探针卡的制作方法

文档序号:6135306阅读:280来源:国知局
专利名称:探针卡的制作方法
技术领域
本发明是与探针卡有关,特别是关于一种可弹性调整布线与接点位置的探针卡。
背景技术
半导体或液晶面板工业中所使用的探针卡(Probe Card)结构,通常包含有一电路板、一环状间隔件,以及一具有若干悬臂式(CantileverType)探针的针组;电路板具有一配线禁止区,以及一位于配线禁止区中央的定位孔,配线禁止区内没有布设任何导线或接点,而间隔件接合于定位孔内,针组则贴合于间隔件的底面,使各探针的位置对应于电路板的接点位置;针组的各探针外端是焊接于位置相对应的电路板接点,内端则朝间隔件中央延伸,可用以电性连接一待测物(Device Under Test,DUT);电路板是装设于自动检测设备(Automated Test Equipment,ATE),自动检测设备即可经由电路板以及各探针将测试信号送入待测物,以进行待测物的品质测试,便于事先在制造过程中检测出不良品,提升产品良率。
然而,当电路板的接点位置必须依照客户的指定而改变,以能配合自动检测设备的测试功能时,常会发生探针外端无法对应焊接于改变位置后的电路板接点,使探针必须再利用拐针、接针,或是使用单心线跳线的方式焊接于电路板,才能正确地让自动检测设备所送出的测试信号经由电路板以及探针送至待测物;而上述探针与电路板的连接方式,不但增加了信号传送距离,也会产生电气杂讯的干扰,容易造成测试信号失真、无法增加测试速度,以及无法进行高频测试的缺点。

发明内容
因此,本发明的主要目的乃在于提供一种探针卡,其可弹性调整各探针与电路板的问的布线与接点位置,以配合不同的自动测试需求,减少信号传递时受到干扰,且制造成本较低。
为达成前揭目的,本发明一种探针卡,其特征在于,包含有一电路板,具有一配线禁止区,以及一设于该配线禁止区的定位孔一间隔件,是设于该电路板的定位孔;至少一跳线板,具有若干电性连接点各该跳线板是接合于该定位孔的孔壁与该间隔件之间;各该电性连接点用以电性连接于该电路板;以及一针组,具有若干探针;该针组是设于该间隔件,各该探针的一端用以电性连接于一待测物,而另一端则可电性连接于该跳线板的其中一该电性连接点。
其中该定位孔的孔壁具有若干呈等角分布的凸块,相邻二该凸块之间形成一嵌设空间,该间隔件是抵接于该等凸块,各该跳线板则设于各该嵌设空间。
该等凸块的数量为四。
该定位孔是呈圆形。
其中还包含有一补强件,该补强件是设于该电路板的一侧面,且覆设于该定位孔,用以增加该电路板的抗弯曲强度。
本发明一种探针卡,其特征在于,包含有一电路板,具有一定位孔一间隔件,是设于该电路板的定位孔;至少一跳线板,具有若干电性连接点;各该跳线板是设于该电路板;各该电性连接点用以电性连接于该电路板;以及一针组,具有若干探针;该针组是设于该间隔件,各该探针的一端用以电性连接于一待测物,而另一端则可电性连接于该跳线板的其中一该电性连接点。
其中该定位孔的孔壁具有若干呈等角分布的凸块,相邻二该凸块的问形成一嵌设空间,该间隔件是抵接于该等凸块,各该跳线板则设于各该嵌设空间,并接设于该电路板。
其中该等凸块的数量为四。
其中该定位孔是呈圆形。
其中还包含有一补强件,该补强件是设于该电路板的一侧面,且覆设于该定位孔,用以增加该电路板的抗弯曲强度。
本发明一种探针卡,其特征在于,包含有
一电路板,具有一定位孔;一间隔件,是设于该电路板的定位孔;至少一跳线板,具有若干电性连接点;各该跳线板是设于该间隔件各该电性连接点用以电性连接于该电路板以及一针组,具有若干探针;该针组是设于该间隔件,各该探针的一端用以电性连接于一待测物,而另一端则可电性连接于该跳线板的其中一该电性连接点。
其中该定位孔是呈圆形。
其中该定位孔的孔壁具有若干呈等角分布的凸块,相邻二该凸块之间形成一嵌设空间,该间隔件是抵接于该等凸块,各该跳线板则设于各该嵌设空间,并接设于该间隔件。
其中该等凸块的数量为四。
其中还包含有一补强件,该补强件是设于该电路板的一侧面,且覆设于该定位孔,用以增加该电路板的杭弯曲强度。
由此,本发明即可弹性调整各采针与电路板之间的布线与接点位置,以配合不同的自动测试需求,达到减少信号传递时受到干扰,且制造成本较低的目的。


以下,兹配合图示列举一较佳实施例,以对本发明的结构及功效作详细说明,其中所用各图示的简要说明如下图1是本发明一较佳实施例的立体示意图,其中仅显示剖面结构的状态;图2是本发明一较佳实施例的立体分解示意图;图3是本发明一较佳实施例的立体组合图;以及图4是本发明一较佳实施例的剖视图。
具体实施例方式
请参阅图1及图2所示,是为本发明一较佳实施例的探针卡,包含有一电路板10、一间隔件20、四跳线板30,以及一针组40;其中该电路板10是呈圆形,中央具有一配线禁止区11,配线禁止区11外围具有若干沿预定位置分布的导线12,以及若干电性连通于导线12的外接点13与内接点19,配线禁止区11内没有布设任何的导线以及接点,且配线禁止区11中央具有一圆形定位孔14,定位孔14是由电路板10再加工而成,每次加工后都具有不同的尺寸,定位孔14的孔壁具有四呈等角分布的凸块15,各凸块15具有一螺孔16,相邻二凸块15之间形成一弧形嵌设空间17,电路板10的顶面设有一金属补强件18,补强件18是由四螺栓(图中未示)固定于凸块15,形成补强件18设于电路板10的顶面,且覆盖于定位孔14上方,用以增加电路板10的抗弯曲强度。
该间隔件20是为以金属材料所制成的圆形板体,厚度约略小于电路板10的厚度,间隔件20的中心具有一方形穿孔22;间隔件20是设于电路板10的定位孔14,且外周抵接于电路板10的各凸块15。
各该跳线板30是呈弧形,且形状对应于电路板10的嵌设空间17;跳线板30具有若干可导电的电性连接点32;各跳线板30是分别设于各嵌设空间17内,跳线板30的内、外周壁分别利用接著剂贴合固定于定位孔14的孔壁与间隔件20的外周,使各跳线板30以及间隔件20被固定于电路板10的定位孔14内。
该针组40具有一陶瓷环状基座42以及若干探针44,探针44是胶合于基座42,外端位于基座42的外侧,内端朝基座42内部延伸,且具有一呈垂直状的针尖部46朝向基座42下方;基座42的顶面是贴合于间隔件20的底面,使针组40位于电路板10的底面中央。
经由上述结构,如图1、图3及图4所示,探针卡的部分探针44外端是直接焊接于位置相对应的电路板10内接点19,使位置对应于该等内接点19的外接点13电性连通于该等探针44;而当电路板10的外接点13必须依照客户所指定的位置设置,而使外接点13无法与探针44的位置相互对应时,探针44外端可先焊接于跳线板30的电性连接点32,然后再利用一同轴线50一端焊接于该跳线板30的电性连接点32,另一端则延伸焊接于改变位置后的电路板10内接点19,即可将探针44连接于位置并不相互对应的电路板10外接点13;各探针44的针尖部46是用以触接一待测物的接点,而电路板10是设于一自动测试设备(图中未示),使电路板10的外接点13电性连通于该自动测试设备,自动测试设备即可经由电路板10的外接点13以及探针44传送信号至待测物,并分析待测物所回传的信号,以进行待测物的品质测试。
由此,本发明利用电路板的配线禁止区所设置的跳线板,增加了可提供探针焊接的电性连接点,使各探针与电路板之间可弹性调整布线与接点位置,以配合各种不同的测试需求,达到减少信号传递距离,避免信号受到干扰;而且,电路板亦可以公板规格制造,达到节省生产成本的目的。
此外,由于前述各跳线板是用以增加可供探针焊接的电性连接点,因此跳线板的设置位置并不限于电路板的定位孔孔壁与间隔件之间,可改将各跳线板翠独设于电路板或是间隔件,同样可达成本发明的目的;而且,前述定位孔与间隔件的形状亦可以非圆形取代。
权利要求
1.一种探针卡,其特征在于,包含有一电路板,具有一配线禁止区,以及一设于该配线禁止区的定位孔一间隔件,是设于该电路板的定位孔;至少一跳线板,具有若干电性连接点;各该跳线板是接合于该定位孔的孔壁与该间隔件之间;各该电性连接点用以电性连接于该电路板;以及一针组,具有若干探针;该针组是设于该间隔件,各该探针的一端用以电性连接于一待测物,而另一端则可电性连接于该跳线板的其中一该电性连接点。
2.依据权利要求1所述的探针卡,其特征在于,其中该定位孔的孔壁具有若干呈等角分布的凸块,相邻二该凸块之间形成一嵌设空间,该间隔件是抵接于该等凸块,各该跳线板则设于各该嵌设空间。
3.依据权利要求2所述的探针卡,其特征在于,该等凸块的数量为四。
4.依据权利要求1所述的探针卡,其特征在于,该定位孔是呈圆形。
5.依据权利要求1所述的探针卡,其特征在于,其中还包含有一补强件,该补强件是设于该电路板的一侧面,且覆设于该定位孔,用以增加该电路板的抗弯曲强度。
6.一种探针卡,其特征在于,包含有一电路板,具有一定位孔一间隔件,是设于该电路板的定位孔;至少一跳线板,具有若干电性连接点;各该跳线板是设于该电路板;各该电性连接点用以电性连接于该电路板;以及一针组,具有若干探针;该针组是设于该间隔件,各该探针的一端用以电性连接于一待测物,而另一端则可电性连接于该跳线板的其中一该电性连接点。
7.依据权利要求6所述的探针卡,其特征在于,其中该定位孔的孔壁具有若干呈等角分布的凸块,相邻二该凸块的问形成一嵌设空间,该间隔件是抵接于该等凸块,各该跳线板则设于各该嵌设空间,并接设于该电路板。
8.依据权利要求7所述的探针卡,其特征在于,其中该等凸块的数量为四。
9.依据权利要求6所述的探针卡,其特征在于,其中该定位孔是呈圆形。
10.依据权利要求6所述的探针卡,其特征在于,其中还包含有一补强件,该补强件是设于该电路板的一侧面,且覆设于该定位孔,用以增加该电路板的抗弯曲强度。
11.一种探针卡,其特征在于,包含有一电路板,具有一定位孔;一间隔件,是设于该电路板的定位孔;至少一跳线板,具有若干电性连接点;各该跳线板是设于该间隔件各该电性连接点用以电性连接于该电路板以及一针组,具有若干探针;该针组是设于该间隔件,各该探针的一端用以电性连接于一待测物,而另一端则可电性连接于该跳线板的其中一该电性连接点。
12.依据权利要求11所述的探针卡,其特征在于,其中该定位孔是呈圆形。
13.依据权利要求11所述的探针卡,其特征在于,其中该定位孔的孔壁具有若干呈等角分布的凸块,相邻二该凸块之间形成一嵌设空间,该间隔件是抵接于该等凸块,各该跳线板则设于各该嵌设空间,并接设于该间隔件。
14.依据权利要求13所述的探针卡,其特征在于,其中该等凸块的数量为四。
15.依据权利要求11所述的探针卡,其特征在于,其中还包含有一补强件,该补强件是设于该电路板的一侧面,且覆设于该定位孔,用以增加该电路板的杭弯曲强度。
全文摘要
一种探针卡,包含有一电路板、一间隔件、至少一跳线板,以及一针组;电路板具有一配线禁止区,以及一定位孔,间隔件是设于定位孔,各跳线板具有若干电性连接点,各跳线板是接合于定位孔的孔壁与间隔件之间,各电性连接点可用以电性连接于电路板,而针组具有若干探针,针组是设于间隔件,使各探针的一端用以电性连接于一待测物,而另一端则可电性连接于跳线板的其中一电性连接点。
文档编号G01R31/00GK1808128SQ200510004559
公开日2006年7月26日 申请日期2005年1月18日 优先权日2005年1月18日
发明者吕福进 申请人:旺矽科技股份有限公司
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