一种电子级溶液的充装系统的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及溶液充装技术，特别涉及一种电子级溶液的充装系统。
【背景技术】
[0002]电子级溶液的充装系统对洁净程度和防污染的要求较高，例如电子级氢氟酸。电子级氢氟酸主要用于电子、光伏行业中生产集成电路，要求金属含量一般低于lOppb，非金属含量如 Cl ^ 5000ppb、N03 ^ 3000ppb、P0 43 ^ 100ppb^ SO 42 ^ 5000ppb。这不仅对于生产工艺，也是对充装工作提出了更高的要求和精细掌控。目前对于电子级的氢氟酸生产主要是将工业氢氟酸进一步氧化和精馏除杂，然后进行充装。为了提高生产效率，大多采用连续性充装，而输送管道、充装环境又大多是半露天设置。为保证产品质量，充装必需快捷、无风，避免空气中的杂质对氢氟酸的影响。此外，根据不同的需求、充装桶的规格不一、高度不同、甚至外表与内部洁净程度以及内部压力等的不同，上述情况都对充装工作提出了更高要求和更严格把控。
[0003]专利号为200720187316.1的中国专利申请公开了一种充装浓硫酸的装置，该装置的由下列结构组成:注酸管头一该注酸管头包括由注酸管、套装在注酸管端头外的套管、套管上端与注酸管外壁间固定联接的一水平环形板形成的一下端开口的环形腔；受酸管头一该受酸管头包括一由受酸管扩口后的上端开口的直筒圆管、同轴内置于直筒圆管内的内置短管、内置短管下端与受酸管直筒圆管内壁间固定联接的一水平环形板的形成的一上端开口的环形腔；受酸管头排酸孔一该排酸孔开孔于受酸管头的内置短管下端与受酸管直筒圆管内壁间固定联接的平环形板上；注酸管头和受酸管头同轴扣合联接。采用上述充装浓硫酸的装置进行硫酸充装操作时，既能保证装酸的顺畅，同时可有效地将溅起的酸进行阻挡，并回流到装酸装置中，有效的防止酸溅出，操作简单、安全可靠。
[0004]但是上述专利提供的充装浓硫酸的装置并不能满足内外洁净度的要求，同时其充装过程中仍存在外界环境对溶液发生污染的问题。
【发明内容】
[0005]本发明所要解决的技术问题是:提供一种内外洁净程度高且能有效避免溶液污染的电子级溶液的充装系统。
[0006]为了解决上述技术问题，本发明采用的技术方案为:
[0007]一种电子级溶液的充装系统，包括预处理机构、风淋机构和充装机构，所述预处理机构包括预处理室和吹扫装置，所述吹扫装置设置于预处理室内，所述风淋机构包括风淋室、干燥空气加热装置和第一风机，所述第一风机的入口朝向风淋室外设置，所述第一风机的出口与干燥空气加热装置的入口连接，所述风淋室的顶部和侧面分别设有风淋口，所述干燥空气加热装置的出口与所述风淋口连通，所述风淋室的底部设有排风口，所述充装机构包括充装室、进风装置、进液装置和充装装置，所述充装室的顶部设有进风管道和充装管道，所述进风装置包括第二风机、初效过滤器、中效过滤器和高效过滤器，所述初效过滤器、第二风机、中效过滤器和高效过滤器依次连接，所述高效过滤器的出口与进风管道连通，所述充装室的底部设有出风口，所述进液装置包括充装管路、高纯水管路、导气管路和废液抽排管路，所述充装装置包括机械夹具和充装接头，所述机械夹具可旋转地设置于充装室顶部且沿充装室顶部方向可升降设置，所述充装接头上设有导气口和充装口，充装接头的一端与机械夹具连接，充装接头的另一端分别与导气口和充装口连通，所述导气管路通过充装管道与导气口连接，所述充装管路、高纯水管路和废液抽排管路分别通过充装管道与充装口连接，所述预处理室、风淋室和充装室依次连通设置。
[0008]本发明的有益效果在于:
[0009](I)本发明的电子级溶液的充装系统，尤其适用于电子级氢氟酸的充装；通过预处理机构、风淋机构和充装机构的设置，整体结构更合理有效；
[0010](2)通过预处理机构和风淋机构中的吹扫装置、干燥空气加热装置和第一风机的结构设计，对待充装的空桶的外部进行清洁，同时结合顶部和侧面的风淋口，可加强风力作用，从而有效提高待充装的空桶的外部洁净程度；
[0011](3)通过充装机构中的进风装置、进液装置和充装装置的设计，一方面，初效过滤器、中效过滤器和高效过滤器可以保证第二风机引进的空气可以有效过滤掉空气中粉尘、微小颗粒等，达到充装室无尘的要求；一方面，充装管路、高纯水管路、导气管路和废液抽排管路使得溶液、高纯水、气体和废液可以由充装室进入或排出，可通过对进液装置的操作实现对待充装的空桶的内部进行清洁，同时根据排出的液体测量其洁净度，使得待充装的空桶的内部达到高洁净的要求，当待充装的空桶的内部完成洁净操作，可通过充装管路将待充装的溶液(例如氢氟酸)充装进空桶内，具有待充装的空桶的内部洁净度高且充装方便的优点；另一方面，机械夹具和充装接头使得充装操作可以根据空桶的具体位置进行旋转或升降，从而方便溶液、高纯水、气体和废液的进入或排出操作；
[0012](4)充装机构的具体设置可保证充装室为无尘，且进液装置和进风装置不会在充装过程中引入任何空气杂质，使其避免空气杂质对于溶液(氢氟酸)的污染，同时可保护充装人员免于氢氟酸以及有毒气体的伤害；充装装置可适应充装桶的不同规格，不同高度的要求，可清除充装过程中的污染源以及人员流动影响的不确定性，具有有效避免溶液污染的有益效果。
【附图说明】
[0013]图1为本发明实施例的电子级溶液的充装系统的整体结构示意图；
[0014]图2为本发明实施例的电子级溶液的充装系统的预处理机构的结构图；
[0015]图3为本发明实施例的电子级溶液的充装系统的风淋机构的结构图；
[0016]图4为本发明实施例的电子级溶液的充装系统的风淋机构内的风淋口与排风口的结构图；
[0017]图5为本发明实施例的电子级溶液的充装机构的结构图。
[0018]标号说明:
[0019]1、预处理机构；11、预处理室；12、吹扫装置；13、粘尘装置；2、风淋机构；21、风淋室；22、干燥空气加热装置；23、第一风机；24、空气过滤装置；25、风淋口 ；26、排风口 ；3、充装机构；31、充装室；311、进风管道；312、充装管道；313、出风口 ；32、进风装置；321、第二风机；322、初效过滤器；323、中效过滤器；324、高效过滤器；33、进液装置；331、充装管路；332、高纯水管路；333、导气管路；334、废液抽排管路；335、循环管路；34、充装装置；341、机械夹具；342、充装接头；3421、导气口 ；3422、充装口 ；343、透明板；344、防酸手套；35、计量装置；351、容液槽；352、液位计量件；353、称重件；4、传送机构；5、防尘装置。
【具体实施方式】
[0020]为详细说明本发明的技术内容、所实现目的及效果，以下结合实施方式并配合附图予以说明。
[0021]本发明最关键的构思在于:通过预处理机构、风淋机构和充装机构的设置，从而保证待充装的空桶的内外洁净程度，且能有效避免溶液污染。
[0022]请参照图1至图5，本发明的电子级溶液的充装系统，包括预处理机构1、风淋机构2和充装机构3，所述预处理机构I包括预处理室11和吹扫装置12，所述吹扫装置12设置于预处理室11内，所述风淋机构2包括风淋室21、干燥空气加热装置22和第一风机23，所述第一风机23的入口朝向风淋室21外设置，所述第一风机23的出口与干燥空气加热装置22的入口连接，所述风淋室21的顶部和侧面分别设有风淋口 25，所述干燥空气加热装置22的出口与所述风淋口 25连通，所述风淋室的底部设有排风口 26，所述充装机构3包括充装室31、进风装置32、进液装置33和充装装置34，所述充装室31的顶部设有进风管道311和充装管道312，所述进风装置32包括第二风机321、初效过滤器322、中效过滤器323和高效过滤器324，所