专利名称：：探针卡的制作方法
技术领域：
：本发明涉及一种探针卡，用于测量待测物体的各种电特性等。
背景技术：
：就这一类探针卡来说，已知一种探针卡，包括多个探针，其与待测物体的信号电极接触；一支撑基底，所述探针与其电连接且机械连接；一主基底，其位置与支撑基底的上部表面相对；及一连接机构，其用于将主基底的布线图案连接到支撑基底的布线图案。这种探针卡(其安装在探针器的工作台上)由探针器中的调节机构予以调节以便处于水平位置，并且随后通过操作该探针器，而被用于测量待测物体的各种电特性(参看专利文献1)。专利文献1日本专利特开第05-144892号近年来，待测物体的集成度不断提高。在待测物体具有如此高的集成性的情况下，各信号电极间微小的高度差异可能造成问题。通过允许探针卡的每一电极弹性地变形，可解决各信号电极间微小高度差异所造成的这一问题。随着待测物体的集成度的提高，除了各信号电极间微小的高度差异会造成问题外，安装时待测物体的微小倾斜也会造成问题。当待测物体倾斜时，一部分信号电极将比其它信号电极位置更高。结果，当探针卡保持水平时，虽然一部分探针可接触一部分信号电极，但其余探针将无法接触其它信号电极，或者即使有一些接触也无法达到在探针和信号电极间获得电连续(electricalcontinuity)所需的预定接触压力，从而导致无法适当地执行测量。
发明内容本发明就是被设计用来解决上述问题，本发明的一个目的是提供一种探针卡，即使在待测物体处于倾斜状态时，所述探针卡也能使所有探针接触待测物体的信号电极，同时确保了在探针和信号电极间获得电连续所需的预定接触压力，从而使得可正确执行测量。为了解决上述问题，根据本发明的探针卡包括多个探针，其形状允许垂直弹性变形；一支撑基底，在其下部表面上具有所述探针；一主基底，其位置与所述支撑基底的上部表面相对；以及一柱状支撑部件，其位于所述支撑基底与主基底之间，且这样支持该支撑基底以使其可倾斜，其中所述支撑部件的一个端部被设置在支撑基底的中心处。所述支撑部件的构造最好允许垂直弹性变形。此外，最好在支撑基底与主基底之间的至少两个位置处设置可垂直弹性变形的弹性部件。采用总弹簧系数(overallspringcoefficient)比探针的总弹簧系数小的弹性部件。可在主基底与支撑基底之间设置中间基底，所述中间基底比主基底刚性更大。在这一情况下，将所述支撑部件，或者所述支撑部件与弹性部件置于中间基底与支撑基底之间。在支撑基底内和/或其表面上形成电连接到探针的布线图案。并且在主基底内和/或其表面上形成布线图案。支撑基底的布线图案通过连接部件而电连接到主基底的布线图案。当主基底是柔性基底时，在该主基底内和/或其表面上形成电连接到探针的布线图案。主基底的这一布线图案通过连接部件而连接到支撑基底的布线图案。最好在支撑基底的上部表面上提供一块加固板。在根据本发明的权利要求1所述的探针卡中，即使在待测物体倾斜的情况下，当一部分探针接触一部分信号电极(其位置比该待测物体的其它信号电极更高)时，支撑基底会根据待测物体的斜度而绕支撑部件倾斜，因此，支撑基底也可平行于待测物体。相应地，所有探针都可接触待测物体的信号电极。因此，当以常规方式将探针压(过压)抵在信号电极上时，可达到在探针与信号电极间获得电连续所需的预定接触压力。此外，由于探针可垂直地弹性变形，所以也可消减各信号电极间的微小高度差异，从而使得可正确地执行测量。在根据本发明的权利要求2所述的探针卡中，当支撑基底倾斜并且所有探针都接触待测物体的信号电极后，每一所述探针都弹性地变形，同时所述支撑部件也弹性地变形。因此，可非常容易地达到在探针与待测物体的信号电极间获得电连续所需的预定接触压力，从而使得可更稳定地执行测量。在根据本发明的权利要求3所述的探针卡中，弹性部件被置于主基底与支撑基底之间的至少两个位置处，其中所述弹性部件可垂直弹性变形，同时与探针相比，其总弹簧系数更小。当支撑基底倾斜时，这些弹性部件充当支撑基底与待测物体间的平行度调节部件。因此，可防止当一部分探针接触待测物体的信号电极时支撑基底过度倾斜，从而可稳定地执行测量。在这种情况下，与支撑基底由单一支撑部件来支持的情况相比，支撑基底可受到更稳定的支持。因此，不会有探针与待测物体的信号电极互相错位的危险。在根据本发明的权利要求4所述的探针卡中，一个刚性比主基底更大的中间基底被设置在主基底与支撑基底之间；支撑部件，或者支撑部件和弹性部件被设置在中间基底与支撑基底之间。相应地，当探针与待测物体的信号电极接触时，可防止中间基底被通过支撑部件和/或弹性部件施加到其上的推力所弯曲。因此，支撑基底可根据待测物体的斜度而适当地倾斜，从而使得可稳定地执行测量。在根据本发明的权利要求5所述的探针卡中，在支撑基底内和/或其表面上形成电连接到探针的布线图案；因此，通过所述布线图案，可容易地建立到测量装置的电连接。在根据本发明的权利要求6所述的探针卡中，使用探针执行电测量所需的电路元件被设置在探针附近；因此该探针卡具有测量精度得以改善的优点。在根据本发明的权利要求7和8所述的探针卡中，在主基底内和/或其表面上形成布线图案，且所述主基底布线图案通过连接部件而电连接到支撑基底的布线图案；因此，随着探针微型化而变得越加拥挤的支撑基底上的布线图案可被分散到主基底上。相应地，该探针卡具有可处理高度集成的待测物体的优点。在根据本发明的权利要求9所述的探针卡中，在支撑基底的上部表面上提供一加固板；因此，当使探针与待测物体的信号电极接触时，可防止支撑基底被通过探针施加到其上的推力所弯曲。因而，支撑基底可根据待测物体的斜度而适当地倾斜，从而使得可稳定地执行测量。图1是根据本发明的第一实施例的探针卡的示意截面图。图2是探针卡的示意平面图，其显示了一支撑部件和多个弹性部件的配置。图3是用于探针卡中的探针的示意图。图4是图3(a)中所示的探针的示意图，所述探针具有一个加固部件。图5是图1所示的部分α的放大截面图，其显示了探针卡，其中探针与待测物体的信号电极相接触。图6是在作业过程中的探针卡的示意截面图。图7是根据本发明的第二实施例的探针卡的示意截面图。图8是探针卡的示意平面图，其显示了一支撑部件和多个弹性部件的配置。具体实施例方式将在下文中描述本发明的实施例。实施例1首先，将参照附图来描述根据本发明的第一实施例的探针卡。图1是根据本发明的第一实施例的探针卡的示意截面图。图2是该探针卡的示意平面图，其显示了一支撑部件和多个弹性部件的配置。图3是该探针卡中使用的探针的示意图。图4是图3(a)中所示的探针的示意图，所述探针具有一个加固部件。图5是图1所示的部分α的放大截面图，其显示了该探针卡，其中探针与待测物体的信号电极相接触。图6是在作业过程中的探针卡的示意截面图。图1和图2所示的探针卡A可与用以测量待测物体B(半导体晶片)的各种电特性的一测量装置(未图示)电连接，且可用作安装在该测量装置中的探针器上所安装的感测部件，所述探针卡A包括多个探针100；一支撑基底200，在其下部表面上具有所述探针100；一主基底300，其位置与所述支撑基底200的上部表面相对；一中间基底400，其被设置在所述支撑基底200和主基底300之间；一支撑部件500，其在所述中间基底400和支撑基底200之间，且该支撑部件500这样支持所述支撑基底200以使其可倾斜；以及多个弹性部件600，其位于所述支撑基底200和中间基底400之间(在8个位置处)。在下文中，将详细描述探针卡的每一部分。探针100的形状允许其至少在垂直方向上弹性变形，以便消减待测物体B的可接触信号电极(contactablesignalelectrode)10的高度偏差。实例包括图3(a)所示的形成于支撑基底200的一个表面上的悬臂状、半圆弧形探针；图3(b)所示的两端都连接到支撑基底200的圆弧形探针；图3(c)所示的悬臂状探针，其具有多个在支撑基底200的长度方向上弯曲的区段；图3(d)所示的两端都连接到支撑基底200的圆形探针；图3(e)所示的具有多个弯曲区段的悬臂状探针；图3(f)所示的悬臂状探针，其具有一个在支撑基底200的长度方向上弯曲的区段；及图3(g)所示的螺旋弹簧形探针。如图4和图5所示，可在探针100的大致顶部中央处提供一个突起状接触端点110，其与待测物体B的信号电极10相接触。通过重复以下过程在支撑基底200的下部表面上涂覆一抗蚀层；在该抗蚀层上形成一图案；并接着在该图案上形成一镀层，而将这种探针100一体地形成于支撑基底200的下部表面上。将这种探针100的间距调节成与待测物体B的信号电极10的间距具有相同的值(在这一情况下，为25微米)，以使探针100可接触待测物体B的信号电极10。当探针100呈弯曲的悬臂状时(即，如图3(a)、3(c)、3(e)和3(f)所示的探针)，可沿着探针100的面向支撑基底200的表面的长度方向而一体地提供一层或多层加固部件121，其由铝等物质制成，并比探针100具有更大的弹性，如图4(a)所示。当探针100具有弯曲形状且在支撑基底200与探针100顶部(其接触待测物体B的信号电极10)的相反表面之间存在间隙时(即，图3(a)到3(f)所示的探针)，如图4(b)所示，可将一加固部件122置于该间隙中，所述加固部件122由弹性体等物质制成，并比探针100具有更大的弹性。通过在探针100的面向支撑基底200的表面上涂覆铝等物质，可在探针100的制造过程中一体地形成加固部件121。类似地，通过将弹性体等物质填充到所述间隙中，可在探针100的制造过程中将加固部件122置于所述间隙中。在下文中，为方便说明，将以图3(a)、图4和图5所示的悬臂状、半圆弧形探针为例来描述探针100。探针100的构造包括第一四分之一圆弧形区段101，其一端由支撑基底200支撑；及第二四分之一圆弧形区段102，其连接到所述第一四分之一圆弧形区段101的另一端，且比该第一四分之一圆弧形区段101略短。突起状接触端点110被提供在探针100的大致顶部中央处。支撑基底200由一种绝缘材料构成，该材料的线性膨胀系数与待测物体B的线性膨胀系数相近。实例有硅基底和聚合物基底。这样，因为使用了线性膨胀系数与待测物体B的线性膨胀系数相近的材料，所以即使当通过大幅改变测量环境的温度来执行测量时，支撑基底200也可与待测物体B类似地膨胀或收缩。具体地说，当探针100被形成于所述支撑基底200的表面上时，应付与待测物体B的膨胀或收缩相关的信号电极位移问题将成为可能。如图1和图5所示，布线图案210被形成于支撑基底200内和/或其表面上。而且，在支撑基底200的上部表面的边缘处提供了连接器220(参看图1)。布线图案210的一个端部暴露在支撑基底200的下部表面上，以便电连接到各个探针100；其另一个端部电连接到所述连接器220。连接器220电连接到稍后加以描述的连接部件700的柔性基底720。而且，在支撑基底200内提供了电连接到布线图案210的电路元件230(参看图5)。为使用探针执行电测量，这些电路元件230是必要的。这里采用了充当所谓的旁路电容器的电容器，以及具有BOST(外置自检(BuildOutSelfTest))功能的电路元件，其中所述BOST可对测试(即，测量待测物体B的电特性)起到补充作用。所述电容器起到改善高频特性的作用。根据对待测物体B的测试内容的不同，所述具有BOST功能的电路元件起到不同的作用。将一块加固板240附接到支撑基底200的上部表面。将比支撑基底200更具刚性且线性膨胀系数与待测物体B的线性膨胀系数相近的材料(例如，钼等物质)用于构造该加固板240。在支撑基底200和加固板240中形成通孔(未图示)，连接部件700的连接探针710将插入所述通孔中。将比主基底300更具刚性的(例如)陶瓷基底等用作中间基底400。通过螺钉固定(screwfixing)将中间基底400安装在探针器上，使其位于主基底300与支撑基底200之间。在中间基底400中形成通孔(未图示)，连接部件700的连接探针710将插入所述通孔中。支撑部件500是一个可垂直弹性变形的阻尼器，其包括一个柱体510和一个螺旋弹簧520，该螺旋弹簧520附接到该柱体510。所述柱体510位于支撑基底200的中心处且附接到中间基底400的中心。相应地，柱体510的一个端部被设置在支撑基底200的中心处，由此充当支撑基底200的支撑点。因而可支持所述支撑基底200而使其可倾斜。将可垂直弹性变形的螺旋弹簧用作弹性部件600，所述弹簧比探针100具有更小的总弹簧系数。因此，当一部分探针100接触一部分信号电极10(其位置比待测物体B的其它信号电极10更高)时，支撑基底200将绕支撑部件500倾斜。相应地，弹性部件600将先于探针100发生弹性变形。具体地说，通过与支撑基底200的倾斜相应地发生弹性变形，弹性部件600可起到吸收待测物体B的倾斜的作用。将一种柔性基底用作主基底300。主基底300在延伸状态下附接到用于将中间基底400安装到探针器上的螺钉。在主基底300内形成有布线图案310。在主基底300的上部表面的边缘处，提供了电连接到所述布线图案310的外部电极320。在主基底300的下部表面，布线图案310被暴露出来。连接部件的连接探针710的后端接触该暴露的布线图案310。外部电极320电连接到测量装置的供电单元。就连接部件700来说，连接探针710被用于电力线；柔性基底720被用于测量用信号线。连接探针710的尖端被插入支撑基底200和加固板240的通孔中，并且接触待测物体B的供电电极(未图示)；连接探针710的后端被插入中间基底400的通孔中，并且接触从主基底300的下部表面暴露出来的布线图案310。柔性基底720使支撑基底200的连接器220与测量装置的测量单元电连接。在连接探针710中，提供了一个弯曲部分。该弯曲部分是弯曲的，以便使支撑部件500和弹性部件600的弹性变形不受妨碍。具体地说，从测量装置的供电单元输出的操作信号依次流经主基底300的外部电极320和布线图案310，直到连接探针710。另一方面，从测量装置的测量单元输出的测量信号依次流经柔性基底720、支撑基底200的连接器220和布线图案210，直到探针100。在具有这种构造的探针卡A中，提供在支撑基底200上的支撑部件500被附接到中间基底400。接着，弹性部件600被安装在中间基底400与支撑基底200之间。随后，连接探针710被依次插入中间基底400、支撑基底200和加固板240中的通孔中。接着，通过螺钉固定，将中间基底400直接安装在测量装置的探针器上。接着，将主基底300附接到所述螺钉，并且使连接探针710与主基底300的布线图案310相接触。随后，使柔性基底720与支撑基底200的连接器220和测量装置的连接器相接触。这样，探针卡A被安装在用以测量待测物体B的电特性的测量装置的探针器上。下文将详细描述探针卡A的使用。在此情况下，假定待测物体B处于倾斜状态。首先，启动探针器的驱动单元，以便调节探针卡A和待测物体B之间的位置关系。接着，使探针卡A相对接近待测物体B，以使连接探针710接触待测物体B的供电电极。同时，使探针100的连接端点110与待测物体B的信号电极10相接触。在这一过程中，当所述探针100的一部分连接端点110接触一部分信号电极10(其位置比待测物体B的其它信号电极10更高)时，支撑部件500的螺旋弹簧520和弹性部件600会弹性变形(如图6所示)，同时支撑基底200会根据待测物体B的倾度而绕支撑部件500倾斜。因此，使支撑基底200平行于待测物体B，以便探针100的所有连接端点110都可接触待测物体B的信号电极10。随后，使探针卡A与待测物体B进一步彼此相对接近，以便将探针100的连接端点110压(即，过压)抵在待测物体B的信号电极10上。在这一过程中，支撑部件500的螺旋弹簧520和弹性部件600弹性变形(即，收缩)，同时各个探针100根据待测物体B的各个信号电极10的高度差异而发生弹性变形。于是，探针100的连接端点110被压抵在待测物体B的信号电极10上。因此，可确保在探针100和待测物体B的信号电极10间获得电连续所需的预定接触压力。此时，如图5所示，当探针100弹性变形时，第二四分之一圆弧形区域102的尖端接触支撑基底200的表面，接着(按图5中箭头方向)在上述表面上移动。当以这种方式操作探针100时，由过压过程引入到探针100上的负载可得以减小，以便防止探针100损坏，同时使探针100产生特定的摩擦以便将氧化膜剥离信号电极10，从而可实现与信号电极10的稳定接触。其后，当使用所述测量装置对待测物体B进行的测量过程结束后，启动探针器的驱动单元，以便将探针卡A与待测物体B分离。在前述探针卡A中，即使待测物体B处于倾斜状态，当一部分探针100接触一部分信号电极10(其位置比待测物体B的其它信号电极10更高)时，支撑基底200将根据待测物体B的斜度而绕支撑部件500倾斜。因此，使支撑基底200平行于待测物体B，于是使所有探针100都与信号电极10相接触，从而可以以预定接触压力来执行测量。所以，可避免以下的常规情况当一部分探针100可接触待测物体B的一部分信号电极时，其余探针100却无法接触其它信号电极10，或者即使有接触也无法获得在探针100和信号电极10间获得电气连续所需的预定接触压力。因而能够适当地执行测量。实施例2现在将参照附图来描述根据本发明的第二实施例的探针卡。图7是根据本发明的第二实施例的探针卡的示意截面图。图8是该探针卡的示意平面图，其显示了一支撑部件和多个弹性部件的配置。图7和图8所示的探针卡A’与探针卡A具有大致类似的构造。探针卡A与探针卡A’间的较大差异在于印刷电路板被用作探针卡A’的主基底800。下文中将详细描述该差异，且本文将省略对重复部分的重复说明。虽然参考标号800指示主基底，但与实施例1相对应的其它部件由相同的参考标号标识。在主基底800中，提供多个通孔810，连接探针710被插入所述通孔810中。在主基底800内和/或其表面上形成布线图案820。而且，在主基底800的上部表面的边缘处提供外部电极831。这些外部电极831电连接到测量装置的供电单元或测量单元。在主基底800的下部表面的边缘处，提供了电连接到柔性基底720的连接器832。布线图案820使外部电极831与插入于通孔810中的连接探针710的后端互相电连接，同时将外部电极831与连接器832互相电连接。连接部件700的柔性基底720被用于使支撑基底200的连接器220与主基底800的连接器832互相电连接。具体地说，从测量装置的供电单元输出的操作信号依次流经主基底800的外部电极831和布线图案810，直到连接探针710。另一方面，从测量装置的测量单元输出的测量信号依次流经主基底800的外部电极831、布线图案810、连接器832、柔性基底720、支撑基底200的连接器220和布线图案210，直到探针100。通过螺钉固定，将中间基底400安装在主基底800上，使其位于主基底800与支撑基底200之间。下文将参看图7和图8来详细描述探针卡A’的使用。在此情况下，假定待测物体B处于倾斜状态。首先，启动探针器的驱动单元，以便调节探针卡A’和待测物体B之间的位置关系。接着，使探针卡A’相对接近待测物体B，以使连接探针710接触待测物体B的供电电极。同时，使探针100的连接端点110与待测物体B的信号电极10相接触。在这一过程中，当所述探针100的一部分连接端点110接触一部分信号电极10(其位置比待测物体B的其它信号电极10更高)时，支撑部件500的螺旋弹簧520和弹性部件600会弹性变形(如图6所示)，同时支撑基底200会根据待测物体B的斜度而绕支撑部件500倾斜。因此，使支撑基底200平行于待测物体B，以便探针100的所有连接端点110都可接触待测物体B的信号电极10。随后，使探针卡A’与待测物体B进一步彼此相对接近，以便将探针100的连接端点110压(即，过压)抵在待测物体B的信号电极10上。在这一过程中，支撑部件500的螺旋弹簧520和弹性部件600弹性变形(即，收缩)，同时各个探针100根据待测物体B的各个信号电极10的高度差异而发生弹性变形。于是，探针100的连接端点110被压抵在待测物体B的信号电极10上。因此，可确保在探针100和待测物体B的信号电极10间获得电连续所需的预定接触压力。此时，当探针100弹性变形时，第二四分之一圆弧形区域102的尖端接触支撑基底200的表面，接着在上述表面上移动(参看图5)。当以这种方式操作探针100时，由过压过程引入到探针100上的负载可得以减小，以便防止探针100损坏，同时使探针100产生特定的摩擦以便将氧化膜剥离信号电极10，从而可实现与信号电极10的稳定接触。其后，当使用所述测量装置对待测物体B进行的测量过程结束后，启动探针器的驱动单元，以便将探针卡A’待测物体B分离。与探针卡A相类似，在使用这种探针卡A’的情况下，即使待测物体B处于倾斜状态，当一部分探针100接触一部分信号电极10(其位置比待测物体B的其它信号电极10更高)时，支撑基底200将根据待测物体B的斜度而绕支撑部件500倾斜。因此，使支撑基底200平行于待测物体B，于是使所有探针100都与信号电极10相接触，从而可以预定接触压力来执行测量。所以，可避免以下的常规情况当一部分探针100可接触待测物体B的一部分信号电极时，其余探针100却无法接触其它信号电极10，或者即使有接触也无法达到在探针100和信号电极10间获得电连续所需的预定接触压力。因而能够正确地执行测量。对探针卡A和探针卡A’进行任何设计修改的条件是探针卡需包括多个探针，其形状允许垂直弹性变形；一支撑基底，在其下部表面上具有所述探针；一主基底，其位置与所述支撑基底的上部表面相对；以及一柱状支撑部件，其位于所述支撑基底与主基底之间，且这样支持该支撑基底以使其可倾斜，其中所述支撑部件的一个端部被设置在支撑基底的中心处。相应地，当像主基底800一样的刚性基底被用作主基底时，无需提供中间基底400。(但是，当使用像主基底300一样的柔性基底时，中间基底400就是不可缺少的。)在这种情况下，支撑部件500和弹性部件600被设置在主基底与支撑基底200之间。在这种构造下，最好将具有一定刚性的基底用作主基底，以便当使探针100与信号电极10相接触时，可防止基底被通过支撑部件500和弹性部件600施加到其上的推力所弯曲。但是，即使缺乏刚性的基底在用加固板等予以加固后也可被使用。在这个实施例中，将一块PCB用作主基底800。但是，只要可实现相同功能，就可使用任何基底。当不在主基底800上提供布线图案等部件时，可采用简单的板状体。在这种情况下，连接部件700被直接电连接到测量装置。在这个实施例中，将一个可垂直弹性变形的阻尼器用作支撑部件500。但是，可使用任何部件，只要它是用于支持所述支撑基底以使其可倾斜的柱状体。例如，可采用比探针100和弹性部件600具有更大的总弹簧系数的刚性柱状橡胶块等物。最好在至少两个位置处提供弹性部件600。但是，也可省略弹性部件600。就连接部件700来说，连接探针710被用于电力线；柔性基底720被用于信号线。但是，连接探针710当然可用于信号线；柔性基底720当然可用于电力线。可用任意方式提供连接探针710。当未提供连接探针710时，柔性基底720既用于电力线又用于测量用信号线。权利要求1.一种探针卡，其包括多个探针，其形状允许垂直弹性变形；支撑基底，在其下部表面上具有所述探针；主基底，其与所述支撑基底的上部表面相对；及柱状支撑部件，其位于所述支撑基底与所述主基底之间，且支持所述支撑基底以使该支撑基底可倾斜，其中，所述支撑部件的一个端部被设置在所述支撑基底的中心处。2.根据权利要求1所述的探针卡，其中，所述支撑部件具有允许垂直弹性变形的构造。3.根据权利要求1或2所述的探针卡，其中，在所述支撑基底与所述主基底之间的至少两个位置处提供了可垂直弹性变形的弹性部件，所述弹性部件的总弹簧系数比所述探针的总弹簧系数更小。4.根据权利要求1、2或3所述的探针卡，其中，一中间基底被设置在所述主基底与所述支撑基底之间，所述中间基底比所述主基底刚性更大，且所述支撑部件，或者所述支撑部件与所述弹性部件被提供在所述中间基底与所述支撑基底之间。5.根据权利要求4所述的探针卡，其中，在所述支撑基底内、所述支撑基底的上部表面和所述支撑基底的下部表面之中的至少之一处形成与所述探针电连接的布线图案。6.根据权利要求5所述的探针卡，其中，在所述支撑基底内、所述支撑基底的上部表面和所述支撑基底的下部表面之中的至少之一处提供了多个电路元件，所述电路元件与所述布线图案电连接。7.根据权利要求5所述的探针卡，其中，在所述主基底内、所述主基底的上部表面和所述主基底的下部表面之中的至少之一处形成一布线图案，所述主基底的布线图案通过一连接部件与所述支撑基底的布线图案电连接。8.根据权利要求5所述的探针卡，其中，所述主基底是一柔性基底，在所述主基底内、所述主基底的上部表面和所述主基底的下部表面之中的至少之一处形成布线图案，其与所述探针电连接，及所述主基底的布线图案通过所述连接部件与所述支撑基底的布线图案电连接。9.根据权利要求5或8所述的探针卡，其中，一加固板被提供在所述支撑基底的上部表面上。全文摘要本发明的目的是提供一种可正确执行测量的探针卡。根据本发明的探针卡包括多个探针(100)，其形状允许垂直弹性变形；一支撑基底(200)，在其下部表面上具有所述探针；一主基底(300)，其位置与所述支撑基底(200)的上部表面相对；一中间基底(400)，其被设置在所述支撑基底(200)和主基底(300)之间；一支撑部件(500)，其为柱状，其一个端部附接到支撑基底(200)的中心而另一个端部附接到中间基底(400)，且该支撑部件(500)这样支持所述支撑基底(200)使所述支撑基底(200)可倾斜；及多个弹性部件，其用于支持支撑基底(200)，以使支撑基底(200)相对于主基底(300)在水平位置，所述弹性部件位于支撑基底(200)和主基底(300)之间。文档编号G01R1/073GK1661375SQ200510007498公开日2005年8月31日申请日期2005年2月22日优先权日2004年2月23日发明者町田一道,浦田敦夫,三根敦申请人:日本电子材料株式会社