高纯供气压力变化自动切换装置的制作方法

文档序号:12939347阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种高纯供气压力变化自动切换装置,包括控制处理器(1),其特征在于:所述控制处理器(1)的输出端电连接气体压力检测传感器(2)的输入端,所述气体压力检测传感器(2)的输出端电连接气体压力计算模块(3)的输入端,所述气体压力计算模块(3)的输出端电连接数据反馈模块(4)的输入端,所述数据反馈模块(4)的输出端电连接控制处理器(1)的输入端,所述控制处理器(1)的输出端电连接标准气压模块(5),所述标准气压模块(5)的输出端电连接气压对比模块(6)的输入端,所述气压对比模块(6)与控制处理器(1)进行双向电连接,所述控制处理器(1)的输出端电连接气压调控指令下达模块(7)的输入端,所述气压调控指令下达模块(7)的输出端电连接分类控制模块(8)的输入端,所述分类控制模块(8)的输出端分别电连接气压降低模块(9)的输入端和气压升高模块(10)的输入端,所述气压降低模块(9)的输出端电连接供气速率降低模块(11)的输入端,所述气压升高模块(10)的输出端电连接供气速率加快模块(12)的输入端,所述供气速率降低模块(11)的输出端和供气速率加快模块(12)的输出端均电连接反馈模块(13)的输入端,所述反馈模块(13)的输出端电连接控制处理器(1)的输入端。

2.根据权利要求1所述的高纯供气压力变化自动切换装置,其特征在于:所述控制处理器(1)的输出端电连接仪器控制模块(14)的输入端,所述仪器控制模块(14)的输出端电连接供气装置(15)的输入端。

3.根据权利要求2所述的高纯供气压力变化自动切换装置,其特征在于:所述供气装置(15)包括供气量调节模块(16),所述仪器控制模块(14)的输出端电连接供气量调节模块(16)的输入端。

4.根据权利要求3所述的高纯供气压力变化自动切换装置,其特征在于:所述供气量调节模块(16)分别包括供气量加大模块(17)和供气量降低模块(18),所述仪器控制模块(14)的输出端电连接供气量加大模块(17)的输入端,所述仪器控制模块(14)的输出端电连接供气量降低模块(18)的输入端。

当前第2页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1