本实用新型涉及液相工作介质供应技术领域，尤其涉及一种液相工作介质供应系统。
背景技术：
由于全球电子、光伏产业的蓬勃发展，及我国政府大力提倡科技兴国，国内半导体、光伏制造业发展迅猛。
在半导体、光伏相关产业常用的制程中需要用到以液态存在的工作介质，工作介质在使用时位于钢瓶中，常用的方法是对钢瓶加热将工作介质以液态转化为气态，以气态进行输送，但是在输送过程中当热量补充不足会出现工作介质以气液混合态存在，流通速度比较慢，输送的流量小，无法满足多台设备同时使用。
技术实现要素：
为了解决现有液相工作介质采用加热方式进行输送出现流通速度慢、输送流量小的问题，本实用新型的目的是提供一种液相工作介质供应系统。
为了实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：一种液相工作介质供应系统，包括挤压气体输入管路、第一罐体和工作介质输出管路，所述挤压气体输入管路的输入端连接挤压气体的钢瓶，所述挤压气体输入管路上依次设置有第一手动阀、第一单向阀、第一过滤器、第一调压阀和第一气动阀，所述挤压气体输入管路的输出端连接第一罐体的进气口，所述第一罐体内储存有液相工作介质，所述工作介质输出管路的输入端位于第一罐体的底部，所述工作介质输出管路上依次设置有第一三通阀、第二三通阀和第二手动阀，所述工作介质输出管路的输出端连接复数个分支管路的输入端，所述分支管路上依次设置有第三手动阀和第三气动阀，所述分支管路的输出端连接工作管路。
采用上述方案，通过挤压气体输入管路向第一罐体内通入挤压气体，位于第一罐体内的液相工作介质被挤压至工作介质输出管路，工作介质输出管路连接复数个分支管路，将工作介质输出管路中的工作介质经分支管路排入多台设备同时使用。
通过以液态形式进行输送，相对于气态形式输送，流通速度快，输送效率高。
其中，所述挤压气体输入管路外侧设置有第一旁通管路和第二罐体，所述第一旁通管路与挤压气体输入管路的连接处位于第一调压阀和第一气动阀之间，所述第一旁通管路上设置有第四气动阀，所述第一旁通管路连接第二罐体的进气口，所述工作介质输出管路的外侧设置有第二旁通管路，所述第二旁通管路的输入端位于第二罐体的底部，所述第二旁通管路上依次设置有第三三通阀，第四三通阀和第四手动阀，所述第二旁通管路的输出端连接分支管路的输入端。
第二罐体作为第一罐体的备用罐体，在第一罐体内无液体工作介质时，通过第二罐体提供工作介质，同时第一旁通管路和第二旁通管路配合使用，避免生产车间的停工停产。
优选的是，所述液相工作介质供应系统还包括吹扫气体输入管路和吹扫气体输出管路，所述吹扫气体输入管路的输入端连接吹扫气体的钢瓶，所述吹扫气体输入管路上依次设置有第五手动阀、第二单向阀、第二过滤器、第二调压阀、第六手动阀和第七手动阀，所述吹扫气体输入管路与工作介质输出管路之间设置有第三旁通管路，所述第三旁通管路分别与吹扫气体输入管路和工作介质输出管路相连通，所述第三旁通管路上设置有第五气动阀，所述第五气动阀连接第二三通阀的一端，所述吹扫气体输入管路与分支管路的连接处位于第三手动阀和第三气动阀之间，所述吹扫气体输出管路的输入端连接第一三通阀的一端，所述吹扫气体输出管路上依次设置有第六气动阀、第三单向阀、第七气动阀和第八手动阀，所述第八手动阀连接吹扫气体输出管路的输出端。所述吹扫气体输出管路的外侧设置第七旁通管路，所述第七旁通管路与吹扫气体输出管路、第二旁通管路相连通，所述第七旁通管路的一端位于第三单向阀、第七气动阀之间，所述第七旁通管路的另一端连接第三三通阀的一端，所述第七旁通管路上设置有第九气动阀、第五单向阀。
通过设置吹扫气体输入管路和吹扫气体输出管路对工作介质输出管路和第二旁通管路进行吹扫，保证工作介质输出管路和第二旁通管路的洁净，避免第一罐体或第二罐体更换过程中空气、灰尘的进入，而影响产品的质量。
当第一罐体/第二罐体内气压不足时，吹扫气体输入管路通过第五气动阀/第八气动阀对工作介质输出管路/第二旁通管路中的工作介质进行挤压，保证工作介质的正常供应。
其中，所述第七气动阀外侧连接并设置有真空排放管路，所述真空排放管路一端设置吹扫气体入口，所述真空排放管路的另一端连通吹扫气体输出管路，所述真空排放管路与吹扫气体输出管路的连接处位于第三单向阀、第七气动阀之间，所述真空排放管路上依次设置有微漏阀和第四单向阀。
通过在第七气动阀外侧设置真空排放管路，使得吹扫气体输出管路的输出端处于负压状态，避免外界空气、颗粒物等进入，保证工作介质输出管路、第二旁通管路和分支管路的洁净。
优选的是，所述挤压气体输入管路外侧还设置有第四旁通管路，所述第四旁通管路上设置有第一泄压阀，所述第四旁通管路与挤压气体输入管路的连接处位于第一调压阀和第一气动阀之间。
当挤压气体输入管路中压力过大时，通过第一泄压阀排出部分挤压气体，保证挤压气体的安全使用。
优选的是，所述吹扫气体输入管路外侧还设置有第五旁通管路，所述第五旁通管路上设置有第二泄压阀，所述第五旁通管路与吹扫气体输入管路的连接处位于第二调压阀和第六手动阀之间。
当吹扫气体输入管路中压力过大时，通过第二泄压阀排出部分吹扫气体，保证吹扫气体的安全使用。
其中，吹扫气体和挤压气体均为惰性气体，如氮气或氩气。
优选的是，所述吹扫气体输入管路与第二旁通管路之间设置有第六旁通管路，所述第六旁通管路分别与吹扫气体输入管路、第二旁通管路相连通，所述第六旁通管路上设置有第八气动阀，所述第八气动阀连接第四三通阀的一端。
与现有技术相比，本实用新型实现的有益效果：本实用新型液相工作介质供应系统通过通入挤压气体将第一罐体或第二罐体内的工作介质挤压至工作管路，工作介质流通速度快，输送效率高；本实用新型液相工作介质供应系统实现第一罐体或第二罐体内工作介质的完全供应，避免工作介质残留带来浪费。
附图说明
以下结合附图和具体实施方式来进一步详细说明本实用新型：
图1是本实用新型液相工作介质供应系统实施例1的结构示意图；
图2是本实用新型液相工作介质供应系统实施例2的结构示意图；
图3是本实用新型液相工作介质供应系统实施例3的结构示意图；
图4是本实用新型液相工作介质供应系统实施例4的结构示意图。
其中：挤压气体输入管路1、第一罐体2、工作介质输出管路3，第一手动阀4、第一单向阀5、第一过滤器6、第一调压阀7、第一气动阀8，第一三通阀9、第二三通阀10、第二手动阀11，分支管路12、第三手动阀13、第三气动阀14，第一旁通管路15、第二罐体16，第四气动阀17，第二旁通管路18，第三三通阀19，第四三通阀20、第四手动阀21，吹扫气体输入管路22、吹扫气体输出管路23，第五手动阀24、第二单向阀25、第二过滤器26、第二调压阀27、第六手动阀28、第七手动阀29，第三旁通管路30，第五气动阀31，第六气动阀32、第三单向阀33、第七气动阀34、第八手动阀35，真空排放管路36，微漏阀37、第四单向阀38、第四旁通管路39，第一泄压阀40，第五旁通管路41，第二泄压阀42，第六旁通管路43，第八气动阀44、压力传感器、第七旁通管路46，第九气动阀47、第五单向阀48。
具体实施方式
实施例1
如图1，一种液相工作介质供应系统，包括挤压气体输入管路1、第一罐体2和工作介质输出管路3，挤压气体输入管路1的输入端连接挤压气体的钢瓶，挤压气体输入管路1上依次设置有第一手动阀4、第一单向阀5、第一过滤器6、第一调压阀7和第一气动阀8，挤压气体输入管路1外侧还设置有第四旁通管路39，第四旁通管路39上设置有第一泄压阀40，第四旁通管路39与挤压气体输入管路1的连接处位于第一调压阀7和第一气动阀8之间。挤压气体输入管路1的输出端连接第一罐体2的进气口，第一罐体2内储存有液相工作介质，工作介质输出管路3的输入端位于第一罐体2的底部，工作介质输出管路3上依次设置有第一三通阀9、第二三通阀10和第二手动阀11，工作介质输出管路3的输出端连接3个分支管路12的输入端，分支管路12上依次设置有第三手动阀13、压力传感器45和第三气动阀14，分支管路12的输出端连接工作管路。
挤压气体输入管路1向第一罐体2内通入挤压气体，位于第一罐体2内的液相工作介质被挤压至工作介质输出管路3，工作介质输出管路3连接3个分支管路12，将工作介质输出管路3中的工作介质经分支管路12供给多台设备，保证多台设备的同时使用。
挤压气体输入管路1中输入的挤压气体为不与工作介质发生作用的惰性气体，如氮气。
第一手动阀4控制挤压气体输入管路1的开与关，打开第一手动阀4，挤压气体进入挤压气体输入管路1，关闭第一手动阀4，挤压气体停止向挤压气体输入管路1供给挤压气体。
第一单向阀5，保证挤压气体输入管路1中只能存在挤压气体的单向流入，保证挤压气体钢瓶的洁净。
第一过滤器6用于对挤压气体进行净化处理，避免杂质引入影响工作介质。
第一调压阀7，用于调整进入挤压气体输入管路1中气体的压力，避免压力过大过小影响工作介质的正常输入，甚至造成安全事故。
第一气动阀8，用于控制挤压气体输入管路1是否向第一罐体2内输入挤压气体，打开第一气动阀8，挤压气体输入管路1中的挤压气体进入第一罐体2；关闭第一气动阀8，挤压气体输入管路1停止向第一罐体2输入挤压气体。
第一泄压阀40的设置，保证挤压气体输入管路1能够安全供应挤压气体，当挤压气体输入管路1中压力过大时，通过第一泄压阀40排出部分挤压气体。
通过向第一罐体2内输入挤压气体，将第一罐体2内的工作介质挤压至工作管路，大大提高了工作介质的输送效率并且降低了能耗。
实施例2
如图2，与实施例1不同的是，挤压气体输入管路1外侧设置有第一旁通管路15和第二罐体16，第一旁通管路15与挤压气体输入管路1的连接处位于第一调压阀7和第一气动阀8之间，第一旁通管路15上设置有第四气动阀17，第一旁通管路15连接第二罐体16的进气口，工作介质输出管路3的外侧设置有第二旁通管路18，第二旁通管路18的输入端位于第二罐体16的底部，第二旁通管路18上依次设置有第三三通阀19，第四三通阀20和第四手动阀21，第二旁通管路18的输出端连接分支管路12的输入端。
第二罐体16作为第一罐体2的备用罐体，在第一罐体2内无液体工作介质时，通过第二罐体16提供工作介质，同时第一旁通管路15和第二旁通管路18配合使用，避免生产车间的停工停产。
挤压气体通过第一手动阀4、第一单向阀5、第一过滤器6、第一调压阀7进入第一旁通管路15，打开第四气动阀17，挤压气体进入第二罐体16，将第二罐体16内的工作介质挤压至第二旁通管路18，第二旁通管路18连通分支管路12，进入工作管路中。
实施例3
如图3，与实施例1不同的是，液相工作介质供应系统包括吹扫气体输入管路22和吹扫气体输出管路23，吹扫气体输入管路22的输入端连接吹扫气体的钢瓶，吹扫气体输入管路22上依次设置有第五手动阀24、第二单向阀25、第二过滤器26、第二调压阀27、第六手动阀28和第七手动阀29，吹扫气体输入管路22与工作介质输出管路3之间设置有第三旁通管路30，第三旁通管路30分别与吹扫气体输入管路22和工作介质输出管路3相连通，第三旁通管路30上设置有第五气动阀31，第五气动阀31连接第二三通阀10的一端。吹扫气体输入管路22与分支管路12的连接处位于第三手动阀13和第三气动阀14之间，吹扫气体输出管路23的输入端连接第一三通阀9的一端，吹扫气体输出管路23上依次设置有第六气动阀32、第三单向阀33、第七气动阀34和第八手动阀35，第八手动阀35连接吹扫气体输出管路23的输出端。第七气动阀34外侧连接并设置有真空排放管路36，真空排放管路36一端设置吹扫气体入口，真空排放管路36的另一端连通吹扫气体输出管路23，真空排放管路36与吹扫气体输出管路23的连接处位于第三单向阀33、第七气动阀34之间，真空排放管路36上依次设置有微漏阀37和第四单向阀38。
吹扫气体输入管路22中输入的吹扫气体为不与工作介质发生作用的惰性气体，如氮气。
第五手动阀24，用于控制吹扫气体输入管路22的开与关，打开第五手动阀24，吹扫气体进入吹扫气体输入管路22；关闭第五手动阀24，吹扫气体停止进入吹扫气体输入管路22。
第二单向阀25，使得吹扫气体输入管路22中只能单向进入吹扫气体，储存吹扫气体的钢瓶免受污染。
第二过滤器26，用于对吹扫气体进行净化，避免吹扫气体污染管道。
第二调压阀27，用于调整吹扫气体输入管路中气体压力。
第六手动阀28、第七手动阀29控制吹扫气体进入分支管路12，对分支管路12进行吹扫。
第五气动阀31用于控制吹扫气体输入管路22在工作介质供应过程中当第一罐体2内气压不足时输出吹扫气体，保证工作介质输出管路3中工作介质的正常输出。
第一三通阀9、第二三通阀10的设置，使得工作介质输出管路3既能进行工作介质的供给，又能实现吹扫气体对工作介质输出管路3的吹扫及排出吹扫气体。
第六气动阀32，用于控制吹扫气体由工作介质输出管路3向吹扫气体输出管路23输出。
第三单向阀33，保证吹扫气体只能单向进入吹扫气体输出管路23，避免反方向流入影响工作介质输出管路3的吹扫效果。
通过设置吹扫气体输入管路22和吹扫气体输出管路23对工作介质输出管路3和分支管路12进行吹扫，保证工作介质输出管路3和分支管路12的洁净，避免第一罐体2更换过程中空气、灰尘的进入，而影响产品的质量。
当第一罐体2内气压不足时，吹扫气体输入管路22通过第五气动阀31对工作介质输出管路3中的工作介质进行挤压，保证工作介质的正常供应。
通过在第七气动阀34外侧设置真空排放管路36，使得吹扫气体输出管路23的输出端处于负压状态，避免外界空气、颗粒物等进入，保证工作介质输出管路3 和分支管路12的洁净。
其中，吹扫气体输入管路22外侧还设置有第五旁通管路41，第五旁通管路41上设置有第二泄压阀42，第五旁通管路41与吹扫气体输入管路22的连接处位于第二调压阀27和第六手动阀28之间。
当吹扫气体输入管路22中压力过大时，通过第二泄压阀42排出部分吹扫气体，保证吹扫气体的安全使用。
实施例4
如图4，与实施例3不同的是，挤压气体输入管路1外侧设置有第一旁通管路15和第二罐体16，第一旁通管路15与挤压气体输入管路1的连接处位于第一调压阀7和第一气动阀8之间，第一旁通管路15上设置有第四气动阀17，第一旁通管路15连接第二罐体16的进气口，工作介质输出管路3的外侧设置有第二旁通管路18，第二旁通管路18的输入端位于第二罐体16的底部，第二旁通管路18上依次设置有第三三通阀19，第四三通阀20和第四手动阀21，第二旁通管路18的输出端连接分支管路12的输入端。吹扫气体输入管路22与第二旁通管路18之间设置有第六旁通管路43，第六旁通管路43分别与吹扫气体输入管路22与第二旁通管路18相连通，第六旁通管路43上设置有第八气动阀44，第八气动阀44连接第四三通阀20的一端。吹扫气体输出管路23的外侧设置第七旁通管路46，第七旁通管路46与吹扫气体输出管路23、第二旁通管路18相连通，第七旁通管路46的一端位于第三单向阀33、第七气动阀34之间，第七旁通管路46的另一端连接第三三通阀19的一端，第七旁通管路46上设置有第九气动阀47、第五单向阀48。第八气动阀44用于控制吹扫气体输入管路22在工作介质供应过程中当第二罐体16内气压不足时输出吹扫气体，保证第二旁通管路18中工作介质的正常输出。第三三通阀19、第四三通阀20的设置，使得第二旁通管路18既能进行工作介质的供给，又能实现吹扫气体对第二旁通管路18的吹扫及排出吹扫气体。
第五单向阀48，保证吹扫气体只能单向进入第七旁通管路46，避免反方向流入影响第二旁通管路18和分支管路12的吹扫效果。
通过设置吹扫气体输入管路22和第七旁通管路46对第二旁通管路18和分支管路12进行吹扫，保证第二旁通管路18和分支管路12的洁净，避免第二罐体16更换过程中空气、灰尘的进入，而影响产品的质量。
当第二罐体16内气压不足时，吹扫气体输入管路22通过第八气动阀44对第二旁通管路18中的工作介质进行挤压，保证工作介质的正常供应。
工作过程：
1）吹扫过程
关闭第一手动阀4、第一单向阀5、第一过滤器6、第一调压阀7、第一气动阀8、第三气动阀14、第三手动阀13、第一三通阀9、第二三通阀10、第二手动阀11、第六气动阀32、第三单向阀33、第七气动阀34、第八手动阀35，打开第五手动阀24、第二单向阀25、第二过滤器26、第二调压阀27、第六手动阀28、第七手动阀29，吹扫气体进入分支管路12中，当压力传感器45感应到分支管路12中压力达到预定值、表示分支管路12中充满吹扫气体时，打开第三手动阀13、第一三通阀9、第二三通阀10、第二手动阀11、第六气动阀32、第三单向阀33、第七气动阀34和第八手动阀35，吹扫气体对分支管路12和工作介质输出管路3进行吹扫并自吹扫气体输出管路23排出。
对第二旁通管路18的吹扫与对工作介质输出管路3的吹扫类似。
2）挤压及输出工作介质过程。
关闭第五手动阀24、第二单向阀25、第二过滤器26、第二调压阀27、第六手动阀28、第七手动阀29、第六气动阀32、第三单向阀33、第七气动阀34、第八手动阀35，吹扫气体输入管路22与吹扫气体输出管路23处于关闭状态，吹扫气体输入管路22与吹扫气体输出管路23中无吹扫气体流动。
打开第一手动阀4、第一单向阀5、第一过滤器6、第一调压阀7、第一气动阀8、第一三通阀9、第二三通阀10、第二手动阀11、第三手动阀13和第三气动阀14，挤压气体进入第一罐体2内，位于第一罐体2内的工作介质在挤压气体的挤压作用下进入工作介质输出管路3，进而进入分支管路12，向工作管路中供应工作介质。
通过第二罐体16供应工作介质的过程与通过第一罐体2的过程类似。
在挤压及输出工作介质过程之前并非均进行吹扫过程，只有当第一罐体2或第二罐体16中无工作介质，在更换新的第一罐体2或第二罐体16后进行吹扫过程，避免罐体更换过程中空气或灰尘等的进入影响工作介质的洁净。
上述的具体实施方式只是示例性的，是为了更好地使本领域技术人员能够理解本专利，不能理解为是对本专利包括范围的限制；只要是根据本专利所揭示精神的所作的任何等同变更或修饰，均落入本专利包括的范围。