述初效过滤器322、第二风机321、中效过滤器323和高效过滤器324依次连接，所述高效过滤器324的出口与进风管道311连通，所述充装室31的底部设有出风口 313，所述进液装置33包括充装管路331、高纯水管路332、导气管路333和废液抽排管路334，所述充装装置34包括机械夹具341和充装接头342，所述机械夹具341可旋转地设置于充装室31顶部且沿充装室31顶部方向可升降设置，所述充装接头342上设有导气口3421和充装口 3422，充装接头的342 —端与机械夹具341连接，充装接头342的另一端分别与导气口 3421和充装口 3422连通，所述导气管路333通过充装管道312与导气口 3421连接，所述充装管路331、高纯水管路332和废液抽排管路334分别通过充装管道312与充装口 3422连接，所述预处理室11、风淋室21和充装室31依次连通设置。
[0023]从上述描述可知，本发明的有益效果在于:
[0024](I)本发明的电子级溶液的充装系统，尤其适用于电子级氢氟酸的充装；通过预处理机构、风淋机构和充装机构的设置，整体结构更合理有效；
[0025](2)通过预处理机构和风淋机构中的吹扫装置、干燥空气加热装置和第一风机的结构设计，对待充装的空桶的外部进行清洁，同时结合顶部和侧面的风淋口，可加强风力作用，从而有效提高待充装的空桶的外部洁净程度；
[0026](3)通过充装机构中的进风装置、进液装置和充装装置的设计，一方面，初效过滤器、中效过滤器和高效过滤器可以保证第二风机引进的空气可以有效过滤掉空气中粉尘、微小颗粒等，达到充装室无尘的要求；一方面，充装管路、高纯水管路、导气管路和废液抽排管路使得溶液、高纯水、气体和废液可以由充装室进入或排出，可通过对进液装置的操作实现对待充装的空桶的内部进行清洁，同时根据排出的液体测量其洁净度，使得待充装的空桶的内部达到高洁净的要求，当待充装的空桶的内部完成洁净操作，可通过充装管路将待充装的溶液(例如氢氟酸)充装进空桶内，具有待充装的空桶的内部洁净度高且充装方便的优点；另一方面，机械夹具和充装接头使得充装操作可以根据空桶的具体位置进行旋转或升降，从而方便溶液、高纯水、气体和废液的进入或排出操作；
[0027](4)充装机构的具体设置可保证充装室为无尘，且进液装置和进风装置不会在充装过程中引入任何空气杂质，使其避免空气杂质对于溶液(氢氟酸)的污染，同时可保护充装人员免于氢氟酸以及有毒气体的伤害；充装装置可适应充装桶的不同规格，不同高度的要求，可清除充装过程中的污染源以及人员流动影响的不确定性，具有有效避免溶液污染的有益效果。
[0028]进一步的，还包括传送机构4，所述传送机构4设置于预处理室11的出口处并依次通过风淋室21和充装室31。
[0029]由上述描述可知，传送机构的设置可以将待充装的空桶由预处理室可控制的运输至风淋室和充装室，具有操作方便的优点，所述传送机构可以选择简单的机械传送装置，如传送带等等。
[0030]进一步的，所述吹扫装置12为高压气枪，所述干燥空气加热装置22为空气加热器。
[0031]由上述描述可知，吹扫装置优选为高压气枪，高压气枪的具体压力参数可根据实际情况调整，亦可根据空桶表面污染情况，选择开启高压气枪对空桶进行360°全方位吹扫；干燥空气加热装置优选为空气加热器，具有结构简单的优点。
[0032]进一步的，所述预处理机构I还包括粘尘装置13，所述粘尘装置13靠近预处理机构的出口设置；所述粘尘装置13为粘尘纸或粘尘布。
[0033]由上述描述可知，粘尘装置可以对待充装的空桶的外表面进行再次清洁，进一步提高待充装的空桶的外表面的洁净度。
[0034]进一步的，所述风淋机构2还包括空气过滤装置24，所述空气过滤装置24的一端与第一风机23的入口连接，所述空气过滤装置24的另一端设置于风淋室21夕卜。
[0035]由上述描述可知，空气过滤装置可以达到除去空气粉尘颗粒等目的，除尘后，空气经过第一风机抵达干燥空气加热装置，使得空气除湿干燥。可保证空气达到无尘状态。
[0036]进一步的，所述风淋室21和充装室31的入口和出口处分别设置有防尘装置5，所述防尘装置5为防尘帘。
[0037]由上述描述可知，防尘装置的设置可以阻隔风淋室和充装室的空气串通带来的影响。
[0038]进一步的，所述充装机构3还包括计量装置35，所述计量装置35包括容液槽351、液位计量件352和称重件353，所述容液槽351与充装管路331连通，所述液位计量件352设置于容液槽351内，所述称重件353设置于容液槽351底部。
[0039]由上述描述可知，液位计量件可以对容液槽中液体的液位进行测定，称重件可以对容液槽中液体的重量进行称量，可通过液位计量件和称重件单独或者一起对容液槽中液体的含量进行测量，从而控制进液量。
[0040]进一步的，所述充装室31的侧面设置有透明板343，所述透明板343上设有防酸手套344，所述防酸手套344穿过透明板343并伸入充装室31内。
[0041]由上述描述可知，透明板的设置使得充装室内的充装操作的进行实现可视化，便于观察；防酸手套的设置使得操作人员的手可以由此伸入充装室内，便于操作的进行，优选的，防酸手套可为长条状，防酸手套亦可以是卡槽式的防酸手套。
[0042]进一步的，所述机械夹具341和充装接头342分别为两个或两个以上。
[0043]由上述描述可知，机械夹具和充装接头分别为两个或两个以上，从而可以同时对两个以上的待充装空桶进行充装，可以有效提高充装效率。
[0044]请参照图1至图5，本发明的实施例一为:
[0045]本实施例的电子级溶液的充装系统，包括预处理机构1、风淋机构2和充装机构3，所述预处理机构I包括预处理室11和吹扫装置12，所述吹扫装置12设置于预处理室11内，所述风淋机构2包括风淋室21、干燥空气加热装置22和第一风机23，所述第一风机23的入口朝向风淋室21外设置，所述第一风机23的出口与干燥空气加热装置22的入口连接，所述风淋室21的顶部和侧面分别设有风淋口 25，所述干燥空气加热装置22的出口与所述风淋口 25连通，所述风淋室的底部设有排风口 26，所述充装机构3包括充装室31、进风装置32、进液装置33和充装装置34，所述充装室31的顶部设有进风管道311和充装管道312，所述进风装置32包括第二风机321、初效过滤器322、中效过滤器323和高效过滤器324，所述初效过滤器322、第二风机321、中效过滤器323和高效过滤器324依次连接，所述高效过滤器324的出口与进风管道311连通，所述充装室31的底部设有出风口 313，所述进液装置33包括充装管路331、高纯水管路332、导气管路333和废液抽排管路334，所述充装装置34包括机械夹具341和充装接头342，所述机械夹具341可旋转地设置于充装室31顶部且沿充装室31顶部方向可升降设置，所述充装接头342上设有导气口 3421和充装口 3422，充装接头的342 —端与机械夹具341连接，充装接头342的另一端分别与导气口 3421和充装口3422连通，所述导气管路333通过充装管道312与导气口 3421连接，所述充装管路331、高纯水管路332和废液抽排管路334分别通过充装管道312与充装口 3422连接，所述预处理室11、风淋室21和充装室31依次连通设置。还包括传送机构4，所述传送机构4设置于预处理室11的出口处并依次通过风淋室21和充装室31。所述吹扫装置12为高压气枪，所述干燥空气加热装置22为空气加热器。进一步的，所述预处理机构I还包括粘尘装置13，所述粘尘装置13靠近预处理机构的出口设置；所述粘尘装置13为粘尘纸或粘尘布。所述风淋机构2还包括空气过滤装置24，所述空气过滤装置24的一端与第一风机23