一种特气柜系统及其抽真空的方法与流程

本发明属于特气柜技术领域，尤其涉及一种特气柜系统及其抽真空的方法。

背景技术：

电子特气柜的主要目的是安全输送特气；众所周知，操作特气柜的主要要求之一是保证压力和纯度，压力通过调压压板来实现，纯度可通过系统的高气密性避免外部污染和通过过滤器过滤气体中的微粒来实现。

特气柜钢瓶操作的主要危险在于换瓶前管路中残留有危害性气体，因此需要对特气柜中的管路进行抽真空。

因此，发明一种特气柜系统及其抽真空的方法显得非常必要。

技术实现要素：

为了解决上述技术问题，本发明提供一种特气柜系统及其抽真空的方法，以解决换瓶前管路中残留有危害性气体，易造成气体的逃逸的问题。一种特气柜系统，包括抽真空系统，供气系统，吹扫系统和辅助管路系统，所述的抽真空系统与辅助管路系统配合连接；所述的供气系统分别与吹扫系统和辅助管路系统配合连接。

所述的抽真空系统包括真空供气阀，第一单向阀，u形管和真空发生器，所述的真空供气阀，第一单向阀和真空发生器串接在u形管上。

所述的供气系统包括低压气体隔离阀，第一在线过滤器，输送压力表，调压阀，第一隔离阀，紧急切断阀和气源压力表，所述的低压气体隔离阀下方串接有第一在线过滤器，所述的第一在线过滤器的下方通过三通接头连接有调压阀；所述的调压阀上螺纹连接有输送压力表；所述的第一隔离阀的两端通过气管分别与调压阀和紧急切断阀的下端口连接；所述的紧急切断阀的上端口连接有气源压力表。

所述的吹扫系统包括第二隔离阀，第三单向阀，第三隔离阀和第四单向阀，所述的第二隔离阀通过三通接头连接在排空阀二和切断阀的下端口处，该第二隔离阀的下方串接有第三单向阀；所述的第三隔离阀上端口通过三通接头与紧急切断阀和第六隔离阀连接；所述的第四单向阀串联在第三隔离阀的下方。

所述的辅助管路系统包括第四隔离阀，第二在线过滤器，排空阀一，第五单向阀，高压调压阀，第一压力表，第五隔离阀，排空阀二，切断阀，第二压力表，低压排空阀，第二单向阀，第三压力表和第六隔离阀，所述的第四隔离阀，第二在线过滤器，排空阀一和第五单向阀自上至下依次串接；所述的高压调压阀连接在第二在线过滤器和排空阀一之间；所述的第一压力表与高压调压阀配合连接；所述的第五隔离阀上端与高压调压阀连接，下端连接在排空阀二和切断阀之间；所述的排空阀二通过三通接头连接在第五单向阀的下方；所述的低压排空阀和第二单向阀串接；所述的第三压力表和第六隔离阀与第二单向阀下端口连接。

该特气柜系统抽真空的方法包括抽真空和充氮气两个步骤；

抽真空时：保持关闭低压气体隔离阀，第三隔离阀和第六隔离阀，打开真空供气阀，低压排空阀和第三隔离阀，当第三压力表上的显示小于-11psi时，完成抽真空；

充氮气时：关闭低压气体隔离阀，低压排空阀和第六隔离阀，打开第三隔离阀，调压阀，第一隔离阀和紧急切断阀，观察气源压力表上的压力与吹扫气源上的压力一致时完成充氮气。

所述的抽真空和充氮气的两步骤需要重复10次以上。

与现有技术相比，本发明具有如下有益效果：

本发明，通过真空系统先对特气柜系统进行抽真空，为保证特气柜系统内部残留的气体被完全抽出，然后利用吹扫系统充氮气进行管路吹扫，以抽真空-充氮气-抽真空的形式反复操作，至少10次以上，从而保证特气柜系统中的残留气体被完全抽出，防止残留气体的逃逸对操作人员或者空气造成危害，并保证特气柜在更换钢瓶时的安全。

附图说明

图1是本发明的结构示意图。

图2是本发明的真空系统结构示意图。

图3是本发明的供气系统结构示意图。

图4是本发明的吹扫系统结构示意图。

图5是本发明的辅助管路系统结构示意图。

图中：

1-真空系统，11-真空供气阀，12-第一单向阀，13-u形管，14-真空发生器，2-供气系统，21-低压气体隔离阀，22-第一在线过滤器，23-输送压力表，24-调压阀，25-第一隔离阀，26-紧急切断阀，27-气源压力表，3-吹扫系统，31-第二隔离阀，32-第三单向阀，33-第三隔离阀，34-第四单向阀，4-辅助管路系统，41-第四隔离阀，42-第二在线过滤器，43-排空阀一，44-第五单向阀，45-高压调压阀，46-第一压力表，47-第五隔离阀，48-排空阀二，49-切断阀，40-第二压力表，410-低压排空阀，411-第二单向阀，412-第三压力表，413-第六隔离阀。

具体实施方式

为了使本技术领域的人员更好地理解本发明方案，下面将对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分的实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本发明保护的范围。

如附图1至附图5所示。

本发明提供的一种特气柜系统，包括抽真空系统1，供气系统2，吹扫系统3和辅助管路系统4，所述的抽真空系统1与辅助管路系统4配合连接；所述的供气系统2分别与吹扫系统3和辅助管路系统4配合连接。

所述的抽真空系统1包括真空供气阀11，第一单向阀12，u形管13和真空发生器14，所述的真空供气阀11，第一单向阀12和真空发生器14串接在u形管13上。

所述的供气系统2包括低压气体隔离阀21，第一在线过滤器22，输送压力表23，调压阀24，第一隔离阀25，紧急切断阀26和气源压力表27，所述的低压气体隔离阀21下方串接有第一在线过滤器22，所述的第一在线过滤器22的下方通过三通接头连接有调压阀24；所述的调压阀24上螺纹连接有输送压力表23；所述的第一隔离阀25的两端通过气管分别与调压阀24和紧急切断阀26的下端口连接；所述的紧急切断阀26的上端口连接有气源压力表27。

所述的吹扫系统3包括第二隔离阀31，第三单向阀32，第三隔离阀33和第四单向阀34，所述的第二隔离阀31通过三通接头连接在排空阀二48和切断阀49的下端口处，该第二隔离阀31的下方串接有第三单向阀32；所述的第三隔离阀33上端口通过三通接头与紧急切断阀26和第六隔离阀413连接；所述的第四单向阀34串联在第三隔离阀33的下方。

所述的辅助管路系统4包括第四隔离阀41，第二在线过滤器42，排空阀一43，第五单向阀44，高压调压阀45，第一压力表46，第五隔离阀47，排空阀二48，切断阀49，第二压力表40，低压排空阀410，第二单向阀411，第三压力表412和第六隔离阀413，所述的第四隔离阀41，第二在线过滤器42，排空阀一43和第五单向阀44自上至下依次串接；所述的高压调压阀45连接在第二在线过滤器42和排空阀一43之间；所述的第一压力表46与高压调压阀45配合连接；所述的第五隔离阀47上端与高压调压阀45连接，下端连接在排空阀二48和切断阀49之间；所述的排空阀二48通过三通接头连接在第五单向阀44的下方；所述的低压排空阀410和第二单向阀411串接；所述的第三压力表412和第六隔离阀413与第二单向阀411下端口连接。

该特气柜系统抽真空的方法包括抽真空和充氮气两个步骤；

抽真空时：保持关闭低压气体隔离阀21，第三隔离阀33和第六隔离阀413，打开真空供气阀11，低压排空阀410和第三隔离阀33，当第三压力表412上的显示小于-11psi时，完成抽真空；

充氮气时：关闭低压气体隔离阀21，低压排空阀410和第六隔离阀413，打开第三隔离阀33，调压阀24，第一隔离阀25和紧急切断阀26，观察气源压力表27上的压力与吹扫气源上的压力一致时完成充氮气。

工作原理

本发明，通过真空系统1先对特气柜系统进行抽真空，抽真空时：保持关闭低压气体隔离阀21，第三隔离阀33和第六隔离阀413，打开真空供气阀11，低压排空阀410和第三隔离阀33，当第三压力表412上的显示小于-11psi时，完成抽真空，然后利用吹扫系统3充氮气进行管路吹扫，吹扫时：关闭低压气体隔离阀21，低压排空阀410和第六隔离阀413，打开第三隔离阀33，调压阀24，第一隔离阀25和紧急切断阀26，观察气源压力表27上的压力与吹扫气源上的压力一致时完成充氮气，本发明以抽真空-充氮气-抽真空的形式反复操作，至少10次以上，从而保证特气柜系统中的残留气体被完全抽出，防止残留气体的逃逸对操作人员或者空气造成危害，并保证特气柜在更换钢瓶时的安全。

利用本发明所述技术方案，或本领域的技术人员在本发明技术方案的启发下，设计出类似的技术方案，而达到上述技术效果的，均是落入本发明的保护范围。