专利名称：测试筐的定位装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种测试筐的定位装置，特别涉及高低温冲击机中'的测试 箧的定位装置。
背景技术：
在半导体制造过程中，晶圓经过曝光、蚀刻、切割、封装后形成芯片(IC),但封装后形成的芯片的性能还需经过产品可靠性测试来判断其性能的好坏。在 产品可靠性测试中，会涉及到很多环境测试用以检验芯片的封装质量，其中就包括高低温冲击试—验测试(Thermal shock, T/S)，此测试用以才企一睑芯片是否在 可靠性测试液且极端变化的温度下(如-65。C 150。C或者-55°C~125°C)导致 电性的短路或者断路。根据JEDEC国际测试标准，芯片样品先在高温槽内浸泡2 分钟，然后到低温槽浸泡2分钟，如此循环最少100次，从而完成对芯片的高 低温沖击试-睑测试。如图1所示为一高低温冲击试验测试装置一高低温冲击机，它呈长立方体 状，其前壁上具有玻璃罩2a和控制界面2b，其内部主要包括分别存放高、低温 测试液的两个槽——高温槽3和低温槽4，且每一槽都具有两扇弹性门la、 lb、 lc和ld; —个存放芯片样品的测试筐5; ^/L械手臂6,用于连接测试筐5并将 测试筐5在高、低温槽3、 4中移动，机械手臂6上还有一个单边支架9 (见图 2 )，该单边支架9呈U字状且其在垂直方向的长度大于测试筐5的长度，可与 高温槽3、低温槽4上的弹性门碰撞后将弹性门la 、 lb、 lc、 ld打开，且防止 测试筐5与弹性门碰撞后产生变形；结合图2和图3具体描述高低温沖击机的 工作原理。首先，打开玻璃罩2a，将装有芯片样品的测试筐5与机械手臂6固 定，其中，一i^试筐5上的T型头IO插入成弯折的卡合结构7中，旋转螺丝8 直到与T型头10紧密接触且固定连接，通过螺丝8与T型头10的固定连接使 测试筐5与机械手臂6固定连接，通过控制界面2b的擴:作使机械手臂6带动测 试筐5在高温槽3和低温槽4移动。在进行高低温冲击试验测试时，机械手臂6带动测试筐5在高温槽3、低温槽4中循环浸泡，芯片样品先在高温槽3内浸泡2分钟，然后到低温槽4浸泡2分钟，如此循环最少100次，从而完成对芯片的 高低温冲击试验测试。当要更换芯片样品时，可旋松螺丝8将测试筐5与机械 手臂6分离。但是一次高低温冲击测试的循环次数最低为100次，即机械手臂6 上下左右来回次数至少要100次，这样机械手臂6与测试筐5连接的螺丝8就 容易松动，而且现有的机械手臂6上只有一个单边支架9保护测试筐，这会导 致与机械手臂6固定的测试筐5左右摇晃，最后被卡在槽口边，导致变形，机 台提示出现故障，测试被迫终止。严重的时候，测试筐5破损或变形，难以复 原，并且芯片样品掉入无论高、低温槽哪个槽中，才几台需要6-8小时才能恢复 到常温，方能进行捞取芯片样品的动作；而且在捞取芯片样品的时候，也会造 成测试液的污染。当然还会产生一些其它问题影响测试时间和测试进度，浪 费资源，给操作带来不必要的麻烦。为了保护测试筐及其中的待测产品，迫切需要一种能将机械手臂与测试筐 牢固固定且能保护测试筐的装置。实用新型内容本实用新型的目的在于提供一种测试筐的定位装置，通过该定位装置不仅 能将测试筐与机械手臂牢固固定，而且可以保护测试篋不与外面的物体发生碰撞。为了达到所述的目的，本实用新型提供一种测试筐的定位装置，包括与测 试筐连接的T型头，将T型头进行卡合的卡合结构，该卡合结构与一螺丝螺紋 连接，其中，卡合结构与螺丝之间设置一弹簧，该弹簧防止螺丝与卡合结构之 间的+>动。在上述的测试筐的定位装置中，所述的螺丝包:l舌螺紋杆、螺紋杆外表面的 外螺紋、螺丝头。在上述的测试筐的定位装置中，所述的螺丝头垂直连接一螺丝手柄。 在上述的测试筐的定位装置中，所述的弹簧的直径大小位于位于外螺紋和内 螺紋直径之间。在上述的测试筐的定位装置中，所述的测试筐设置于两个单边支架组成的空间中。在上述的测试筐的定位装置中，所述的单边支架相互对立平行。 在上述的测试箧的定位装置中，所述的单边支架之间通过复数对金属条连接。在上述的测试筐的定位装置中，所述的两对金属条连接两个单边支架的侧边。在上述的测试筐的定位装置中，所述的一对金属条连接两个单边支架的底边。在上述的测试箧的定位装置中，所述的单边支架为U形状。本实用新型由于采用了上述的技术方案，使之与现有技术相比，具有以下的优点和积4l效果1..测试筐与机械手臂牢固固定，不易发生松动； 2.保护测试筐不与外面的物体发生碰撞。
本实用新型的测试筐定位装置由以下的实施例及附图给出。图1为现有技术中的高低温冲击试验测试装置示意图；图2为现有技术中的机械手臂与测试箧连接示意图；图3为现有技术中固定测试筐的螺丝示意图；图4为本实用新型一种测试箧的固定装置示意图；图5为本实用新型一种测试筐的保护装置示意图。
具体实施方式
以下将结合附图对本实用新型的测试篋定位装置作进一步的详细描述。 本实用新型中的高低温冲击机，与如前所述的相类似，内部主要包括分别 存放高、低温测试液的两个槽——高温槽3和低温槽4, 一个存放芯片样品的测 试筐5;机械手臂6，用于连接测试筐5并将测试箧5在高温槽3和低温槽4中 移动， 一与测试箧5卡合连接的卡合结构7。如图4所示，为本实用新型一种测试筐的固定装置示意图。该固定装置包括一螺丝21， 一弹簧26, —具有内螺紋11的卡合结构7。该螺丝21主要由螺 丝杆23，位于螺丝杆23外表面的外螺紋22，套在螺丝杆23—端的螺丝头24, 和螺丝头24垂直连接的螺丝手柄25组成，其中，螺丝头24为圆柱形，利用螺 丝手柄25可方便地旋转螺丝21。弹簧26位于螺丝21与卡合结构7之间，其直 径大小介于外螺紋22和内螺紋11直径之间，弹簧26可套在外螺紋22上。当 测试筐5固定于机械手臂6平台时，将测试筐5上的T型头10插入成弯折的卡 合结构7中，旋转螺丝21直到与T型头10紧密接触与固定连接，该弹簧26在 螺丝21与卡合结构7拧紧的过中充分地与内螺紋11结合在一起。当测试筐5 受到震动时，弹簧26由于弹性抵消这种震动影响，螺丝21还是能够紧紧的卡 住测试筐5,从而防止螺丝21与卡合结构7之间的爭>动。为了更好地保护测试箧，本实用新型还提供一种测试富的保护装置。如图5 所示，该保护测试篋的装置在原有U形状的单边支架9上，延伸出另一个相同 结构的单边支架17,该两个单边支架9、 17相互对立平行且之间通过三对金属 条18a、 18b、 18c连接形成一个新支架，两对金属条18a、 18 c连接两个单边 支架9、 17的侧边， 一对金属条18b连接两个单边支架9、 17的底边，该新支 架可以^;测试箧5整个地包围在单边支架9、 17形成的空间中。在具体测试时， 该新支架-不仅可以完全打开弹性门la 、 lb、 lc、 ld，也可以很安全地防止测试 筐5与弹性门la 、 lb、 lc、 ld的碰撞，从而有效的避免了测试箧5被卡，测 试被迫中断的现象。以上介绍的仅仅是基于本实用新型的较佳实施例，并不能以此来限定本实 用新型的范围。任何对本实用新型的定位装置作本技术领域内熟知的步骤的替 换、组合、分立，以及对本实用新型实施步骤作本技术领域内熟知的等同改变 或替换均不超出本实用新型的揭露以及保护范围。
权利要求1. 一种测试筐的定位装置，包括与测试筐连接的T型头，与T型头进行卡合的卡合结构，卡合结构通过其内螺纹与一螺丝螺纹连接，其特征在于卡合结构与螺丝之间设置一弹簧，该弹簧防止螺丝与卡合结构之间的松动。
2、 如权利要求1所述的测试筐的定位装置，其特4正在于所述的螺丝包括 螺紋杆、螺紋杆外表面的外螺紋、螺丝头。
3、 如权利要求2所述的测试筐的定位装置，其特征在于所述的螺丝头垂 直连接一螺丝手柄。
4、 如权利要求1所述的测试箧的定位装置，其特征在于所述的弹簧的直 径大小介于螺丝的外螺紋和卡合结构的内螺紋直径之间。
5、 如权利要求1所述的测试筐的定位装置，其特4i在于所述的测试箧设 置于两个单边支架组成的空间中。
6、 如权利要求5所述的测试筐的定位装置，其特征在于所述的单边支架 相互对立平行。
7、 如权利要求6所述的测试筐的定位装置，其特4i在于所述的单边支架 之间通过复数对金属条连接。
8、 如权利要求7所述的测试筐的定位装置，其特征在于所述的两对金属 条连接两个单边支架的侧边。
9、 如权利要求7所述的测试筐的定位装置，其特征在于所述的一-对金属 条连接两个单边支架的底边。
10、 如权利要求5至9中任一项所述的测试筐的定位装置，其特征在于所 述的单边支架为U形状。
专利摘要本实用新型涉及一种测试筐的定位装置，该定位装置包括与测试筐连接的T型头，与T型头进行卡合的卡合结构，卡合结构通过其内螺纹与一螺丝螺纹连接，其中，卡合结构与螺丝之间设置一弹簧，该弹簧可防止螺丝与卡合结构之间的松动。采用本实用新型的测试筐的定位装置不仅能将测试筐与机械手臂牢固固定，同时可以保护测试筐不与外面的物体发生碰撞。
文档编号G01R31/00GK201083799SQ20072007252
公开日2008年7月9日 申请日期2007年7月17日 优先权日2007年7月17日
发明者平 李, 潘军花, 马瑾怡 申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司