专利名称：激光受光位置检测传感器和使用它的校平装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及激光受光位置检测传感器和使用它的校平装置的改进。
技术背景现有知道把多个受光元件上下并排配列的激光受光位置检测传感器(例如参照特开2004-309440号公报)。知道使用该激光受光位置检测传感 器的校平装置。该激光受光位置检测传感器把从各受光元件输出的受光信号由各放大 器分别放大，把从各放大器输出的受光信号由各比较器与界限值进行比较， 并根据从各比较器输出的比较信号来求激光(激光光束)的中心位置。该现有的激光受光位置检测传感器必须把各放大器和各比较器与各受 光元件连接，由于电路结构复杂化和电路元件个数多，所以有价格高的问 题。因此，提出了能够谋求电路结构简单化和减少电路元件个数的激光受 光位置检测传感器的方案。该激光受光位置检测传感器把多个受光元件并排配列，把相互邻接的 受光元件的输出端子由电阻器连接，根据从与并排配列的受光元件中位于 两端的受光元件连接的输出线所输出的各输出信号来进行运算而求出激光 的受光位置。图1是上述提案的激光受光位置检测传感器的方块电路图，该激光受 光位置检测传感器IO具备受光元件列IIX。该受光元件列IIX把由多个光电二极管构成的同一形状同一大小的受 光元件PDXi (i是从1到n+l的正整数)在上下方向或左右方向(垂直方 向或水平方向)上例如等间隔地并排配列。在此，等间隔的意思是假定受光元件PDXi的形状是正方形，则从该 正方形的中心到中心的距离P相互相等，且相互相邻的受光元件PDXj与受 光元件PDXi+1之间的间隙GL与受光元件的宽度W相等。邻接的各受光元件的输出端子(阳极)彼此之间由电阻器(电阻值)RXj (j是从1到n的正整数)相互连接。第一号受光元件PDX,的输出端子 经由输出线11a与第一放大电路20X连接，且经由电阻器RXH接地。第n+l号受光元件PDXn+,的输出端子经由输出线llb与第二放大电路 40X连接，且经由电阻器RXL接地。各受光元件PDXj的阴极通过共用线 llc接地。从第一放大电路20X输出的放大信号向第一峰值保持电路12X输入， 从第二放大电路40X输出的放大信号向第二峰值保持电路13X输入，两峰 值保持电路12X、 13X使各放大信号的峰值分别保持，各峰值信号被向解析 运算装置60输入。解析运算装置60至少由把模拟信号转换成数字信号的 转换部和运算部构成。受光元件列11X的长度L由于经由电阻器RXj而和与输出线lla、 lib 连接的电阻器RXH、 RXL所产生的电压有关系，所以能够如以下说明那样 地来求激光受光位置。为了便于说明，把电阻器RXL的电阻值与电阻器RXH的电阻值设定 为相互相等，把各电阻值RXj也设定为相互相等。把受光元件列IIX的长 度设定为L，把第一号受光元件PDX,和第n+l号受光元件PDX^的中间 位置设定为原点0。当激光光束点S照射到受光元件列11X的某受光元件PDXi时，则该受 光元件PDXi上有输出电流Ip流动。该电流Ip被电阻器RXj的电阻值所分 配而在电阻器RXL和电阻器RXH流动，通过电阻器RXL在输出线llb上 产生电压VXL,且通过电阻器RXH在输出线lla上产生电压VXH。在此，VXH = RXH x Ip / (从电阻器RX!到电阻器RXj+1的电阻值的 总和)VXL = RXL x Ip / (从电阻器RXj到电阻器RXn的电阻值的总和) 因此，到受光位置P的距离Lp能够使用下式由解析运算装置60求出。 Lp = ( L / 2 ) x ( VXH - VXL ) / ( VXH + VXL ) 具备这种受光位置检测传感器的校平装置例如在对从旋转激光装置射 出的激光受光来测定距离水平基准面的高度时使用。如周知那样，该旋转激光装置例如绕旋转轴以规定的角速度向水平方向旋转照射激光，把校平装置设置在例如距离该旋转激光装置在水平方向的例如5m (近距离)到500m (远距离)范围的任何地方来对激光受光。激光的光束径(点径)在近距离小，随着变成远距离而变大，横穿受 光元件PDXj的时间也随着变成远距离而变短。因此，为了也能够进行远距 离的测定而考虑增大受光元件PDXi的受光面积，但一般来说若受光元件 PDXi的受光面积变大，则对于激光的频率响应变低，且受光元件PDXj的个 数越多，则频率响应就越低。电阻器RXj的个数变多时也是同样。因此，根据对于激光的响应频率、激光的光量与所使用的受光元件PDX, 的关系， 一个受光元件列llX所使用的受光元件PDXi的个数和电阻器RXj 的个数是有界限的。若增大电阻器RXj的电阻值，则能够提高位置检测精度，但在激光的 受光输出小的阶段由于受光元件PDXi的输出饱和，所以从所要求的激光有 最大功率的观点看，增大电阻器RXj的电阻值也有限度。即，根据作为激光受光位置所要求的精度和环境而决定了受光元件 PDXi的大小和其个数以及电阻器RXj的个数和其电阻值，因此，在一个受 光元件列11X的长度L不足所要求的检测长度时，则需要把该受光元件列UX中il天开夕U夕亇。激光受光位置检测传感器构成为能够检测激光(激光光束)点s的重 心位置，但激光光束的光量分布特性有正规分布或同样的亮度或成为扁平 而不一定局限于具有固定的光量分布特性，当激光光束点s从受光元件PDXj的检测区域(从位于受光元件列11X—端的受光元件PDX,到位于另 一端的受光元件PDXn+1之间)偏离时，则检测精度恶化。因此，如图2所示，考虑把受光元件列IIX、 IIY在上下方向上串联 并列，把位于上侧受光元件列llX另一端的受光元件PDXnw与位于下侧受 光元件列11Y —端的受光元件PDX,的中间位置作为顶点O,通过两个受光 元件列IIX、 IIY的加权平均来检测激光的受光位置。为了便于说明，图2绘出了具有与间距P同一长度的直径的激光光束 点Smn和间距P的1.5倍直径的激光光束点Smn'。在其右侧冲巴 f黄轴作为 激光光束的移动量、把纵轴作为输出电压，并且绘出了激光光束移动量与 输出电压的关系。在此所说的输出电压应被理解为与VXH和VXL的相对 比相当。例如着眼于受光元件列11X另一端的受光元件PDXn+,且激光光束 照射到该受光元件PDXn+1时，则即使激光光束点Smn仅移动距离Lv,从该受光元件PDXn+1输出的输出电流Ip也是一定的，因此，输出电压不变化。对于受光元件列IIY—端的受光元件PDX,也是同样，各受光元件列11X、 11Y其余的受光元件PDXi也是同样。如激光光束点Smn由点划线所示那样位于邻接的受光元件PDX,彼此 之间的中间位置的情况下，产生与该中间位置对应的输出，由于随着激光 光束点Smn的连续移动而输出成比例地变换，所以在激光光束上下方向的 移动量与输出电压之间得到折线式的台阶直线BDL。在激光光束点Smn位于受光元件列11X另一端的受光元件PDXn+l与 受光元件列IIY—端的受光元件PDX,之间的情况下，由于受光元件的输出 变成不连续变化，所以把受光元件列11Y的受光元件PDX,的输出和受光元 件列11X的受光元件PDXn+1的输出进行加权平均就能够得到原点O。在激 光光束点S的直径比受光元件的间距P小的情况下，通过加权平均则能够 高精度地求出该原点O的位置。例如在是间距P的1.5倍的直径的激光光束点Smn'时，如图2所示 例如着眼于受光元件列11Y,则由于激光光束点Smn'向除了原点O附近 以外照射到属于该受光元件列11Y的任何受光元件，所以直线变化，因此 得到直线SDL，但从受光元件列11Y的受光元件PDX2随着激光光束点Smn '的朝向原点O而属于受光元件列11Y的受光元件PDX2就逐渐不被激光 光束点Smn'照射到，所以从受光元件列IIY的输出线lla、 llb输出的输 出电压产生变化，因此，若激光光束点Smn'的直径比间距P大，则在原 点O附近即使使用加权平均，也存在不能高精度地求出原点O的位置的问 题。也可以考虑把位于受光元件列11X另 一端的受光元件PDXn+1与位于受 光元件列IIY—端的受光元件PDX,在高度方向上重叠，但若激光光束的点 径变大，则必须把重叠量变多，存在不能有效活用受光位置检测传感器的问题。发明内容本发明的目的在于提供一种能够一边谋求提高激光光束受光位置的检 测精度一边把受光元件列作为整体加长的激光受光位置检测传感器和使用 它的校平装置。为了达到上述目的，本发明一实施例的激光受光位置检测传感器至少 具有两个受光元件列，其等间隔配置的相邻的受光元件经由电阻器相互连 接且位于两端的受光元件分别与输出线连接，至少这两个受光元件列构成 为在一个受光元件列的相互相邻的受光元件之间分别配置有另一个受光元 件列的受光元件的复合配列体，所述各输出线分别与解析运算装置连接， 该解析运算装置在激光照射到任一个受光元件时，根据从所述各输出线得 到的输出通过运算求出所述激光的受光位置。
图1是用于说明本发明现有技术激光受光位置检测传感器主要部分结构的电路方块图；图2是用于说明图1所示激光受光位置检测传感器改进结构的电路方块图；图3是用于说明本发明激光受光位置检测传感器第一实施例主要部分 结构的电路方块图；图4是用于说明本发明激光受光位置检测传感器第二实施例主要部分 结构的电路方块图；图5是用于说明本发明激光受光位置检测传感器第二实施例的变形例 主要部分结构的电路方块图。
具体实施方式
参考附图对本发明的具体实施例进行详细的说明。 第一实施例图3是用于说明本发明激光受光位置检测传感器第一实施例的主要部 分说明图。图3所示的激光受光位置检测传感器具备同一结构的两个受光元件列 IIX、 IIY。各受光元件列IIX、 llY分别具有受光元件PDXi (i是从1到 n+l的正整数)。在此，各受光元件列IIX、 11Y的受光元件的个数是6个。 该受光元件PDX,的形状、大小相同，在此是矩形例如是正方形。各受光元 件列IIX、 11Y的受光元件PDX, (i是从1到n+l的正整数)在上下方向或 左右方向(垂直方向或水平方向)上例如等间隔地并排配列。即，属于同一受光元件列的相邻受光元件彼此之间的间距P相等，在此，该间距P被设定为是受光元件PDXi的宽度W的四倍，受光元件PDXi 与相邻在该受光元件PDXi的受光元件PDXi+l的间隙GL被设定为是受光元 件PDXj的宽度W的三倍。在此，假定受光元件PDXi的形状是正方形，把从该正方形的中心到中 心的距离定义为间距P,但受光元件PDXi的形状也可以是圆形。邻接的各受光元件PDX,的输出端子(阳极)彼此之间由电阻器(电阻 值)RX」(j是从1到n的正整数)相互连接。在此，电阻器RXj的个数是5 个。位于各受光元件列11X、 IIY—侧端的第一号受光元件PDX,的输出端 子经由输出线lla与图1所示的第一放大电路20X连接，且经由图1所示 的电阻器RXH接地。位于另一端的第n+1号受光元件PDX—,的输出端子 经由输出线llb与图1所示的第二放大电路40X连接，且经由图1所示的 电阻器RXL接地。各受光元件PDXj的阴极通过图1所示的共用线llc接地。从第一放大电路20X输出的放大信号向图1所示的第一峰值保持电路 12X输入，从第二放大电路40X输出的放大信号向图1所示的第二峰值保 持电路13X输入，两峰值保持电路12X、 13X使各放大信号的峰值分别保 持，各峰值信号被向图1所示的解析运算装置60输入。即，与各受光元件列IIX、 11Y连接的电路结构元件与图1所示的电 路结构元件相同。两个受光元件列IIX、 IIY构成为在受光元件列IIX的相互相邻的受 光元件PDXi之间分别配置有另一个受光元件列11Y的受光元件PDXi的复 合配列体。在此， 一个受光元件列llX的受光元件PDXi与另一个受光元件列11Y 的受光元件PDXj的间隙GL〃被设定为与各受光元件PDXi的宽度W相等。各受光元件列IIX、 llY的传感器长度Lx、 Ly由于经由电阻器RXj而 和与输出线lla、 llb连接的各电阻器RXH、 RXL所产生的电压有关系，所 以能够如以下说明那样地来求激光受光位置。为了便于说明，把各电阻器RXL的电阻值与各电阻器RXH的电阻值 设定为相互相等，把各电阻值RXj也设定为相互相等。把构成复合配列体 的受光元件列11X的第四号受光元件PDX,与构成复合配列体的受光元件列11Y的第三号受光元件PDXn+1的中间位置设定为原点O。当激光光束点S照射到受光元件列IIX、 IIY的某受光元件PDX,时， 则该受光元件PDXj上有输出电流Ip流动。该电流Ip #皮电阻器RXj的电阻 值所分配而在电阻器RXL和电阻器RXH流动，通过电阻器RXL在输出线 llb上产生电压VXL，且通过电阻器RXH在输出线lla上产生电压VXH。 关于这点，与如参照图1所说明的内容相同。在该图1所示的激光受光位置检测传感器中，各受光元件列11X、 11Y 的间距P是图2所示受光元件列的间距P的两倍，所以即使图2所示的激 光光束的点径与图3所示的激光光束的点径相同，其相对的大小也不同， 各受光元件列的输出与激光光束移动量的关系也不同。例如当具有属于各受光元件列11Y的受光元件PDXj的间距P的二分之 一直径的激光光束点Smn (具有与图2所示的受光元件PDXi的间距P相同 长度的直径的激光光束点)照射到受光元件PDXi时，即使激光光束点Smn 仅移动距离Lv,从该受光元件PDXj输出的输出电流Ip也是一定的，因此， 输出电压不变化。对于受光元件列11X的受光元件PDXj也是同样，各受光元件列其余的 受光元件PDXj也是同样。如激光光束点Smn由点划线所示那样在属于该受 光元件列11X的邻接受光元件彼此之间如图3箭头Fl所示那样移动时，不 产生输出电压。因此，随着激光光束点Smn的连续移动而输出离散变化， 在激光光束上下方向的移动量与输出电压之间得到离散直线DDL1、DDL2。相对地，当具有属于受光元件列11X的受光元件PDXi的间距P的四分 之三直径的激光光束点Smn'(具有与图2所示的受光元件PDXj的间距P 的1.5倍的直径的激光光束点Smn')照射到受光元件PDXn+1时，即使激 光光束点Smn仅移动距离Lv',从该受光元件PDXn+1输出的输出电流Ip 也是一定的，因此，输出电压不变化。对于受光元件列11Y的受光元件 PDXnw也是同样，各受光元件列11X、 llY其余的受光元件PDXi也是同样。例如如激光光束点Smn'由点划线所示那样位于受光元件列IIY邻才妄 的受光元件PDX,与PDX2的中间位置处的情况下，把该中间位置作为中心， 当激光光束点Smn'向任一侧移动方向F2位移时，则产生与该位移对应的 输出，由于随着激光光束点Smn'的连续移动而输出成比例地变换，所以 在激光光束上下方向的移动量与输出电压之间得到折线式的台阶直线BDU、 BLD2。从这些离散台阶直线DDL1、 DDL2能够得到折线式的台阶直线BLD '，从折线式的台阶直线BLD'能够得到内插直线SL1，从折线式的台阶 直线BLD1、 BLD2能够得到内插直线SL2。即，把根据受光元件列11X的输出从运算推定的激光光束点的推定中 心位置设定为Lxp、把根据受光元件列11Y的输出从运算推定的激光光束 点的推定中心位置设定为Lyp时，则Lxp、 Lyp能够由以下所示的式求出。 Lxp = ( Lx / 2 ) x ( VXH _ VXL ) / ( VXH + VXL ) x a x + Lxoffset Lyp = ( Ly / 2 ) x ( VYH - VYL ) / ( VYH + VYL ) x a y + Lyoffset 在此，a是为了计算激光光束点的中心位置所使用的校正值。 Lxoffset、 Lyoffset是从受光部1IX、 11Y的原点O (几何学的中心位置) 偏离的量，通过把该偏离量设定成正或负的值来适当地变更原点的位置。 激光点的实际中心位置(受光位置)Lp Lp = ( Vx x Lxp + Vy x Lyp ) / ( Vx + Vy ) 其中，Vx=VXH + VXL， Vy=VYH + VYL即激光点的实际中心位置Lp由对从受光元件列1IX求出的推定中心位 置Lxp和从受光元件列llY求出的推定中心位置Lyp进行加权，并由加权 平均求出。在此，把实际的中心位置Lp通过激光光束的光量加权平均求出，但激 光光束的光量分布特性(光束分布图)一样，只要把激光光束一定照射到 两个受光元件列11X、 11Y，则激光的实际中心位置Lp就能够由根据两受 光元件列所推定的推定中心位置的平均值，即， = ( Lxp + Lyp )的式求出。根据该第 一 实施例，具有等间隔配置的相邻的受光元件经由电阻器相 互连接且位于两端的受光元件分别与输出线连接的两个受光元件列，两个 受光元件列构成为在一个受光元件列的相互相邻的受光元件之间分别配置 有另一个受光元件列的受光元件的复合配列体，各输出线分别与解析运算 装置连接，解析运算装置在激光照射到任一个受光元件时，根据从各输出 线得到的输出能够通过运算求出激光的受光位置，因此，能够一边谋求提 高激光光束受光位置的检测精度一边把受光元件列作为整体加长。第二实施例图4是用于说明本发明第二实施例激光受光位置检测传感器的受光元 件列的配置图，在此，由三个受光元件列构成复合配列体。该复合配列体在位于中央的受光元件列11Y的两侧对称地具有受光元 件列IIX、 IIZ。各受光元件列是相同结构，受光元件的个数在此是5个， 电阻器的个数是4个。该各受光元件付与从PDX,到PDX6的符号，各电阻 器付与从RX,到RX4的符号。位于中央的受光元件列11Y中央的受光元件PDX3被配置在一个受光 元件列llX另一端的受光元件PDXs与另一个受光元件列IIZ—端的受光元 件PDX,之间。位于中央的受光元件列11Y的受光元件PDX2被配置在受光元件列11X 的受光元件PDXs与受光元件PDX4之间，位于中央的受光元件列IIY的受 光元件PDX j皮配置在受光元件列11X的受光元件PDX4与受光元件PDX3 之间。位于中央的受光元件列11Y的受光元件PDX4被配置在受光元件列 11Z的受光元件PDX,与受光元件PDX2之间，位于中央的受光元件列11Y 的受光元件PDX^皮配置在受光元件列11Z的受光元件PDX2与受光元件 PDX3之间。在此，在受光元件列11X的受光元件PDX3与受光元件PDX2之间、受 光元件列11X的受光元件PDX2与受光元件PDX,之间、受光元件列11Z的 受光元件PDX3与受光元件PDX4之间、受光元件列11Z的受光元件PDX4 与受光元件PDXs之间没有配置中央的受光元件列11Y的受光元件PDX,， 但如虛线所示能够配置其他的受光元件列的受光元件，能够根据要求增长 激光受光位置检测传感器的长度。即至少关注三个受光元件列，通过相对其中央的受光元件列来对称地 配置受光元件列，则能够增长激光受光位置检测传感器的长度。在此，复合配列体具有三个受光元件，说明求激光光束实际的中心位 置Lp的情况。省略表示激光光束的移动量与输出关系的曲线。这是由于在 原理上与使用图3说明过的相同而不变的缘故。把受光元件列IIX、 IIY、 11Z的激光推定中心位置分别设定为Lxp、 Lyp 、 Lzp时，<formula>formula see original document page 12</formula>Lzp = ( Lz / 2 ) x ( VZH - VZL ) / ( VZH + VZL ) x a z + Lzoffset 激光的受光位置Lp由下式求。Lp = ( Vx x Lxp + Vy x Lyp + Vz x Lzp ) / ( Vx + Vy + Vz ) 其中，Vx=VXH + VXLVy =VYH + VYLVz =VZH + VZL在此，例如属于受光元件列IIZ的任何受光元件没被激光照射，则Lzp 实质上作为值不具有意义，所以在计算上不要Lzp。 即，VZH = VZL = 0， Vz = 0，因此使用Lp = ( Vx x Lxp + Vy x Lyp ) / ( Vx + Vy )来求激光的受光位置Lp。 即与受光元件列是两个的情况相同。一般来说，把受光元件列的配列个数设定为是n个时，把受光元件列 表现为llQk (k=从l到n的正整数)，把由受光元件列llQk的推定中心 位置LQkp作为LQkp=(LQk/2) x (VQkH-VQkL) / (VQkH + VQkLl) x a Qk + LQkoffset VQk = VQkH + VQkL能够通过下式求Lp= (VQ1 xLQlp + VQ2xLQ2p+…VQk x LQkp +…+VQn x LQ叩) / (VQl+VQ2+…VQk+…+VQn)。在此，LQk是第k号受光元件列11Qk的传感器长度，VQkH、 VQkL 是从与第k号受光元件列11Qk连接的输出线lla、 llb输出的输出电压， aQk是用于通过第k号受光元件列11Qk来计算激光光束点中心位置时所 使用的校正值。LQkoffset是从第k号受光元件列llQk的原点O (几何学的 中心位置)偏离的量。本实施例把属于受光元件列11X的受光元件PDX3与邻接在该受光元 件的受光元件PDX2的间隔、属于受光元件列11X的受光元件PDX2与邻接 在该受光元件的受光元件PDX,的间隔设定为与属于受光元件列11X的受 光元件PDX4与属于受光元件列11X的受光元件PDX5的间隔相同，但如图 5所示，也可以把这些PDX3与PDX2的间隔、PDX2与PDX,的间隔设定为 比其余的受光元件的间隔小，来检测端。属于受光元件列11Z的受光元件 PDX3与邻接在该受光元件的受光元件PDX4的间隔、属于受光元件列nz 的受光元件PDX4与邻接在该受光元件的受光元件PDX5的间隔也是同样。该第二实施例说明了受光元件列11Y的受光元件个数与受光元件列11X、 11Y的受光元件个数相同，但受光元件列IIX、 IIZ的受光元件个数 相同比受光元件列11Y的受光元件个数多或少都不要紧。主要的是，把属于受光元件列11Y的受光元件相对该受光元件列11Y 中央的受光元件而对称配置在位于中央的受光元件列11Y两侧的属于受光 元件列11X、 11Z的受光元件之间便可。根据该第二实施例，能够按照希望把激光受光位置检测传感器整体的 传感器长度加长。如上所述，根据本发明的激光受光位置检测传感器，能够有一边谋求 提高激光光束受光位置的检测精度一边把受光元件列作为整体加长的效果。根据本发明的校平装置，能够更加谋求提高水平基准面的原点位置的精度。本发明基于2007年3月20日的日本专利JP2007 - 72099,并且要求优 先权，并且把上述的专利的全部内容引入到该发明中。
权利要求
1、一种激光受光位置检测传感器，其中，具备至少两个受光元件列，其等间隔配置的相邻的受光元件经由电阻器相互连接，且位于两端的受光元件分别与输出线连接；解析运算装置，所述至少这两个受光元件列构成为复合配列体，该复合配列体在一个受光元件列的相互相邻的受光元件之间分别配置有另一个受光元件列的受光元件，所述输出线分别与所述解析运算装置连接，该解析运算装置在激光照射到任一个受光元件时，根据从所述各输出线得到的输出通过运算求出所述激光的受光位置。
2、 如权利要求1所述的激光受光位置检测传感器，其中，至少设置三 个受光元件列，所述复合配列体在位于中央的受光元件列的两侧具有受光 元件列，把属于位于中央的受光元件列的受光元件相对该位于中央的受光 元件列中央的受光元件对称配置在属于位于两侧的受光元件列的受光元件 之间。
3、 如权利要求1所述的激光受光位置检测传感器，其中，所述解析运 算装置把由一个受光元件列得到的输出和由与属于该一个受光元件列的受 光元件邻接配置的受光元件所属的受光元件列所得到的输出进行加权平 均，而求激光的受光位置。
4、 如权利要求2所述的激光受光位置检测传感器，其中，所述解析运 算装置把由一个受光元件列得到的输出和由与属于该一个受光元件列的受 光元件邻接配置的受光元件所属的受光元件列所得到的输出进行加权平 均，而求激光的受光位置。
5、 如权利要求1所述的激光受光位置检测传感器，其中，所述各受光 元件列是同一结构。
6、 如权利要求1所述的激光受光位置检测传感器，其中，构成所述复 合配列体的各受光元件的形状是矩形，各受光元件的宽度和各受光元件的 间隔相同。
7、 如权利要求1所述的激光受光位置检测传感器，其中，所述激光光束点的径被设定为大于属于一个受光元件列的受光元件与邻接配置在该 受光元件且属于其他受光元件列的受光元件之间的间隔。
8、 如权利要求2所述的激光受光位置检测传感器，其中，所述激光光 束点的径被设定为大于属于一个受光元件列的受光元件与邻接该受光元 件进行配置且属于其他受光元件列的受光元件之间的间隔。
9、 一种校平装置，其中，包括权利要求1所述的激光受光位置检测传 感器。
全文摘要
一种激光受光位置检测传感器，其具有等间隔配置的相邻的受光元件(PDX<sub>i</sub>)经由电阻器(RX<sub>j</sub>)相互连接，且位于两端的受光元件分别与输出线(11a)、(11b)连接的受光元件列(11X)、(11Y)，受光元件列(11X)、(11Y)构成为在一个受光元件列的相互相邻的受光元件之间分别配置有另一个受光元件列的受光元件的复合配列体，各输出线分别与解析运算装置连接，解析运算装置在激光照射到任一个受光元件时，根据从各输出线得到的输出通过运算求出激光的受光位置。
文档编号G01C15/00GK101270984SQ20081008549
公开日2008年9月24日 申请日期2008年3月19日 优先权日2007年3月20日
发明者片山康隆 申请人:株式会社拓普康