专利名称：显示面板试验用探测器及试验装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种用于液晶(LCD)面板或有机EL面板等显示面板的试验探测器及其试验装置。
背景技术：
于以半导体晶圆为测定对象的晶圆探测器中，为提高测定精度与速度，专利文献1或2所揭示的晶圆探测器为众所周知。于此等晶圆探测器中，由于需要施加电压于半导体的基板，因此便可施加电压于夹盘。该电位并非仅限于接地电位，因此专利文献2的图2中揭示有使用活性式卡作为噪音对策，以卡电位进行屏蔽的技术。另外，如专利文献1的图3，由于EMI遮罩而以导体包围包含夹盘与测定对象的区域的技术为众所周知。
另外，在用于液晶(LCD)面板或有机EL面板等显示面板的试验的显示面板用探测器中，显示面板于绝缘体的玻璃上使硅成长，因此理论上为采取SOI(Silicon-on-Insulator，绝缘硅)构造，所以无需赋予电位到绝缘体的玻璃，夹盘的电位基本为接地电位即可。由此，于测定中也未充分考虑噪声的影响，如专利文献3的图8中可见，于夹盘及其屏蔽构造上并无特别考究。
然而，最近由于成本降低，大型玻璃板的使用成为主流，所以对于显示面板也开始需要考虑其影响。例如，于非晶硅制作过程中，由于使用第5代1米见方强的玻璃板，因此夹盘台的运作范围需要3米见方左右，若由于屏蔽而完全包围此区域，则对于成本的影响非常大。
进而，伴随玻璃板的大型化，夹盘自身大型化的影响也需要考虑。对于夹盘面积S的寄生电容(对地电容)C于将夹盘与对地的间隔设为d，夹盘与对地之间介在有绝缘体的情形时，将该材质的介电常数作为εr，便以
C＝εr*(S/d)表示，但于第7代面板中，变成大约2米见方，因此一边的长度即为第5代的2倍，寄生电容成为第5代的4倍。因此，第7代面板的交流阻抗在高频下变得比第5代小很多。这是意味着，在测定第7代面板时，在夹盘中容易发生噪音作用。另外，即使以传统方式充分增加成本屏蔽夹盘，试验用测定器仍容易自其它路径受噪音影响。
因此，于显示面板试验用的探测器及试验装置中，与用于半导体晶圆者不同，需要更加完善的噪音对策。
专利文献1日本专利特开平6-53297号公报，图专利文献2日本专利特开平7-84003号公报，图2、图专利文献3日本专利特开2001-296547号公报，图8实用新型所欲解决的问题本实用新型所欲解决的问题在于提供一种降低噪音影响的显示面板试验用探测器及其试验装置。
本实用新型所欲解决的另外的问题在于提供一种可高速及高精度测定的显示面板试验用探测器及其试验装置。
本实用新型进而所欲解决的另外问题在于提供一种于显示面板试验用探测器及其试验装置中，交流保持夹盘台于高阻抗，并有效实施静电屏蔽的探测器及其试验装置。
本实用新型进而所欲解决的另外问题在于提供一种于显示面板试验用探测器及其试验装置中，减少因探测器的发动机驱动系列造成的噪音影响的探测器及其试验装置。
因此，本实用新型的目的在于提供一种可解决上述问题的显示面板试验用探测器及其试验装置。此目的通过权利要求书中独立项所揭示的特征组合达成。另外，附属项规定本实用新型的更加有利的具体实例。
实用新型内容在本实用新型的显示面板试验用探测器中，包含夹盘，支持台，其支持夹盘，第1内部遮罩，其屏蔽夹盘，以及外部遮罩，其屏蔽夹盘及第1内部遮罩；且，外部遮罩于底盘接地，夹盘通过第1电缆连接于第1连接器，第1内部遮罩通过第2电缆经由阻抗连接于第2连接器。
另外，本实用新型的探测器包含，具备第3连接器，通过第3电缆连接于第2电缆与第1内部遮罩相连接的位置的方面，以及第1到第3中任一者的电缆为同轴电缆，各自的外皮导体连接于底盘的方面。进而，也包含于上述遮罩内，具备屏蔽夹盘上方的第2内部遮罩，第1内部遮罩屏蔽夹盘的下部与侧部的方面。进而，也包含上述阻抗为电感器的方面以及为电阻的方面。
进而，本实用新型的另外的显示面板试验用探测器包含夹盘，支持台，其支持夹盘，第1内部遮罩，其屏蔽夹盘，以及外部遮罩，其屏蔽夹盘及第1内部遮罩；且，外部遮罩于底盘接地，夹盘通过第1电缆连接于第1连接器，第1内部遮罩通过第2电缆经由阻抗连接于底盘。
进而，本实用新型的试验装置包含上述构造的探测器，第1电压源，其供给第1特定电压到第1连接器，以及第2电压源，其连接于第2及第3连接器，并供给第2特定电压。进而本实用新型的另外试验装置也包含具备自第1电压源，经由探测卡将供给到第1连接器的特定电压供给到第2内部遮罩的第4电缆的方面。
实用新型效果通过本实用新型的显示面板用探测器及其试验装置，由于交流保持夹盘台于高阻抗，并有效实施静电屏蔽，因此可有效保证夹盘的电位不受噪音的影响，故而具有在电性测定中也可进行高速、高精度的试验的优点。
图1为表示本实用新型的第1实施例的试验装置构造的模式图。
图2为表示本实用新型的第2实施例的试验装置构造的模式图。
具体实施方式
使用图1说明作为本实用新型的第1实施例的显示面板试验用探测器110及其试验装置100。被测定对象(显示面板)122放置于夹盘124，通过设置于探测卡118的探测器针120测定。探测器针120连接于未图示的测定器。于此例中，探测器针120从探测卡118的中心开口部探测于被测定对象。夹盘124夹绝缘体126，通过第1内部遮罩128屏蔽。较好的是第1内部遮罩128覆盖夹盘124的底面及侧面，而侧面较好的是延伸到高于被测定对象的上面高度的位置，对于夹盘及被测定对象有效屏蔽外来噪音。
夹盘124、绝缘体126、内部遮罩128构成夹盘台129。夹盘台129通过支持零件160与支持台132成为一体而运作，支持台132通过控制于伺服放大器140的伺服发动机142，可于X、Y、Z方向移动。夹盘台129、被测定对象122以及探测卡118通过外部遮罩112包围。图中，虽仅为概念性表示，但支持零件160为依据公知技术，成为可灵活移动而于外部遮罩112的下部平面未留下多余的开口的构造。
外部遮罩112于上部具备开口部115，用于探测器针120前端接触状态的确认等。图中虽未特别表示，但探测卡118或被测定对象122的装卸使外部遮罩112的部分可开闭，于该处装卸，或，以在横方向设置可进出的托盘等方式进行。在开口部115之下，以探测卡118表面电位不影响夹盘124及被测定对象122的方式，设有环状的第2内部遮罩114。第2内部遮罩114通过将其剖面设为L形状，不仅上下方向，于横方向、斜方向也可有效屏蔽。第2内部遮罩114同时具保持探测卡118的作用。较好的是第2内部遮罩114的水平部分为大致覆盖探测卡118的下部，除作为探测器针120的贯通部分的中央部的形状。
夹盘124通过电缆136连接于探测器A COM端子144，通过电缆161连接于测定装置(MEAS UNIT)148的A COM端子。测定装置148及其A COM端子可为作为测定装置部分的试验头与设置于此的A COM端子。另外，测定装置148的A COM端子较好的是为测定装置的共通电位，且可供给干净的直流电压，即，即使有干扰噪音进入，也仅供给不含交流成份的直流电压的端子。
外部遮罩112通过电缆134，连接于探测器的底盘的机架地线(FG)点而接地(156)。
第1内部遮罩128通过电缆138，经由阻抗(Z)130连接于第四端子(F)155，通过电缆166连接于接地单元(GDU)152的第四端子。于此处，阻抗(Z)130可作为电感器、电阻或电感器及电阻二者。作为电感器的情形时，可不影响直流成份，对于交流成份可作为的高阻抗。此时，较好的是卷有于环形铁芯中流过电流的元件的电感器元件，并较好的是以不损害直流特性的方式使用较粗的线材。作为电阻的情形时，较好的是作为低电阻，进而虽直流成份产生一些损失，但交流成份可不受频率影响赋予特定阻抗。另外，阻抗(Z)130较好的是设置于尽量接近第1内部遮罩128的位置，例如，设置于支持台132内部空间等。
第1内部遮罩通过电缆139连接于感测端子(S)151，通过电缆164连接于接地单元152的感测端子，形成开耳芬连接。此开耳芬连接较好的是于接地单元152与第1内部遮罩128之间，设计为足够吸收噪音的宽带区。接地单元可不必为测定装置148的A COM端子，但较好的是可供给较干净的直流电压。
较好的是电缆136、138、139为同轴电缆，外皮导体均连接于探测器的底盘的机架地线(FG)点，而被屏蔽。
另外，测定装置148的A COM端子通过电缆162，经由设置于探测卡118的端子170，进而经由跨接线172或探测卡上的图案(未图示)，进而经由螺丝或电缆等的电性连接手段116连接于第2内部遮罩114。
通过以上构造，例如即使噪音重叠于探测器的底盘，外部遮罩112的电位产生改变，第1内部遮罩128经由阻抗130自外部连接，因此电位难以变化。另外，第1内部遮罩与第2内部遮罩间几乎无电位差，因此即使于此两个内部遮罩之间存有寄生电容，也可大致控制噪音电流的输入输出，影响较小。故而，可保持夹盘的电位不受噪音影响。进而，可以高速、高精度进行于被测定对象122上的电性试验。
另外，于以上说明中，是以开耳芬连接表示接地单元152与第1内部遮罩128的连接，但也可依据噪音的程度，不进行开耳芬连接，拆掉电缆139，于第四端子155连接来自接地单元152的第四电缆166与感测电缆进行试验。
继而使用图2说明作为本实用新型的第2实施例的显示面板试验用探测器210及其试验装置200。另外，在图2中，与图1相同的构成要素赋予相同参照编号，省略其说明。
与图1的不同点在于，于第1内部遮罩128，为通过电缆238，经由阻抗130连接于探测器底盘的机架地线，以及将电缆238作为单线电缆。进而，可提供一种探测器及试验装置，其虽然也受到探测器底盘的噪音程度的影响，但无需接地单元，可以低成本保持夹盘电位不受噪音的影响。
以上就本实用新型加以说明，但在本实用新型的显示面板的试验中，并非仅限于发光元件形成后的显示面板试验，也包含于形成矩阵电路后，形成发光元件前的显示面板试验。另外，本实用新型的上述实施例的细节形状、参数为例示，本实用新型并非仅限于此等实施例，可通过组合众所周知的技术进行各种变更及修正。例如，第1内部遮罩的侧壁自夹盘上面突出延伸，但其形状可采用各种形状，并非仅限于笔直延伸，也可为前端折向内侧的弯曲形状。
权利要求1.一种显示面板试验用探测器，其特征在于包含夹盘，支持台，其支持上述夹盘，第1内部遮罩，其屏蔽上述夹盘，以及外部遮罩，其包围上述夹盘及上述第1内部遮罩；且，上述外部遮罩于底盘接地，上述夹盘通过第1电缆连接于第1连接器，上述第1内部遮罩通过第2电缆经由阻抗连接于第2连接器。
2.根据权利要求1所述的探测器，其特征在于上述第1或第2电缆为同轴电缆，各自的外皮导体连接于底盘。
3.根据权利要求1所述的探测器，其特征在于具有第3连接器，通过第3电缆连接于上述第2电缆与上述第1内部遮罩相连接的位置。
4.根据权利要求3所述的探测器，其特征在于上述第1至第3中的任一电缆为同轴电缆，各自的外皮导体连接于底盘。
5.一种显示面板试验用探测器，其特征在于包含夹盘，支持台，其支持上述夹盘，第1内部遮罩，其屏蔽上述夹盘，以及外部遮罩，其包围上述夹盘及上述第1内部遮罩；且上述外部遮罩于底盘接地，上述夹盘通过第1电缆连接于第1连接器，上述第1内部遮罩通过第2电缆经由阻抗连接于底盘。
6.根据权利要求5所述的探测器，其特征在于上述第1电缆为同轴电缆，其外皮导体连接于底盘。
7.根据权利要求1至6中任一权利要求所述的探测器，其特征在于上述阻抗包含电感器。
8.根据权利要求1至6中任一权利要求所述的探测器，其特征在于上述阻抗包含使用环形铁芯的电感器。
9.根据权利要求1至6中任一权利要求所述的探测器，其特征在于上述阻抗包含电阻。
10.根据权利要求1至6中任一权利要求所述的探测器，其特征在于上述阻抗设置于第1内部遮罩附近。
11.根据权利要求10所述的探测器，其特征在于上述阻抗设置于上述支持台内部。
12.根据权利要求1至6中任一权利要求所述的探测器，其特征在于于上述外部遮罩内，进而包含屏蔽上述夹盘的上方的第2内部遮罩，上述第1内部遮罩为屏蔽上述夹盘的下部与侧部。
13.根据权利要求12所述的探测器，其特征在于上述第2内部遮罩为环状形状。
14.根据权利要求12所述的探测器，其特征在于上述第2内部遮罩的剖面为L形状。
15.根据权利要求12所述的探测器，其特征在于上述第2内部遮罩具有与收容于该第2内部遮罩上部的探测卡的特定信号线相连接的手段。
16.根据权利要求1至6中任一权利要求所述的探测器，其特征在于上述外部遮罩于上部具有开口部。
17.根据权利要求1至6中任一权利要求所述的探测器，其特征在于上述外部遮罩含有并包围上述夹盘的移动区域整体。
18.根据权利要求1至6中任一权利要求所述的探测器，其特征在于上述第1内部遮罩覆盖上述夹盘的底部与侧部，该侧部的覆盖自夹盘的上面突出延伸。
19.一种显示面板试验装置，其特征在于其包含权利要求1或2所述的探测器，第1电压源，其供给第1特定电压到上述第1连接器，以及第2电压源，其供给第2特定电压到上述第2连接器。
20.一种显示面板试验装置，其特征在于其包含权利要求5或6所述的探测器，以及第1电压源，其供给第1特定电压到上述第1连接器。
21.一种显示面板试验装置，其特征在于其包含权利要求3至4中任一权利要求所述的探测器，第1电压源，其供给第1特定电压到上述第1连接器，以及第2电压源，其连接于上述第2及第3连接器，并供给第2特定电压。
22.根据权利要求21所述的试验装置，其特征在于具备第4电缆，该第4电缆从上述第1电压源，经由上述探测卡，将供给到上述第1连接器的特定电压供给到上述第2内部遮罩。
专利摘要本实用新型的目的为于显示面板试验用探测器及其试验装置中，提供一种交流保持夹盘台于高阻抗，并有效实施静电屏蔽的探测器及试验装置。于本实用新型的显示面板试验用探测器或使用它的试验装置中，具有夹盘124，支持夹盘的支持台132，屏蔽夹盘的第1内部遮罩128，以及屏蔽夹盘及第1内部遮罩的外部遮罩112，外部遮罩于探测器的底盘接地，夹盘通过第1电缆136连接于第1连接器144，第1内部遮罩通过第2电缆138，经由阻抗130连接于第2连接器155。
文档编号G01R1/073GK2773690SQ20042011278
公开日2006年4月19日 申请日期2004年11月15日 优先权日2003年11月21日
发明者岸田明人 申请人:安捷伦科技公司