所述电磁阀连接、并由各电磁阀分别控制。供液罐G16的液体出口通过液体管路与设备连接，供液罐G16与设备之间的液体管路上设有由电磁阀D22控制的控制阀体Y2II，供液罐G16的液体进口通过液体管路与药液桶H19连接，供液罐G16与药液桶H19之间的液体管路上设有由电磁阀D1I控制的控制阀体Y112。供液罐G16的气体进口与氮气源连接，供液罐G16的气体进口与氮气源之间的气体管路上设有由电磁阀D33控制的控制阀体￥310。所述产生负压的管路系统通过气体管路与压缩气源II及供液罐G16上的气体出口连接。本实施例所述各控制阀体均采用二位二通气动控制阀体，各电磁阀为二位三通电磁阀、并均与压缩气源I连接，压缩气源I的气体出口处设有压缩空气调压阀T13和压力显示表14 ;上位液压传感器C1H和下位液压传感器C2IS分别设置于供液罐G16的上部和下部，上位液压传感器CJ7、下位液压传感器C2IS及各电磁阀均与所述控制系统连接，所述控制系统为现有技术。
[0019]所述产生负压的管路系统与包括控制阀体Y49和控制阀体Y5S及负压真空发生器Z15，其中负压真空发生器Z15的端部进气口通过气体管路与压缩气源II连接，所述负压真空发生器Z15的侧壁通过气体管路与供液罐G16的气体出口连接，所述负压真空发生器Z15的端部进气口与压缩气源II及负压真空发生器Z15的侧壁与供液罐G16的气体出口之间分别设有控制阀体Y49和控制阀体Y58，所述控制阀体Y49和控制阀体Y5S分别与电磁阀D46和电磁阀D55连接、并分别由电磁阀D46和电磁阀D55控制，控制阀体Y58与控制阀体Y3IO并联设置。供液罐G16的排气管路上还设有与控制阀体Y5S并联设置的由电磁阀D64控制的控制阀体Y67。控制阀体Y67总是关闭，只有在打开供液罐G16的密封盖前才打开，卸掉供液罐G16内部压力达到内外压力平衡。
[0020]本发明的工作原理是:[0021 ] 供液罐G16给设备供液时，控制阀体Y112为关闭状态，控制阀体Y211为开放状态。当供液罐G16内的药液少到下位液压传感器C2IS的下位时，下位液压传感器C2IS发出信号，控制系统接受信号、并发出指令，电磁_D22控制与其连接的控制阀体Y2Il关闭，电磁阀D1I控制与其连接的控制阀体Y1U打开，电磁阀D33控制与其连接的控制阀体Y3IO关闭，电磁阀D64控制与其连接的控制阀体Y67关闭(Y67总是关闭，只有在打开供液罐G16密封盖前才打开，卸掉供液罐G16内部压力达到内外压力平衡)。同时，电磁_D46控制与其连接的控制阀体Y49打开，电磁阀D55控制与其连接的控制阀体Y58打开，这样大量的压缩气体通过负压真空发生器Z15，使供液罐G16内的气体通过控制阀体￥58被排到供液罐G16的罐体外部，如图2所示。从而使供液罐G16的内部形成负压，为了达到压力平衡，迫使补给药液的药液桶H19内的药液被吸入供 液罐G16内。当供液罐G16内的药液上升到上位液压传感器C1H的上位时，上位液压传感器C1H发出信号，控制系统接收信号、并发出指令，电磁阀D1I控制与其连接的控制阀体Y1U关闭，电磁阀D22控制与其连接的控制阀体Y2Il打开，电磁阀D33控制与其连接的控制阀体Y3IO打开，电磁阀D55控制与其连接的控制阀体Y58关闭，从而达到供液罐G16的药液继续给设备供给的过程。
【权利要求】
1.一种生产使用过程中化学品自动供给的管路系统，包括控制系统，其特征在于:还包括补液桶H(19)、供液罐G(16)、控制阀体、电磁阀、产生负压的管路系统、上位液压传感器(；(17)及下位液压传感器C2 (18)，其中供液罐G(16)上设有液体进、出口和气体进、出口，所述液体进、出口和气体进、出口分别通过独立的所述控制阀体控制其开、关，所述各控制阀体分别与独立的所述电磁阀连接、并由各电磁阀分别控制；所述供液罐G(16)上的液体进口和液体出口分别通过液体管路与补液桶H(19)和设备连接，所述供液罐G(16)上的气体进口和气体出口分别通过气体管路与氮气源和产生负压的管路系统连接，所述上位液压传感器C1 (17)和下位液压传感器C2 (18)分别设置于供液罐G (16)的上部和下部，所述上位液压传感器C1 (17)、下位液压传感器C2(IS)及各电磁阀均与所述控制系统连接。
2.按权利要求1所述生产使用过程中化学品自动供给的管路系统，其特征在于:所述产生负压的管路系统包括控制阀体Y4(9)、控制阀体￥5(8)及负压真空发生器Z(15)，其中负压真空发生器Z (15)的端部进气口通过气体管路与压缩气体源连接，所述负压真空发生器Z(15)的侧壁通过气体管路与供液罐G(16)的气体出口连接，所述负压真空发生器Z(15)的端部进气口与压缩气体源及负压真空发生器Z(15)的侧壁与供液罐G(16)的气体出口之间分别设有控制阀体Y4 (9)和控制阀体Y5(8)，所述控制阀体Y4 (9)和控制阀体Y5(8)分别与电磁阀D4(6)和电磁_D5(5)连接、并分别由电磁阀D4(6)和电磁_D5(5)控制。
3.按权利要求1所述生产使用过程中化学品自动供给的管路系统，其特征在于:所述压缩气体源供给的压缩气体通过负压真空发生器Z (15)排出时，使供液罐G (16)内的气体通过控制阀体Y5(8)被排出供液罐G(16)的罐体外部。
4.按权利要求1所述生产使用过程中化学品自动供给的管路系统，其特征在于:所述供液罐G(16)的排气管路上设有由电磁阀D6(4)控制的控制阀体￥6(7)，所述控制阀体Y6(7)与产生负压的管路系统并联设置。
5.按权利要求1所述生产使用过程中化学品自动供给的管路系统，其特征在于:所述供液罐G(16)的气体进、出口并联设置`，所述气体进、出口通过共同的气体管路与供液罐G(16)连通。
6.按权利要求1所述生产使用过程中化学品自动供给的管路系统，其特征在于:所述控制阀体为气动控制阀体，与气动控制阀体连接的所述电磁阀与气源连接。
7.按权利要求6所述生产使用过程中化学品自动供给的管路系统，其特征在于:所述电磁阀与气源之间设有压缩空气调压阀T(13)和压力显示表(14)。
8.按权利要求1所述生产使用过程中化学品自动供给的管路系统，其特征在于:所述供液罐G(16)为密闭容器。
【文档编号】F17D1/08GK103727389SQ201210393826
【公开日】2014年4月16日 申请日期:2012年10月16日 优先权日:2012年10月16日
【发明者】汪明波 申请人:沈阳芯源微电子设备有限公司