一种可避免污染的气体加入系统的制作方法

文档序号:23514996发布日期:2021-01-05 17:36阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种可避免污染的气体加入系统,其特征在于:所述的系统包括真空泵(1),所述真空泵同时与第一管路系统和第二管路系统相连,所述第一管路系统和第二管路系统的结构相同,

所述第一管路系统包括直接与真空泵(1)相连的第一管路(2),所述第一管路(2)上设置有第一电磁阀(3),第一管路(2)的末端同时与第二管路(4)、第三管路(5)和第四管路(6)相连通,所述第二管路(4)上设置有第二电磁阀(7),第三管路(5)上设置有第三电磁阀(8),第四管路(6)上设置有第四电磁阀(9),所述第四管路(6)上还连接有带有放空电磁阀(10)的放空管路(11),所述第一管路系统还包括与第一管路(2)相连的压力检测管路(12),所述压力检测管路(12)上设置有压力传感器(13)、第五电磁阀(14)和数显表(15),同时与压力检测管路(12)相并联的设置有机械表管路(16),所述机械表管路(16)上设置有第六电磁阀(17)和机械表(18),所述系统还包括与第一管路(2)相连的真空表(23)。

2.根据权利要求1所述的可避免污染的气体加入系统,其特征在于:所述第一管路系统或第二管路系统中,至少有一个系统中设置有辅助压力检测管路(19),所述辅助压力检测管路(19)上设置有辅助压力传感器(20)、第七电磁阀(21)和辅助数显表(22),且所述辅助压力传感器(20)和压力传感器(13)中一个为高压传感器,一个为低压传感器。


技术总结
本实用新型公开一种可避免污染的气体加入系统,包括真空泵,所述真空泵同时与第一管路系统和第二管路系统相连,所述第一管路系统和第二管路系统的结构相同,所述第一管路系统包括直接与真空泵相连的第一管路,所述第一管路上设置有第一电磁阀,第一管路的末端同时与第二管路、第三管路和第四管路相连通,所述第二管路上设置有第二电磁阀,第三管路上设置有第三电磁阀,第四管路上设置有第四电磁阀,所述第四管路上还连接有带有放空电磁阀的放空管路,所述第一管路系统还包括与第一管路相连的压力检测管路,所述压力检测管路上设置有压力传感器、第五电磁阀和数显表,同时与压力检测管路相并联的设置有机械表管路。

技术研发人员:台锡冬;辛伶;邵艳龙;郑新蕊
受保护的技术使用者:大连大特气体有限公司
技术研发日:2020.06.05
技术公布日:2021.01.05
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