专利名称：探针卡的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种同时对多个检查对象进行规定的检查时所使用的探 针卡。
背景技术：
迄今，例如在构成液晶显示器的液晶面板的驱动电路等上，公知使用
被称为TAB(Tape Automated Bonding)或COF(Chip On Film)等TCP(Tape Carrier Package)的IC封装的构成。该TCP，在表面形成有规定的配线图案 的薄膜状基材上，通过搭载LSI(Large Scale Integrated Circuit)等半导体芯
片而形成。
在制造TCP时，与其它的半导体集成电路的情形相同，为检测出不良 品，进行与电特性相关的检査。更具体地，对在薄膜基材上形成的配线图 案的电短路及断线的有无进行检查(导通检查)，或在搭载半导体芯片后经 由配线图案对半导体芯片进行输入输出规定的检查信号的工作特性检査
等o
然而，近年的半导体集成电路，具有为实现高速运算处理而使用高频 率的电信号来工作的构造。在通过漆包线等导线构成用于对检查对象输入 输出高频率的电信号的配线构造的情况下，检査信号的波形容易变迟钝， 有容易对高频率测定性能产生妨碍的问题。因此，作为该问题的对策，提 出一种使用同轴电缆从而实现传送检查信号的配线构造的检査系统(例
如，参照专利文献1及2)。
专利文献1:日本特许第2971706号公报 专利文献2:日本特许第3357294号公报
但是，在通过相对于多个检查对象传送高频率的电信号来同时进行检 査的情况下，相对于相邻的检查对象，有时在一个检查对象的输入侧和另一个检查对象的输出侧的配线附近发生串扰。更具体地，在传送高频率的 电信号的情况下，由于施加3V以上的电压作为电源电压，因此在检查时 产生大的电磁波，有时不能忽视对其它配线的串扰的影响。在此情况下， 有时也会在另一个检查对象的输出配线上产生电磁感应引起的噪声等影 响，从而不能进行检查。
发明内容
本发明鉴于上述问题而提出，目的在于提供一种探针卡，其能够抑制 在相邻的检查对象间的串扰的影响。
为解决上述的问题，并达成目的，技术方案1所述的发明是一种探针 卡，其对多个检查对象与生成检査用的信号的电路构造之间进行电连接， 并且能够对于所述多个检查对象的至少一部分同时进行所述检查用的信 号的输入输出，其特征在于，具有由导电性材料构成，与所述检查对象 接触从而进行电信号的输入或者输出的至少任一方的多个探针；具有对应 于所述电路构造的配线图案的基板； 一端电连接于所述多个探针的任一 个，从而向所述检查对象传送输入信号的多个输入用导线； 一端电连接于 所述基板，另一端与所述多个输入用导线的任一个或者所述多个探针的任 一个电连接的多个同轴电缆； 一端电连接于所述多个探针的任一个，从而 传送来自所述检査对象的输出信号的多个输出用导线；以及由导电性材料 构成，在与相邻的两个所述检查对象中的一个检查对象连接的所述输出用 导线和与另一个检查对象连接的所述输入用导线相交叉的区域附近设置 的屏蔽板。
技术方案2所述的发明，其特征在于，在技术方案l所述的发明中， 所述基板具有向所述多个检查对象供应接地电位，并按照各检查对象在该 基板的不同区域分离形成的接地层。
技术方案3所述的发明，其特征在于，在技术方案l所述的发明中， 在与相邻的两个所述检查对象中的一个检查对象连接的所述输出用导线 和与另一个检查对象连接的所述输入用导线相交叉的区域附近，还具有将 与所述一个检查对象连接的所述输出用导线聚集成束、并由导电性材料构 成的屏蔽部件。 技术方案4所述的发明，其特征在于，在技术方案3所述的发明中， 所述基板具有向所述多个检查对象供应接地电位，并按照各检查对象在该 基板的不同区域分离形成的接地层。
技术方案5所述的发明，其特征在于，在技术方案1至4的任一所述 的发明中，所述基板具有相对于所述多个检查对象的输入端子群和输出端 子群，相对于同一所述检查对象的输入用端子群和输出用端子群在该基板 的不同区域分离形成。
发明效果
根据本发明的探针卡，其具有由导电性材料构成，与检查对象接触 从而进行电信号的输入或者输出的至少任一方的多个探针；具有对应于生
成检查用信号的电路构造的配线图案的基板； 一端电连接于所述多个探针 的任一个，从而向所述检査对象传送输入信号的多个输入用导线； 一端电 连接于所述基板，另一端与所述多个输入用导线的任一个或者所述多个探 针的任一个电连接的多个同轴电缆； 一端电连接于所述多个探针的任一 个，从而传送来自所述检查对象的输出信号的多个输出用导线；以及由导 电性材料构成，在与相邻的两个所述检查对象中的一个检査对象连接的所 述输出用导线和与另一个检查对象连接的所述输入用导线相交叉的区域 附近设置的屏蔽板，由此，可以抑制在相邻的检查对象间的串扰的影响。
图1是模式地表示本发明的一实施方式的探针卡的概略构成的俯视
图2是模式地表示从图1的箭头A方向所视的侧面及检查时的状态的
图3是模式地表示TAB的概略构成的俯视图。 图中
l一探针卡；2 —探针；3 —探针保持具；3A、 3B —接触区域；4一输 入用导线；5 —同轴电缆；6 —输出用导线；7 —基板；7A、 7B —接地层； 8 —屏蔽板；9一屏蔽部件；21—输入用端子；21G —输入用端子群；22、 24、 27、 29 —接地线；23、 25、 28 —接地端子；26 —输出用端子；26G—
输出用端子群；31—探针头；32—中继基板；33 —中介层；45—焊锡；51
一芯线；52 —被覆屏蔽；71—连接用端子；100—TAB; 100A、 100B —检 査对象；101 —电极焊垫；102A、 102B —输入焊垫群；103A、 103B —输出 焊垫群；104A、 104B —半导体芯片。
具体实施例方式
以下，参照附图对用于实施本发明的最佳实施方式(以后，称为"实 施方式")进行说明。并且，附图是模式的，应该注意各部分的厚度与宽 度的关系及各部分的厚度的比率等有时也会与现实不同的情况，当然在附 图的彼此间有时也会包含彼此的尺寸的关系或比率不同的部分。
图1是模式地表示本发明的一实施方式的探针卡的概略构成的俯视 图。此外，图2是模式地表示从图1的箭头A方向所视的侧面及检查时的 状态的图。在这些图中所示的探针卡1，在对将半导体芯片搭载在薄膜状 的基材上而构成的TAB进行导通检查或工作特性检查时适用。
探针卡1具有与TAB100所具有的电极焊垫101接触的多个探针2、 由适用于TAB100的配线图案的图案收容并保持多个探针2的探针保持具 3、 一端与多个探针2中对TAB100进行信号输入用的探针2的任一个电 连接的多个输入用导线4、 一端与输入用导线4的任一个的另一端连接的 多个同轴电缆5、 一端与多个探针2中对来自TAB100的信号进行输出用 的探针2电连接的多个输出用导线6、连接同轴电缆5的另一端及输出用 导线6的另一端从而固定的基板7、在相邻的输入用导线4与输出用导线 6之间设置的电磁波遮挡用的屏蔽板8、以及将多个输出用导线6聚集成 束的管状的屏蔽部件9。
探针2对应于TAB100所具有的电极焊垫101的配置图案被收容并保 持在探针保持具3上，以使得一个前端突出，各探针2的前端(图2的底面 侧)相对于TAB100的多个电极焊垫101的表面从垂直的方向以规定压力接 触。该探针2在长度方向上伸縮自如地蓄势弹发。作为这样的探针2，能 够适用现有所知的任一种探针。此外，在探针2为针型的情况下，也可以 不经由输入用导线4而直接连接同轴电缆5和探针2。
探针保持具3具有将下述部分依序层叠的构造具有对应于探针2的
配设位置的孔部，并且收容并保持多个探针2的探针头31;对与探针2 电连接的配线构造进行空间地变换从而与基板7中继的中继基板(间隔变
换基板)32;以及在中继基板32与基板7之间设置并中继配线的中介层33。 此外，探针2不经由中继基板32或中介层33，也可以是使输入用导线4 及输出用导线6和探针2直接接触从而实现电连接的构造。
探针卡1可以同时检查两个检查对象，但一般可以同时检査多个检查 对象。在图1中，相对于各个检查对象接触的区域作为接触区域3A、 3B。
图3是模式地表示TAB100的概略构成的俯视图。如该图所示的 TAB100，在由厚度为数十um(微米)左右的聚酰亚胺等形成的长形的薄膜 状的基材上，沿其长度方向规则地配置有多个检查对象。在图3中，表示 在一个TAB100上连续形成的两个检查对象100A及100B。
检查对象100A具有传送来自检查装置(电检查测试器、未图示)的 输入信号的输入焊垫群102A、向检查装置送出输出信号的输出焊垫群 103A、以及半导体芯片104A。同样地检查对象100B也具有输入焊垫 群102B、输出焊垫群103B、及半导体芯片104B。构成输入焊垫群102A 和102B以及输出焊垫群103A和103B的多个电极焊垫101的配置图案与 探针保持具3的多个探针2的配置图案一致。在图3中，检査对象100A 的输出焊垫群103A和检查对象100B的输入焊垫群102B的距离不到 4.75mm，非常接近。
输入到检查对象IOOA及100B的输入信号，是使半导体芯片104A及 104B驱动的电源电压、高频率电信号等。因此，在输入焊垫群102A及i02B 上，包含上述信号的信号输入端子及接地电位供应用的接地端子。
在检査具有以上构成的TAB100时，检查对象100A的电极焊垫101， 与由探针保持具3的接触区域3A保持的探针2的前端接触，另一方面， 检查对象1 00B的电极焊垫101与由探针保持具3的接触区域3B保持的 探针2的前端接触。
接着，对探针卡l的构成进行说明。输入用导线4一端与在探针保持 具3上设有的探针2中任一个电连接，另一方面，另一端与同轴电缆5中 任一个电连接，探针2与同轴电缆5电连接。输入用导线4通过漆包线、 导线等单线或者捻线形成。输出用导线6与输入用导线4同样，也通过漆
包线等形成。此外，在图1及图2中，为了避免记载过于繁杂，仅记载输 入用导线4，同轴电缆5，及输出用导线6的各自一部分，并且，在图1 中省略了输入用导线4等和接地电极的配线。此外，关于未传送高频率信
号的传送线(例如电源电压供应用的传送线)，也可以不经由同轴电缆5将 输入用导线4直接连接到基板7。
基板7具有相对于同轴电缆5输出检査信号，并且将来自输出用导线 6的输出信号输出至检查装置的功能，其通过具有规定的电路构造的印刷 基板(PCB)来实现。基板7使用酚醛树脂或环氧树脂等绝缘性物质形成， 多个探针2与检查装置电连接。在基板7上分别形成有多个输入用端子21 、 多个输出用端子26、及多个与检查装置连接的连接用端子71，输入用端 子21及输出用端子26和连接用端子71，经由通过导通孔等立体形成的配 线层(配线图案)而连接起来。此外，在图1中，为简化记载，仅记载输入 用端子21及输出用端子26和连接用端子71的各自的一部分。
在基板7中，将接地电位供应到与接触区域3A的探针2接触的检查 对象100A的接地层7A和将接地电位供应到与接触区域3B的探针2接触 的检查对象100B的接地层7B分离。由此，能够将接地层分离到检査装置 的执行层面(performance board level)，相对于两个检查对象100A及100B 可以最小限度地抑制接地层彼此的串扰影响。
此外，在基板7上，在分离的区域上设置相对于同一检查对象的输入 用端子群21G和输出用端子群26G。由此，可以以各检査对象的输入信号 和输出信号不干扰的方式对配线进行布局。
屏蔽板8使用铝等导电性材料来实现，并且被设置在相邻的检査对象 100A的输出用导线6和检查对象100B的输入用导线4相交叉的区域附近、 即在接触区域3A和接触区域3B的交界附近，经由接地线27与接地端子 28连接。通过设置该屏蔽板8，能够抑制通过检查对象100A的输出用导 线6和检查对象100B的输入用导线4产生的串扰的影响。此外，只要通 过薄的薄膜状的金属或网眼等柔软的材质来实现屏蔽板8，则安装变得容 易。
屏蔽部件9与屏蔽板8同样，将铝等导电性材料形成为管状，在相邻 的检查对象100A的输出用导线6和检查对象100B的输入用导线4相交
叉的区域附近即在包含屏蔽板8的上方的附近，将检查对象100A的输出
用导线6的至少一部分聚集成束。该屏蔽部件9具有静电遮蔽输出用导线 6从而抑制来自外部的噪声的影响的功能。此外，因为通过设置屏蔽部件 9能够容易地将输出用导线6聚集成束，所以可以不设置特别的中继用基 板来连接同轴电缆5和输入用导线4。此外，也可以将薄膜状的铝巻绕在 检查对象100A的输出用导线6的束上作为屏蔽部件9。
其次，参照图2对输入用导线4、同轴电缆5及输出用导线6的连接 样态进行说明。输入用导线4 一端经由中介层33及中继基板32与探针2 电连接，另一方面，另一端与同轴电缆5的芯线51连接。输入用导线4 和芯线51通过焊锡45连接。
在同轴电缆5的端部中，在与输入用导线4连接的一侧的相反侧的端 部，芯线51与在基板7上形成的输入用端子21连接。输入用端子21与 检查装置电连接，同轴电缆5通过其一端与输入用端子21连接而可以传 送检査信号及电源电压等。此外，在同轴电缆5的一端侧，被覆屏蔽52 与接地线22连接，该接地线22与在基板7上形成的接地端子23连接， 相对于被覆屏蔽52供应接地电位。
同轴电缆5的另一端，芯线51与输入用导线4连接，并且被覆屏蔽 52经由接地线24与接地端子25连接，并供应接地电位。这样，通过被覆 屏蔽52具有从两端供应接地电位的构造来保持稳定的接地电位，抑制来 自外部的噪声传到芯线51。此外，被覆屏蔽52与接地线22及24的连接
可以通过焊锡等来进行。
输出用导线6—端经由中继基板32与探针2电连接，另一方面，另
一端与设置在基板7上的输出用端子26连接。
将多个输出用导线6聚集成束的屏蔽部件9，经由接地线29与接地端 子28连接。由此，屏蔽部件9带来的静电遮蔽效果能够更进一步提高。
根据以上说明的本发明的一实施方式的探针卡，其具有由导电性材 料构成，与检查对象接触从而进行电信号的输入或者输出的至少任一方的 多个探针；具有对应于生成检查用的信号的电路构造的配线图案的基板； 一端与所述多个探针的任一个电连接，从而对所述检査对象传送输入信号 的多个输入用导线； 一端与所述基板电连接，另一端与所述多个输入用导
线的任一个或者所述多个探针的任一个电连接的多个同轴电缆；一端与所 述多个探针的任一个电连接，从而传送来自所述检査对象的输出信号的多 个输出用导线；由导电性材料构成，在与相邻的两个所述检査对象中的一 个检查对象连接的所述输出用导线和与另一个检査对象连接的所述输入 用导线相交叉的区域附近设置的屏蔽板，由此，可以抑制在相邻的检査对 象间的串扰的影响。
此外，根据本实施方式，可以最小限度地抑制同时检査多个检查对象 时最重要的问题点即在相邻检查对象间的输入用导线和输出用导线之间 的串扰的影响。
进而，根据本实施方式，通过依各检查对象在基板的不同区域上分离 从而形成接地层，能够最小限度地抑制来自接地侧对检查对象的影响。
除此之外，根据本实施方式，相对于同一检査对象的输入用端子群和 输出用端子群在基板的不同区域分离形成，从而各检査对象的输入信号和 输出信号能够不干扰。
此外，根据本实施方式，通过具有屏蔽部件，由于构成为不经由在中 途中继信号用配线的中继部件等，因此在简单的构成下屏蔽作业容易，且 可以实现屏蔽效果优良的配线。 (其他的实施方式)
以上，对用于实施本发明的最佳实施方式进行了详述，但本发明并不 仅限于上述一实施方式。例如，在上述的一实施方式中，通过屏蔽部件将 输出用导线聚集成束，但也可以使在输入侧供应电源电压的电源线遮蔽。
此外，在上述一实施方式中，以单端(single end)传送方式作为前提， 但也可以使其对应于RSDS(Reduced Swing Differential Signaling)或者 LVDS(Low Voltage Differential Signaling)等差动传送方式。在此情况下， 也可以通过使用将导线成对捻合的方式来谋求检查对象和检查装置的连 接。
此外，本发明的探针卡，也可以适用在TAB以外的多样的元件的多 个同时检查。
这样，本发明能够包含在此未记载的各种的实施方式等，也可以在不 脱离由权利要求范围所特定的技术性思想的范围内施加各种的设计变更工业实用性
如以上所述，本发明的探针卡，在相对于多个检查对象同时进行规定
的检查时有用，尤其适用于TAB或COF等的TCP的检査。
权利要求
1.一种探针卡，其对多个检查对象与生成检查用的信号的电路构造之间进行电连接，并且能够对于所述多个检查对象的至少一部分同时进行所述检查用的信号的输入输出，其特征在于，具有由导电性材料构成，与所述检查对象接触从而进行电信号的输入或者输出的至少任一方的多个探针；具有对应于所述电路构造的配线图案的基板；一端电连接于所述多个探针的任一个，从而向所述检查对象传送输入信号的多个输入用导线；一端电连接于所述基板，另一端与所述多个输入用导线的任一个或者所述多个探针的任一个电连接的多个同轴电缆；一端电连接于所述多个探针的任一个，从而传送来自所述检查对象的输出信号的多个输出用导线；以及由导电性材料构成，在与相邻的两个所述检查对象中的一个检查对象连接的所述输出用导线和与另一个检查对象连接的所述输入用导线相交叉的区域附近设置的屏蔽板。
2. 如权利要求1所述的探针卡，其特征在于，所述基板具有向所述多个检查对象供应接地电位，并按照各检査对象 在该基板的不同区域分离形成的接地层。
3. 如权利要求l所述的探针卡，其特征在于，在与相邻的两个所述检査对象中的一个检查对象连接的所述输出用 导线和与另一个检査对象连接的所述输入用导线相交叉的区域附近，还具 有将与所述一个检查对象连接的所述输出用导线聚集成束、并由导电性材 料构成的屏蔽部件。
4. 如权利要求3所述的探针卡，其特征在于，所述基板具有向所述多个检查对象供应接地电位，并按照各检査对象 在该基板的不同区域分离形成的接地层。
5. 如权利要求1至4中的任一项所述的探针卡，其特征在于， 所述基板具有相对于所述多个检査对象的输入端子群和输出端子群， 相对于同一所述检查对象的输入用端子群和输出用端子群在该基板的不同区域分离形成。
全文摘要
本发明提供一种探针卡。其目的在于抑制在相邻的检查对象间的串扰的影响。为达成此目的，本发明的探针卡具有与检查对象接触从而进行电信号的输入或者输出的至少任一方的多个探针；具有对应于生成检查用信号的电路构造的配线图案的基板；一端电连接于所述多个探针的任一个，从而向所述检查对象传送输入信号的多个输入用导线；一端电连接于所述基板，另一端与所述多个输入用导线的任一个或者所述多个探针的任一个电连接的多个同轴电缆；一端电连接于所述多个探针的任一个，从而传送来自所述检查对象的输出信号的多个输出用导线；以及在与相邻的两个所述检查对象中的一个检查对象连接的所述输出用导线和与另一个检查对象连接的所述输入用导线相交叉的区域附近设置的屏蔽板。
文档编号G01R1/073GK101346632SQ20068004912
公开日2009年1月14日 申请日期2006年12月25日 优先权日2005年12月28日
发明者仁平崇, 石川重树 申请人:日本发条株式会社