技术总结
一种质量流量控制器，包括：第一流量计量仪，其被构造和布置为测量穿过质量流量控制器的质量的流率；第二流量计量仪，其被构造和布置为测量穿过质量流量控制器的质量的流率；控制阀，其被构造和布置为：响应于根据如由流量计量仪中的一个流量计量仪测量到的流率所产生的控制信号而控制穿过质量流量控制器的质量的流率；系统控制器，其被构造和布置为：产生控制信号，并且当如由第一流量计量仪测量到的质量的流率与如由第二流量计量仪测量到的质量的流率之间的差异超过阈值时提供指示。
技术研发人员：丁军华
受保护的技术使用者：MKS仪器公司
文档号码：201580013227
技术研发日：2015.02.13
技术公布日：2016.12.14