专利名称：倾斜搬运行扫描检查方法
技术领域：
本发明涉及一种倾斜搬运行扫描(Line Scan)检查方法，更详细来说，本发明涉及一种倾斜搬运行扫描检查方法，能在一定倾斜角度状态下使大型玻璃基板高速搬运，还能在将玻璃基板振动振幅抑制在摄像机(camera)焦深(depth of focus)内的同时，检查玻璃基板的缺陷。
背景技术：
众所周知，在TFT-LCD(Thin film transistor-liquid crystaldisplay)、PDP(Plasma display panel)、EL(Electro luminescence)等平面显示器(Flat display)制造领域中使用的玻璃基板生产中，在玻璃熔窑(Glass melting furnace)内熔融的玻璃形成平面的形成工序与按一次规定式样进行切割的切割工序制造后，经过洗净及检查工序选择出合格品和不合格品。
例如，本申请人的韩国专利申请第2002-30386号记载的技术中，把经过清洗玻璃基板用的清洗舱(Cleaning Station)清洗工序后的玻璃基板，存放在称作盒子(Cassette)的容器(Container)中搬运到检查舱(inspection station)。在此，把在容器中存放的玻璃基板由搬运装置(Handler)从容器中卸载(Unload)，在检查舱进行检查。在检查舱中，检查玻璃基板中有无气泡(Blister)、石料(Stone)等异物混入(Inclusion)、污染(Stain)、划痕(Scratch)、斜块(Bevel chip)、切块(Cutting chip)、裂缝(Crack)等缺陷。
在现有技术中，使数台摄像机移动着用面扫描(area scan)方式对玻璃基板进行摄像检查。但是，由于这种方式存在复杂、不精密、检查速度慢的缺陷，不适合大型连续玻璃基板的检查，所以，最近行扫描方式日益显著。另外，在检查玻璃基板时，重要的是与玻璃基板无物理接触且使玻璃振动减弱，还要使玻璃基板能高速移动，但在现有技术中的水平搬运情况下，由于从清洁舱上部流到下部的清洁舱气流会污染玻璃基板，且在玻璃基板大型时其自重导致表面松驰(Sagging)，所以，存在玻璃基板与摄像机的焦距不合适且图象鲜明度降低的缺陷。此外，对照明部件及摄像机等类主要部件进行维修时，这些部件的处理困难也是个问题。
因此，本发明人在韩国专利申请第2002-67197号中提供了一种把水平载置的玻璃基板以倾斜立起状卸载的玻璃基板倾斜系统。该系统构成包括系统主体、设置在该系统主体上并用于支撑玻璃基板两端进行水平搬运的水平搬运装置、用于吹动空气使该水平搬运装置上的玻璃基板浮起的鼓风机、以把水平搬运装置上的玻璃基板倾斜立起为目的且用于使水平搬运装置和鼓风机倾斜的倾斜装置、设置在倾斜装置上用于对倾斜立起的玻璃基板下段进行支撑搬运的倾斜搬运装置。
但这种系统因玻璃基板的厚度、大小及组成不同难以设定鼓风机的空气量，特别是在玻璃基板为薄板、大型且轻量的情况下，振动剧烈。因此，需要开发一种能对清洗舱到检查舱倾斜移动的薄板状轻量大型玻璃基板进行行扫描的技术，但实际上还没有开发出与此需要相应的技术。
专利文献1韩国专利申请第2002-30386号专利文献2韩国专利申请第2002-67197号发明内容本发明是鉴于上述情况而进行的，其目的在于提供的倾斜搬运行扫描检查方法既能在一定倾斜角度状态下使大型玻璃基板高速搬运，还能在减小摄像机焦深内玻璃基板的振动振幅。
本发明的另一目的在于，提供的倾斜搬运行扫描检查方法能使玻璃基板厚度、大小及组成对检查工序的偏差影响最小。
本发明的再一个目的在于，提供的倾斜搬运行扫描检查方法能确保维修迅速且容易。
为了达到上述目的，本发明的倾斜搬运行扫描检查方法的特征在于包括以下步骤由行扫描摄像机对被倾斜搬运的玻璃基板进行行扫描并检测被扫描的各像素灰度的步骤；把从前述像素的被检测出的灰度值中减去预定的中间灰度值所得第一差值，与机器(hardware)敏感度阀值进行比较的步骤；对前述像素中前述第一差值比机器敏感度阀值大的像素的周围区域的像素灰度进行测定，并把从该测定值中减去前述玻璃基板平均灰度值所得第二差值与预定的检查敏感度阀值进行比较的步骤；把前述第二差值大于检查敏感度阀值的区域判断为缺陷，并把缺陷分成特定种类进行大小指标分配的步骤；把具有各大小指标的缺陷数与设定的限度数进行比较来判断是否合格的步骤。
发明效果如下由于把大型玻璃基板在倾斜一定角度状态下等速倾斜搬运着进行在线行扫描检查，且工序简单、能稳定操作，所以，有益效果包括活用清洁舱空间以及简化设备使成本缩减，减小颗粒污染检查任务且提高每次检查工序的处理能力而提高生产率，能确保检查区域的振动稳定而提高检查工序的能力。
本发明的倾斜搬运行扫描检查方法，因把大型玻璃基板在倾斜一定角度状态下等速倾斜搬运着在线进行扫描检查，所以，有益效果包括工序简单，能稳定进行操作，增大活用清洁舱空间以及简化设备使成本缩减，颗粒污染减少使检查任务减少且提高每次检查工序的处理能力而提高生产率，减小检查区域的振动而提高检查能力。
图1是表示本发明最佳实施方式的倾斜搬运中实施行扫描检查方法的系统简图；图2是表示图1所示倾斜搬运的正视图；图3是表示空气浮动装置的鼓风管剖面图；图4是图1所示行扫描检查器的平面图；图5是图4所示行扫描检查器的透视图；图6是实施本发明倾斜搬运中行扫描检查方法的程序图。
标号说明1玻璃基板，2搬运方向，10输送机主体，20水平搬运装置，21a、22a输送架，21b、22b辊，21c、22c旋转轴，24伺服电机，40空气浮动装置，41鼓风管，41a喷嘴孔，44鼓风机，45空气过滤机，50倾斜装置，51倾斜架，52轴承，53旋转轴，55伺服电机，58垂直轴线，60倾斜搬送装置，61倾斜输送机，63伺服电机，64辊，70行扫描检查器，72矩形架，74透射照明系统，76反射照明系统，78检测装置，80行扫描摄像机，82灯照明源。
具体实施例方式
下面，参照附图对本发明的具体实施方式
进行说明。
图1是表示实施本发明倾斜搬运行扫描检查方法的系统基本构成正视图，图2是表示倾斜系统的正视图。如图所示，本发明的一最佳实施方式的倾斜搬运中的行扫描检查系统具有设置在输送机主体10上用于支撑着玻璃基板1两侧端进行水平搬运的水平搬运装置20、喷出空气并使载置在水平搬运装置20上的玻璃基板1浮起的空气浮动装置40(图2)、以把载置在水平搬运装置20上的玻璃基板1倾斜立起为目的且用于使水平搬运装置20和空气浮动装置40倾斜的倾斜装置50、用于对与倾斜装置50一起被倾斜的玻璃基板1的下部分进行支撑和搬运的倾斜搬运装置60。
水平搬运装置20具有输送架21a、22a和多个辊21b、22b；输送架21a、22a沿着输送机主体10上部玻璃基板1的搬运方向2平行设置；在输送架21a、22a上按一定间隔设置有旋转轴21c、22c；多个辊21b、22b可转动状安装在旋转轴21c、22c上，并支撑着玻璃基板1两端，即立起玻璃基板时支撑下段1a和上段1b的边缘。辊21b、22b由伺服电机24的作动进行转动。
空气浮动装置40如图2～图3所示，是把由水平搬运装置20的辊21b、22b支撑下段1a及上段1b进行搬运的玻璃基板1从辊21b、22b处浮起的装置，具有沿着玻璃基板1的搬运方向设置的多个吹气管41(Air blowing pipe)，该多个吹气管沿长度方向形成有对玻璃基板1喷空气的多个的喷嘴孔41a。在吹气管41上连接有空气过滤机45，最好是能过滤0.3um大小微粒的高效率空气过滤装置(HEPAHighefficiency particulate air filter)，该空气过滤机45把滤过来自鼓风机44的空气供应给管41。例如，鼓风机44可以由空气压缩机和控制空气流量及压力的空气调节装置构成。
如图1及图2所示，倾斜装置50的构成包括载置着水平搬运装置20及空气浮动装置40的倾斜架51、由用于支持该倾斜架51转动运动的轴承52可任意转动支撑的旋转轴53、使旋转轴53转动运动的伺服电机55。该倾斜装置50能使玻璃基板1相对垂直轴线58以5～20度的图示倾斜角θ倾斜，最好按10度的倾斜角度倾斜。
倾斜搬运装置60的构成包括平行于水平搬运装置20的输送架21a、22a设置在倾斜装置50的倾斜架51上的倾斜搬运输送器61、在按一定间隔配置于倾斜搬运输送器61上的旋转轴上可转动装配的多个辊64、转动驱动辊64的伺服电机63，该倾斜搬运装置60支撑着玻璃基板1的下段1a进行倾斜搬运。
如图4及图5所示，由倾斜搬运装置60倾斜搬运的玻璃基板1经过行扫描检查器70中央时，行扫描检查器70检查玻璃基板1内部及表面的缺陷。行扫描检查器70具有框架72、透射照明系统74、反射照明系统76、行扫描摄像机80、检测装置78、灯照明源82。框架72能让倾斜立起的玻璃基板1经过且设置为直立矩形；透射照明系统74设置在玻璃基板1通路中心一侧，用于对玻璃基板1照光；反射照明系统76设置在玻璃基板1通路中心另一侧，用于把透射照明系统74照射给玻璃基板1的光进行反射；行扫描摄像机80有多台，优选为16台，设置在框架72垂直方向上透射照系明系统74对置侧，用于对透射照明系统74照射的玻璃基板1及反射照明系统76反射的玻璃基板1的内外部按行单位进行摄像形成图象，并生成数字图象信息；检测装置78检测玻璃基板1的搬运并以显示多个行扫描摄像机80检查的方式传达信号；灯照明源82作为透射照明系统74和反射照明系统76的照明源分别设置在架72外侧。
下面说明上述构成的倾斜搬运中的行扫描检查系统的检查方法。
清洗后的大型玻璃基板1在水平搬运装置20上由空气浮动装置40吹浮着进行水平搬运，并由倾斜装置50倾斜立起。随后，倾斜立起的玻璃基板1由倾斜搬运装置60搬运，通过行扫描检查器70的中央。检测装置78对此进行检测，并使行扫描摄像机80作业。把对玻璃基板1内外部缺陷所获得的图象信息进行实时处理，并把不合格信息提供给检查员。
详细说明如下，首先，行扫描摄像机80在玻璃基板1经过时，如图6所示，对玻璃基板1进行行扫描，获得作为数字图象的玻璃图象灰度值，检测被扫描像素灰度值(S1)。像素(图象单元)是数字图象的单位要素，灰度值(GV)相当于明度值，扫描的像素的灰度值是0(相当于黑色)～255(相当于白色)间的值，0指黑色，255指白色，无缺陷部分的图象为明，例如灰度值为244，有缺陷部分的图象为暗，例如灰度值为148。
随后，为了探测缺陷中央部，把从被检测的各像素灰度值中减去中间灰度值的差值与预定的机器敏感度阀值进行比较(S2)。即使有一个像素超过机器敏感度阀值，就确认为有缺陷。该阀值是按SENSIC(敏感)参数设定管理的方式对HWPP-SENSITIVITY-BRIGHT及HWPP-SENSICTIVITY-DARK进行变更设定的。
之后，为了探测缺陷的主体，一旦发现像素有大于机器敏感度阀值的值，就把从该发现缺陷像素周围区域各像素的灰度中减去被检玻璃基板平均灰度值的差值与预定检查敏感度的阀值进行比较(S3)。比较结果中只有超过检查敏感度阀值的区域被确认为存在缺陷。该阀值是按SENSIC(敏感)参数设定管理的方式INSPECTION-SENSITIVITY-BRIGHT及INSPECTION-SENSICTIVITY-DARK进行变更设定的。
把采用这种方法找到的缺陷分成特定种类，并按具有一定种类大小指标依次排列(S4)。各类具有大小相互不同的限度，类个数及各类大小限度能进行调整。
其次，把相当于确定大小类缺陷个数与设定的限度个数进行比较，判断被检查玻璃基板的好坏(S5)。如果具有大小种类缺陷个数超过被设定限度个数，该被检测玻璃被判断为不良，例如，判断结果在荧光屏上玻璃色变更为红色，也能输出相应的输出信号。另外，对缺陷进行评价时，在荧光屏上表示x、y方向的大小，更不用说也可以表示成几何学大小。
上述对本发明的最佳实施方式进行了说明，但不脱离本发明权利要求范围本领域的普通技术人员可以进行种种改变。
权利要求
1.一种倾斜搬运行扫描检查方法，包括以下步骤由行扫描摄像机对被倾斜搬运的玻璃基板进行行扫描，并检测被扫描的各像素灰度值的步骤；把从前述像素的被检测出的灰度值中减去预定的中间灰度值所得第一差值，与机器敏感度阀值进行比较的步骤；对前述像素中前述第一差值比机器敏感度阀值大的像素的周围区域的像素灰度进行测定，并把从该测定值中减去前述玻璃基板平均灰度值所得第二差值与预定的检查敏感度阀值进行比较的步骤；把前述第二差值大于检查敏感度阀值的区域判断为缺陷，并把缺陷分成特定种类进行大小指标分配的步骤；及把具有各大小指标的缺陷数与设定的限度数进行比较来判断是否合格的步骤。
2.根据权利要求1记载的倾斜搬运行扫描检查方法，其特征在于，前述像素的被检测出的灰度值是0～255之间的值，0指黑色，255指白色，无缺陷的像素的灰度值为244，有缺陷的像素的灰度值为148。
全文摘要
本发明提供一种倾斜搬运行扫描检查方法，能简化用于平面显示器的玻璃基板检查工序，并能提高检查精密度及检查速度。其包括以下步骤由行扫描摄像机对被倾斜搬运的玻璃基板进行行扫描，并检测被扫描的各像素灰度值；把从像素的被检测出的灰度值中减去预定的中间灰度值所得第一差值，与机器敏感度阀值进行比较；对像素中第一差值比机器敏感度阀值大的像素的周围区域的像素灰度进行测定，并把从该测定值中减去玻璃基板平均灰度值所得第二差值与预定的检查敏感度阀值进行比较；把第二差值大于检查敏感度阀值的区域判断为缺陷，并把缺陷分成特定种类进行大小指标分配；及把具有各大小指标的缺陷数与设定的限度数进行比较来判断是否合格。
文档编号G01N21/00GK1573411SQ20041000286
公开日2005年2月2日 申请日期2004年1月9日 优先权日2003年5月30日
发明者李昌夏, 金泽天, 金昔俊, 金奇南 申请人:三星康宁精密琉璃株式会社