一种实验室气路半自动汇流排清洁供气系统的制作方法

1.本实用新型属于实验室供气技术领域，尤其涉及一种实验室气路半自动汇流排清洁供气系统。


背景技术：

2.实验室大量仪器，如气相色谱仪、液质联用仪、电化学工作站等，使用过程中需要载气和燃气方可正常工作，气路系统是实验室建设与运营过程中重要的组成部分。
3.部分实验仪器，如气相色谱仪痕量分析，对载气纯化程度要求高，另外电子捕获过程中载气纯度也将直接影响实验仪器灵敏度和稳定性，故集中供气系统必须保证在供气过程中不能对输送的高纯气体造成二次污染。
4.传统半自动汇流排在管路吹扫完成后，直接将高压钢瓶接入半自动汇流排，此时高压钢瓶配带的金属软管内的空气无法有效排出，将影响输送的高纯气体纯度，造成二次污染。


技术实现要素：

5.本实用新型提供了一种实验室气路半自动汇流排清洁供气系统，用于解决实验室气路半自动汇流排供气时二次污染的技术问题。
6.根据本实用新型提供的一种实验室气路半自动汇流排清洁供气系统，包括高压供气模块、空气吹扫模块；
7.所述高压供气模块包括至少一个第一工艺气体供气管、第二工艺气体供气管和第三工艺气体供气管，多个所述第一工艺气体供气管并联接入所述第二工艺气体供气管，所述第二工艺气体供气管和第三工艺气体供气管顺序连通，所述第一工艺气体供气管自由端通过金属软管与高压钢瓶连通，所述第三工艺气体供气管自由端为工艺气体供气口；
8.所述空气吹扫模块包括至少一个第一吹扫管和第二吹扫管，多个所述第一吹扫管并联、一端与所述第二工艺气体供气管连通、另一端连通所述第二吹扫管，所述第二吹扫管自由端为放空口。
9.一种可选的实施方式，所述第一工艺气体供气管上依次安装有初效过滤器、止回阀，所述初效过滤器尘埃粒子过滤效率≥90％。
10.一种可选的实施方式，所述第二工艺气体供气管上依次安装有第一隔膜阀、压力传感器、调压阀。
11.一种可选的实施方式，所述第三工艺气体供气管依次安装有压力表、高效过滤器、第二隔膜阀，所述高效过滤器尘埃粒子过滤效率≥99.995％。
12.一种可选的实施方式，所述第一吹扫管安装有第三隔膜阀。
13.一种可选的实施方式，所述系统还包括气体泄漏报警器。
14.一种可选的实施方式，所述系统内所有连接方式采用卡套接头连接，接头材质ba级sus316l不锈钢。
15.一种可选的实施方式，所述系统内管道和阀门材质均采用ba级sus316l不锈钢材质，内表面光洁度ra≤0.4μm。
16.基于上述实施内容可见，本实用新型提供的一种实验室气路半自动汇流排清洁供气系统，其特征在于，包括高压供气模块、空气吹扫模块；所述高压供气模块包括至少一个第一工艺气体供气管、第二工艺气体供气管和第三工艺气体供气管，多个所述第一工艺气体供气管并联接入所述第二工艺气体供气管，所述第二工艺气体供气管和第三工艺气体供气管顺序连通，所述第一工艺气体供气管自由端通过金属软管与高压钢瓶连通，所述第三工艺气体供气管自由端为工艺气体供气口；所述空气吹扫模块包括至少一个第一吹扫管和第二吹扫管，多个所述第一吹扫管并联、一端与所述第二工艺气体供气管连通、另一端连通所述第二吹扫管，所述第二吹扫管自由端为放空口。高压钢瓶接入系统后，高纯气体将通过第一工艺气体供气管进入经过第一吹扫管和第二吹扫管，最终通过放空口排出，可以将金属软管内的空气排出系统，防止造成二次污染。
17.应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的，并不能限制本技术。
附图说明
18.为了更清楚地说明本技术的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，对于本领域普通技术人员而言，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
19.图1为本实用新型实施例提供的一种实验室气路半自动汇流排清洁供气系统组成示意图。
20.附图标号说明：1-高压钢瓶；2-金属软管；3-初效过滤器；4-止回阀；5-高效过滤器；6-调压阀；7-压力传感器；8-压力表；9-气体泄漏报警器；10-工艺气体供气口；11-放空口；12-第一吹扫管；13-第一工艺气体供气管；14-第二工艺气体供气管；15-第三工艺气体供气管；16-第一隔膜阀；17-第二隔膜阀；18-第三隔膜阀；19-第二吹扫管。
具体实施方式
21.为了使本技术领域的人员更好地理解本技术中的技术方案，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。
22.图1为本实用新型实施例提供的一种实验室气路半自动汇流排清洁供气系统组成示意图，下面结合图1对本实用新型实施例提供的实验室气路半自动汇流排清洁供气系统进行详细的说明。
23.如图1所示，实验室气路半自动汇流排清洁供气系统，主要包括高压供气模块、空气吹扫模块。
24.具体的，所述高压供气模块包括至少一个第一工艺气体供气管13、第二工艺气体供气管14和第三工艺气体供气管15，多个所述第一工艺气体供气管13并联接入所述第二工
艺气体供气管14，所述第二工艺气体供气管14和第三工艺气体供气管15顺序连通，所述第一工艺气体供气管13自由端通过金属软管2与高压钢瓶1连通，所述第三工艺气体供气管15自由端为工艺气体供气口10，为用户端供气。在本技术的一些实施例中，第一工艺气体供气管13上依次安装有初效过滤器3、止回阀4，所述初效过滤器3尘埃粒子过滤效率≥90％。所述第二工艺气体供气管14上依次安装有第一隔膜阀16、压力传感器7、调压阀6。所述第三工艺气体供气管15依次安装有压力表8、高效过滤器5、第二隔膜阀17，所述高效过滤器5尘埃粒子过滤效率≥99.995％。
25.所述空气吹扫模块包括至少一个第一吹扫管12和第二吹扫管19，多个所述第一吹扫管12并联、一端与所述第二工艺气体供气管14连通、另一端连通所述第二吹扫管19，所述第二吹扫管19自由端为放空口11。在本技术的一些实施例中，所述第一吹扫管12安装有第三隔膜阀18。
26.为了更及时的发现气体泄漏，防止事故的发生，在本技术的一些实施例中，系统还包括气体泄漏报警器9。气体泄漏报警器9安装在半自动汇流排旁边，当出现高纯气体泄漏时，可实现本地声光报警功能并能及时远传报警信息至控制室，实现远程报警功能。
27.为了提高系统的安全和稳定性，在本技术的一些实施例中，系统内所有连接方式采用卡套接头连接，接头材质ba级sus316l不锈钢。系统内管道和阀门材质均采用ba级sus316l不锈钢材质，内表面光洁度ra≤0.4μm。
28.工作原理：
29.系统吹扫和泄漏量测试：高压钢瓶1接入系统前，首先需要对该系统采用高纯氮气进行系统吹扫和泄漏量测试，高纯氮气纯度应≥99.999％，泄漏量试验压力应为系统设计压力。泄漏量试验应连续试验24小时内小于2％为合格。高压吹扫和泄漏量测试合格后，关闭第二工艺气体供气管14上的第二隔膜阀17，同时打开第一吹扫管12上的第三隔膜阀18。
30.金属软管2内空气吹扫：通过金属软管2将高压钢瓶1接入系统内。此时打开高压钢瓶1顶部开关，高纯气体将通过第一工艺气体供气管13进入第一吹扫管12和第二吹扫管19，最终通过放空口11排出，高纯气体排出的同时也会将金属软管2内携带的空气排出，完成吹扫作业，防止其污染高纯气体。应控制上述过程时间，防止高纯气体过量释放。
31.正常供气：金属软管2内空气吹扫完成后，关闭第一吹扫管12上的第三隔膜阀18，同时打开第二工艺气体供气管14上的第二隔膜阀17实现正常供气作业。
32.当需要更换高压钢瓶1时，需要重复进行金属软管2内空气吹扫作业，方可进入正常供气工序。
33.低压报警及泄漏报警功能：第二工艺气体供气管14上装有压力传感器7，具有高压钢瓶1低压报警功能，当检测到高压钢瓶1供气压力低于设定压力值时，压力传感器7可报警提醒管理人员及时更换气瓶，防止影响实验室正常使用。半自动汇流排旁边设置有气体泄漏报警器9，当出现高纯气体泄漏时，可实现本地声光报警功能并能及时远传报警信息至控制室，实现远程报警功能。
34.由于以上实施方式均是在其他方式之上引用结合进行说明，不同实施例之间均具有相同的部分，本说明书中各个实施例之间相同、相似的部分互相参见即可。在此不再详细阐述。
35.需要说明的是，除非另有规定和限定，术语“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可
以是机械连接或电连接，也可以是两个元件内部的连通，可以是直接相连，也可以是通过中间媒介间接连接，对于相关领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语的具体含义。术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的电路结构、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，有语句“包括一个
……”
限定的要素，并不排除在包括所述要素的物品或者设备中还存在另外的相同要素。术语“第一”和“第二”等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或顺序。另外，本文使用的术语“和\或”包括一个或多个相关的所列项目的任一的和所有的组合。
36.本领域技术人员在考虑说明书及实践这里实用新型的公开后，将容易想到本技术的其他实施方案。本技术旨在涵盖本实用新型的任何变型、用途或者适应性变化，这些变型、用途或者适应性变化遵循本技术的一般性原理并包括本技术未公开的本技术领域中的公知常识或惯用技术手段。说明书和实施例仅被视为示例性的，本技术的真正范围和精神由权利要求的内容指出。
37.以上所述的本技术实施方式并不构成对本技术保护范围的限定。