专利名称：吸附工作台的制作方法
技术领域：
本发明涉及吸附工作台，特别涉及使用在通过抽吸来保持例如基板 等板状部件的吸附工作台中的吸振装置。
并且，基板并不仅限于印刷配线基板，它是各种基板的总称例如， 挠性基板、多层配线基板、液晶显示器或等离子显示器用的电极板、以 及半导体封装用的封装基板、或薄膜载体、半导体晶片或成为检査对象
的薄片状部件。
背景技术：
当在印刷配线基板上形成电路图案时，有时在电路图案中会产生短 路或断路等缺陷。为了发现这样的基板缺陷，例如使用了光学检查装置。 这样的光学检查装置具有工作台，其用于保持检查基板；光照射装置， 其朝向检査基板的电路图案输出检查用的光；光检测装置，其接收从电 路图案反射回来的光；以及控制装置，其根据检测到的光来分析电路图 案调查缺陷的状况。
专利文献1:日本特开2004-90137号公报
专利文献1公开了具有多孔质体的吸附部件的基板保持器。该吸附 部件属陶瓷系列，其孔的平均孔径为30(im到50^im。该基板保持器通过 具有堵塞基板贯通孔的吸附部位，来提供稳定的吸附。
作为吸附部件，此外还可以利用具有一定大小的直径的小孔的发泡 性树脂。
在吸附工作台上通过管连接有真空泵等抽吸装置，利用该抽吸装置 的抽吸力，将吸附工作台上的基板等板状部件固定在吸附工作台的载置 面上。当为了该抽吸而使抽吸装置动作时，在连接抽吸装置和吸附工作 台的管内产生周期性的压力变动，真空压力会产生波动。若这样的周期
4性压力波动直接传递到吸附工作台上的板状部件，则该波动就会传递到 板状部件上而使其振动。其结果为，响应该振动，板状部件在高度方向 上产生位置不正，预先设定的光学式检査装置的光束的到达距离、和电 气式检查装置的高度方向(Z方向)上的移动就会产生偏差。因此，由于 该偏差，产生了摄像得到的图像紊乱、或者板状部件不能与可进行电连 接的夹具稳定地接触的状况。
此外，并不限定于用于实施检査的光学检査装置，在载置如基板那 样的板状部件，并用于进行预定处理的加工装置或处理装置中，也要求 提供振动不会传递到所载置的板状部件上的吸附工作台。
发明内容
本发明鉴于上述课题而完成，目的在于提供一种吸附工作台，其可 以吸收各种频率的振动，防止将振动传递到进行检查或加工等预定处理 的基板等板状部件上。
因此，本发明所述的吸振装置是一种板状装置，其与真空抽吸单元 连接，并应用于保持成为载置对象的被载置部件的吸附工作台中，其特 征在于，在所述吸振装置的一方侧载置被载置部件，所述吸振装置的另 一方侧与真空抽吸单元连接，所述吸振装置具有通气道，该通气道将与 真空抽吸单元之间的连接部位和所述吸振装置的所述一方侧连通地连接 起来，通气道由大小不同的大量小孔构成，这些小孔通过壁面而形成， 该壁面由点接触地结合起来的金属碎片构成，所述吸振装置吸收由真空 抽吸单元引起的振动，防止振动传递到被载置部件上。
因此，本发明所述的检查基板保持装置的特征在于，所述检查基板 保持装置具有吸振装置，其是板状的吸振装置，与真空抽吸单元连接， 并应用于保持被检查基板的吸附工作台中，在所述吸振装置的一方侧载 置被检查基板，所述吸振装置的另一方侧与真空抽吸单元连接，所述吸 振装置具有通气道，该通气道将与真空抽吸单元之间的连接部位和所述 吸振装置的所述一方侧连通地连接起来，通气道由大小不同的大量小孔 构成，这些小孔通过壁面而形成，所述壁面由点接触地结合起来的金属碎片构成，所述吸振装置吸收由真空抽吸单元引起的振动，防止振动传 递到被检查基板上；和薄片状部件，其是载置在吸振装置的一方侧的薄 片状部件，在薄片状部件上载置被检查基板，薄片状部件具有通气道， 该通气道将吸振装置的通气道，与薄片状部件的载置被检査基板的面连 通起来，通气道形成为比吸振装置的小孔小且均匀的大小，由此，空气 被均等地分散和抽吸。
也可以是大量的小孔根据开口直径而至少被分为三个组，三个组 配置成层叠结构。
金属碎片也可以是铸铁的切削碎片。
薄片状部件也可以是无尘纸。
大量的小孔的直径优选在lOOpm以内。
本发明所述的光学检査装置的特征在于，该光学检查装置具有吸
附工作台，其与真空抽吸单元连接，并保持被检查基板；吸振装置，其 是设置于吸附工作台的板状的吸振装置，在该吸振装置的一方侧载置被 检查基板，该吸振装置的另一方侧与真空抽吸单元连接，该吸振装置具 有通气道，该通气道将与真空抽吸单元之间的连接部位和所述吸振装置 的所述一方侧连通地连接起来，通气道由不同大小的大量小孔构成，这 些小孔通过壁面而形成，所述壁面由点接触地结合起来的金属碎片构成， 该吸振装置吸收由真空抽吸单元引起的振动，防止振动传递到被检査基 板上；和薄片状部件，其是载置在吸振装置的一方侧的薄片状部件，在 薄片状部件上载置被检查基板，薄片状部件具有通气道，该通气道将吸 振装置的通气道，与薄片状部件的载置被检査基板的面连通起来，通气 道形成为比吸振装置的小孔小且均匀的大小，由此，空气被均等地分散 和抽吸；另外，所述光学检査装置还具有光学装置，其对载置在薄片 状部件上的被检查基板照射检查用的光，并且，接收从被检查基板反射 回来的光；驱动装置，其使吸附工作台或光学装置的一方，或者使吸附 工作台和光学装置两者在X-Y平面上移动；以及控制装置，其控制光学 装置和驱动装置的动作，并且分析光学装置所接收到的光。
本发明所述的加工装置的特征在于，所述加工装置具有吸附工作台，其与真空抽吸单元连接，并保持被加工部件；吸振装置，其是设置 于吸附工作台的板状的吸振装置，在该吸振装置的一方侧载置被加工部 件，该吸振装置的另一方侧与真空抽吸单元连接，该吸振装置具有通气 道，该通气道将与真空抽吸单元之间的连接部位和所述吸振装置的所述 一方侧连通地连接起来，通气道由不同大小的大量小孔构成，这些小孔 通过壁面而形成，所述壁面由点接触地结合起来的金属碎片构成，该吸 振装置吸收由真空抽吸单元引起的振动，防止振动传递到被加工部件上； 和薄片状部件，其是载置在吸振装置的一方侧的薄片状部件，在薄片状 部件上载置被加工部件，薄片状部件具有通气道，该通气道将吸振装置 的通气道，与薄片状部件的载置被加工部件的面连通起来，通气道形成 为比吸振装置的小孔小且均匀的大小，由此，空气被均等地分散和抽吸； 另外，所述加工装置还具有处理单元，其用于对载置于吸附工作台上 的被加工部件的表面实施预定处理；和移动单元，其为了实施预定的处 理，而使吸附工作台与处理单元相对移动。
此外，本发明所述的吸振装置是一种板状装置，其与真空抽吸单元 连接，并应用于保持成为载置对象的被载置部件的吸附工作台中，在所 述吸振装置的一方侧载置所述被载置部件，所述吸振装置的另一方侧与 真空抽吸单元连接，所述吸振装置具有通气道，该通气道将与真空抽吸 单元之间的连接部位和所述吸振装置的所述一方侧连通地连接起来，通 气道通过将金属碎片点接触地结合起来形成立体交联机构，而由不同大 小的大量小孔构成，所述吸振装置吸收由真空抽吸单元引起的振动，防 止振动传递到被载置部件上。
根据本发明，能够提供吸附工作台用的吸振装置，其可以吸收来自 抽吸单元等的各种频率的振动，防止振动传递到检查基板等载置对象物
上。从而，可以防止载置对象物振动，能够对载置对象物进行正确的处 理。
此外，使用通过将金属碎片点接触地结合起来而具有各种大小的小 孔的吸振装置，由此，能够制造与以往相比更便宜的大尺寸的吸振装置。
图1是用于说明本发明所述的吸附工作台的结构概要的侧视剖视图。
图2是用于说明本发明所述的吸附工作台的结构概要的立体图。 图3A是本发明所述的吸附工作台的第1实施方式的局部剖视图。
图3B是本发明所述的吸附工作台的第2实施方式的局部剖视图。 图3C是本发明所述的吸附工作台的第3实施方式的局部剖视图。 图4是表示具有本发明所述的吸附工作台的基板检查用的光学检査 装置的一个实施方式的概略立体图。
图5是表示本发明所述的吸附工作台的使用例的侧视剖视图。 标号说明
10:基板检査用的光学检査装置；14:光学装置；17:受光系统； 20:检查基板保持装置；22:吸附工作台；22a、 22b:驱动电动机；24: 吸振装置；26:无尘纸；28:检查基板；35:抽吸管；40、 41、 42、 43、 44、 45、 46:小孔。
具体实施例方式
下面，参照附图对本发明所述的吸附工作台详细进行说明。图中， 对于相同的要件，标以相同的标号，并省略其重复说明。
并且，在下述吸附工作台的说明中，对设置在光学检查装置10中的 情况进行说明，但并不特别限定于此，也可以作为其它处理装置的吸附 工作台使用。
吸附工作台22，例如如后述的图4所示，能够设置在例如基板检査 用的光学检查装置10的检查基板保持装置20中，在该吸附工作台22载 置检査基板28。在该图的实施例中，将检查基板作为检查对象，但也可
以根据检查内容将其它板状部件作为检查对象。
图1和图2是分别用于说明吸附工作台22的结构概要的侧视剖视图 和立体图。如图1所示，在吸附工作台22上形成有凹部，在该凹部中配置有板
状的吸振装置24。此外，在该吸振装置24的上表面，配置有为薄片状部 件的无尘纸26。吸振装置24详细地如后所述，其由多孔质金属部件构成， 该多孔质金属部件具有将上表面和下表面连通地连接起来的通气道。该 通气道具有大量的各种大小开口直径的小孔，通过该小孔进行空气的抽 吸。无尘纸26具有比吸振装置24的小孔更细的孔眼，使空气对检査基 板的抽吸均等地进行。
当经由与未图示的真空抽吸装置连接的抽吸管35抽吸空气时，空气 从无尘纸26的上表面被大致均匀地抽吸，接着，如图l中箭头所示，空 气通过吸振装置24内的大量的小孔从抽吸管35被抽吸。因此，在图1 中，当将检查基板28放在无尘纸26上开始抽吸时，检査基板28以均等 的压力被吸附在无尘纸26上，并定位固定在吸附工作台22上。
吸附工作台22如图2所示，相对于光学检査装置的光学装置能够在 X-Y面上相对移动，详细情况将在后面叙述。
图3A到图3C分别表示图1和图2中的吸振装置24的第1到第3 实施方式。如这些图所示，吸振装置24a、 24b以及24c，由具有大量小 孔的多孔质金属部件构成，所述大量小孔具有各种大小的开口。这些大 量的小孔作为从吸振装置24的上表面连通到下表面的通气道发挥功能。
多孔质金属部件如海绵那样，是其中空出无数小孔的结构的金属， 其由具有金属的性质和气孔特有性质的复合材料构成。在多孔质金属部 件中，例如，将具有复杂而锋利的形状的切削碎片集中起来、并通过特 殊的挤压成型而制造出的板状的多孔质铸铁，与一般的多孔质金属不同， 为了不损害切削碎片(或者金属碎片)的形状，而形成切削碎片点接触 地相互结合起来的立体交联结构。由此，构成了形成不同大小的大量小 孔的壁面，在表面上形成了与这些小孔连通的不规则的狭缝，在内部， 通过该壁面大小和倾斜角不同的无数类縮放仪结构(pantograph)杂乱排 列。通过这些不同大小的大量小孔，构成了通气道。
换言之，由点接触结合起来的金属碎片构成壁面，由该壁面形成不同大小的大量连通的小孔，由这些小孔构成通气道。即，作为切削碎片 的金属碎片，大小不一，形状也并不固定，此外，也不是平坦的形状， 因此，即使金属碎片相互接触，也不是以很大的面进行接触，而是以非 常狭窄的面(点)进行接触。因此，当大量的金属碎片相互点接触地结 合时，在金属碎片彼此之间就会形成大量的空间。此外，金属碎片之间 的点接触的位置并不在规则的位置上，而是处于各种不定的位置，因此， 其空间的大小并不均匀，也不一致，并且这些空间相互连通。因此，由 点接触地结合起来的大量的金属碎片构成壁面，由所述壁面形成的小孔 是不同大小的大量小孔，它们是连通的。
由于多孔质铸铁利用这样的多孔质结构和立体交联结构能够发挥极 强的减振性。此外，由于具有这样的结构，板状的多孔质铸铁具有很宽 范围内的弹簧常数，从而针对各种大小的压縮力表现出各种弹簧常数。 通过这样的宽范围的弹簧常数，具有这样的特性即使施加各种大小和 方向不同的振动，也会在纵横方向吸收移位，使共振现象不会发生。作 为多孔质金属的其它制造方法，例如有金属粉末注射模塑成型、粉末烧 结、镀金、发泡、中空球、气体注入、纤维烧结等制造方法，只要是可 以形成大小不齐的大量小孔的方法，可以是任意的方法。
图3A概念性地表示这样的结构将朝上、朝下、以及朝向倾斜方向 等各种方向的大量的切削碎片通过点接触地结合起来，由此来形成大量
的小孔。图中，吸振装置24a的内部曲线的实线简化表示点接触地相互
结合集合起来的切削碎片，表示构成小孔的壁面的状态。在图中，用实
线表示的壁面之间相交的部位，就是点接触的部位。在图3A中，如以小 孔40和小孔41为代表所示，在吸振装置24a内，不同大小的大量小孔， 配置在任意位置上。在该图中，所有的小孔的大小都不相同。但是，作 为其替代，也可以这样构成多个相同大小的小孔的组任意地掺杂在一 起。大量的小孔的孔径优选在100pm以内。
形成吸振装置24a的小孔的壁面，通过切削碎片的点接触而形成， 因此，其宽度、大小和倾斜方向是各种各样的。因此，即使对吸振装置 24a施加各种大小和方向的振动，通过切削碎片向各种方向的移位，都能够吸收这样的各种各样的振动。因此，不会引起共振现象。由于像这样 具有各种各样大小的小孔，因此，无论怎样频率的振动，都可以被吸振
装置24a吸收。此外，具有例如大约从2kgFmm到150kgf/mm为止这样 的范围很宽的弹簧常数，从而，针对范围很宽的压縮力，表现出各种各 样的弹簧常数，因此，可以实现富有弹性的结构。此外，吸振装置24a 内的大量的小孔的密度朝向其内部为中等稀疏、非常致密、中等致密、 非常稀疏、比较致密这样不规则地变化，因此，通过形成这些小孔的切 削碎片构成的壁面，减振效果很高。
此外，由于抽吸管35内的压力的变动是振动的，因此，该振动的压 力变动，也会传递到吸振装置24a的小孔内。此时，由于小孔的大小不 同，因此，在该小孔内的空间中传递的压力的振动相互干涉而相抵消。 其结果为，这样的振动的压力变动不会传递到载置于吸振装置24a.上的 检查基板等上。在以下详细说明的图3B、以及图3C的结构的吸振装置 24b、 24c中，这样的小孔的功能也得以发挥。
图3B概略地表示由层LA和层LB两层构成的吸振装置24b。层LA 的小孔42的大小，相对地比层LB的小孔43要小。在此情况下，在各层 内，与图3A所示的吸振装置24a的情况相同，所有的小孔42、 43的大 小都不同。但是，作为其替代，也可以使在各层内有多个相同大小的小 孔的组任意地惨杂在一起。此外，层LA的小孔42和层LB的小孔43的 大小不同，但也可以使在各层内所有的小孔为同样的大小。此外，在图 3B所示的吸振装置24b中，层LA的小孔42的大小比层LB的小孔43 要小，但是也可以反过来使层LB的小孔43的大小比层LA的小孔42要 小。
图3C概略表示这样的吸振装置24c:面向该图从上起由层LB、层 LA和层LB这样的三层构成。层LA的小孔45的大小比层LB的小孔44、 46要小。在各层内，与图3A所示的吸振装置24a的情况一样，所有的 小孔的大小都不相同。但是，作为其替代，也可以在各层内使多个相同 大小的小孔的组任意地掺杂在一起。此外，作为代替，也可以与图3B所 示的吸振装置24b —样层LA的小孔45与层LB的小孔44、 46的大小不同，但在各层内所有的小孔为同样的大小。在图3C所示的吸振装置24c 中，层LA的小孔45的大小比层LB的小孔44、 46要小，但也可以反过 来使层LB的小孔44、 46的大小比层LA的小孔45要小。此外，也可以 使在吸振装置24c的3层之间小孔的大小不同。如本实施例那样，在两 个稀疏的层LB之间配置致密的层LA，在这样的结构中，由于形成层LA 的小孔的切削碎片的密度很高，因此，通过该层LA，可以提高吸振装置 24c的强度。
图4是表示基板检查用的光学检查装置10的一例的概略立体图。光 学检查装置10具有检查基板保持装置20，其载置有板状部件检査基板 28;光学装置14;和控制装置16。检查基板保持装置20具有驱动电动 机22a和22b，通过它们可以使吸附工作台22移动到X-Y方向的任意位 置。
光学装置14具有光照射装置15以及受光系统17。光照射装置15 朝向检査基板28照射相位按每个预定的节距变化的光，受光系统17将 从光照射装置15输出的光引导到检查基板28上，并且捕捉从其反射回 来的光。为此，受光系统17具有分光器18a;反射镜18b、 18c;以及 CCD照相机19，其捕捉从检查基板28反射回来的光。此外，虽没有图 示，但在分光器18a与反射镜18b、 18c各自之间具有遮断光的装置。
控制装置16进行驱动电动机22a和22b的动作控制，并且控制光照 射装置15的光照射，此外，通过分析由受光系统17的CCD照相机19 受光的光，来诊断检査基板28的状况。
检査基板保持装置20的吸附工作台22经由抽吸管35，与真空泵等 抽吸装置(未图示)连接。
图5是表示将检査基板28放置在吸附工作台22上的状态的侧视图。 在进行检查基板28的检查的情况下，如该图所示，将作为检查对象的检 查基板28放置在吸附工作台22的吸振装置24上的无尘纸26上。在此 情况下，虽没有图示，但从吸振装置24突出有两根定位销，此外，该两 根定位销所贯穿的孔设置在无尘纸26和检査基板28上。因此，通过在这些孔中贯穿插入该两根定位销，来进行无尘纸26和检查基板28的定位。
在该状态下，通过与抽吸管35连接的未图示的真空抽吸装置来抽吸 空气时，在吸振装置24a内通过大量的小孔，产生如概略地用箭头所示 的空气流。进而，由于该空气经由无尘纸26的大量的空气通过路径被抽 吸，因此检查基板28吸附在该无尘纸26上，从而被定位固定起来。
无尘纸26的空气通过路径的大小比吸振装置24a内的大量的小孔要 小，此外，由于具有比较均匀的大小，因此，通过它们的空气比较均匀 地分散开来。因此，检査基板28在无尘纸26的整个面上被均等地抽吸。
在该状态下，如图4所示，通过控制装置16来控制驱动电动机22a 和22b，使吸附工作台22沿X和Y方向移动，在基板上的预定的部位， 使检查用的光收敛到该预定的部位上。
接下来，从光照射装置15输出光束。该光束在分光器18a处向正交 的两个方向分光，并被反射镜18b、 18c反射，而会聚到检查基板28上 的预定位置。此时，通过未图示的光路径的遮断装置使路径11或12的 一个路径的光到达检查基板28。从检查基板28的预定的位置反射回来的 光被CCD照相机机19摄到，控制装置16根据该摄像信号来判定基板的 状态并将其输出。
以上，对本发明所述的吸附工作台的实施方式进行了说明，但它们 是示例而已，本发明并不仅限于此。此外，在上述实施例中，表示了将 吸附工作台应用在光学检查装置中的示例，但也可以应用在除了光学检 查装置之外的例如使用探头的基板检查装置等中。此外，本发明所述的 吸附工作台也可以应用在板状部件加工装置中。
此外，由于该吸附工作台能够在不对所载置的板状部件施加振动的 情况下进行预定的处理，因此，能够获得可提供高位置精度的处理装置。
本领域技术人员对这些实施方式容易地实施的追加、删除、变更、 改进等也包含在本发明中。本发明的技术范围通过权利要求书的记载来 确定。
权利要求
1. 一种吸振装置，其与真空抽吸单元连接，并应用于保持成为载置 对象的被载置部件的吸附工作台中，其特征在于，在所述吸振装置的一方侧载置所述被载置部件，所述吸振装置的另 一方侧与所述真空抽吸单元连接，所述吸振装置具有通气道，该通气道将与所述真空抽吸单元之间的 连接部位和所述吸振装置的所述一方侧连通地连接起来，所述通气道由大小不同的大量小孔构成，这些小孔由面积和倾斜方 向各种各样的壁面形成，所述吸振装置吸收由所述真空抽吸单元引起的 振动，防止振动传递到所述被载置部件上。
2. —种吸振装置，其与真空抽吸单元连接，并应用于保持成为载置对象的被载置部件的吸附工作台中，其特征在于，在所述吸振装置的一方侧载置所述被载置部件，所述吸振装置的另 一方侧与所述真空抽吸单元连接，所述吸振装置具有通气道，该通气道将与所述真空抽吸单元之间的 连接部位和所述吸振装置的所述一方侧连通地连接起来，所述通气道由大小不同的大量小孔构成，这些小孔由点接触地结合 起来的金属碎片的壁面形成，所述吸振装置吸收由所述真空抽吸单元引 起的振动，防止振动传递到所述被载置部件上。
3. —种吸振装置，其与真空抽吸单元连接，并应用于保持成为载置 对象的被载置部件的吸附工作台中，其特征在于，在所述吸振装置的一方侧载置所述被载置部件，所述吸振装置的另 一方侧与所述真空抽吸单元连接，所述吸振装置具有通气道，该通气道将与所述真空抽吸单元之间的 连接部位和所述吸振装置的所述一方侧连通地连接起来，所述通气道由大小不同的大量小孔构成，这些小孔由具有立体交联 结构的金属碎片的壁面形成，所述吸振装置吸收由所述真空抽吸单元引 起的振动，防止振动传递到所述被载置部件上。
4. 如权利要求1至3中的任一项所述的吸振装置，其特征在于， 所述大量的小孔根据开口直径而至少被分为三个组，该三个组配置成层叠结构。
5. 如权利要求1至4中的任一项所述的吸振装置，其特征在于， 所述小孔的直径在100(im以内。
6. 如权利要求2或3所述的吸振装置，其特征在于， 所述金属碎片是铸铁的切削碎片。
7. —种吸附工作台，其保持成为载置对象的被载置部件，其特征在于，所述吸附工作台具有 真空抽吸单元，其具有抽吸口；所述权利要求1至6中的任一项所述的吸振装置； 薄片状部件，其载置在所述吸振装置的一个面上，并具有通气道， 该通气道由比所述吸振装置的小孔小且大小均匀的小孔构成。
8. 如权利要求7所述的吸附工作台，其特征在于， 所述薄片状部件是无尘纸。
9. 一种光学检查装置，其对成为检查对象的被检査部件实施光学检 査，其特征在于，所述光学检查装置具有权利要求7或8所述的吸附工作台；光学装置，其对载置在所述吸附工作台上的被检查部件照射检查用 的光，并且接收该照射后反射回来的光；驱动装置，其使所述吸附工作台、或光学装置、或者所述吸附工作台和所述光学装置，在X-Y平面上移动；以及控制装置，其控制所述驱动装置。
全文摘要
本发明提供一种吸附工作台，并提供一种吸振装置，其吸收各种各样频率的振动，防止振动传递到检查基板等板状部件上。吸振装置是板状装置，其与真空抽吸单元连接，并应用于保持成为载置对象的被载置部件的吸附工作台中。该吸振装置在一方侧载置被载置部件，该吸振装置的另一方侧与真空抽吸单元连接，该吸振装置具有通气道，该通气道将与真空抽吸单元之间的连接部位与吸振装置的一方侧连通地连接起来，通气道由不同大小的大量小孔构成，这些小孔由壁面形成，所述壁面由点接触地结合起来的金属碎片构成，该吸振装置吸收由真空抽吸单元引起的振动，防止振动传递到被载置部件上。
文档编号G01R31/02GK101311731SQ20081009994
公开日2008年11月26日 申请日期2008年5月22日 优先权日2007年5月22日
发明者北泽一孝, 西体良太 申请人:日本电产理德株式会社