吸附台的制作方法
【专利摘要】本发明提供一种吸附台。吸附台用于保持显示面板，其包括：支承台，其具有开设有负压开口的吸附面；多个升降条，其配置为横穿吸附面；多个凹部，该多个凹部彼此并行地设置在吸附面上，以便将升降条收容在支承台内而使升降条不会自吸附面突出；支承机构，其在支承台的侧部中的、多个凹部敞开的部位以能够使升降条升降的方式支承升降条；升降装置，其与支承机构相关联地设置，以便使升降条在自凹部突出的上升位置与收容在凹部中的下降位置之间升降。支承机构包括在升降条的两端支承该升降条的支柱、被该支柱支承的导向销、以及用于容许该导向销贯穿的设于升降条的槽。
【专利说明】吸附台
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种适合于对液晶显示面板、有机发光面板那样的显示板进行保持的吸附台。
【背景技术】
[0002]例如在玻璃基板上形成有电路的液晶显示面板那样的显示板的制造工序中，使用探测仪(日文口一〃)对该显示板进行电气检查。在该试验中，通常利用负压将作为被检查体的液晶显示面板保持在被组装于探针测仪中的吸附台上。
[0003]为了将接受了检查的被检查体自吸附台安全且迅速地卸下，在吸附台上以能自该吸附台的吸附面突出的方式设置有用于使被检查体自该吸附面浮起的多个升降销(例如参照专利文献I)。
[0004]当位于突出位置的升降销在吸附面的上方自输送机器人接受被检查体时，该升降销下降到吸附面下。在利用该升降销的下降使被检查体移动到上述吸附面上时，利用组装于吸附台的负压机构使负压作用于上述吸附面。在上述被检查体接受检查的期间内，利用上述负压将该被检查体可靠地保持于上述吸附面。检查后，随着升降销的上升，自吸附面抬起被检查体。由上述升降销自吸附面抬起的上述被检查体不会受到作用于吸附面与被检查体之间的静电的强烈影响，能够由输送机器人自吸附台去除。
[0005]但是，由于上述的升降销与被检查体的接触面积较小，所以随着因被检查体的大型化而发生的重量增加，被检查体在与升降销相接触的接触部受到的局部应力增大。包括该玻璃基板在内的被检查体的局部应力的集中会对被检查体施加较大的应力，所以不希望产生该局部应力的集中。
[0006]因此，提出了如下这种技术:利用彼此空开间隔地平行配置的许多个固定保持构件、和能在各固定保持构件之间相对于该固定保持构件升降地配置的许多个带状的升降构件构成吸附面，在向该吸附面交接被检查体时，使上述升降构件相对于上述固定保持构件下降(例如参照专利文献2)。
[0007]采用专利文献2所述的装置，上述升降构件在其上升位置与上述固定保持构件一同构成平坦的吸附面。当在吸附面与机器人手臂之间交接被检查体时，能够将机器人手臂插入到由于许多个带状的上述升降构件下降而形成的空间内，所以机器人手臂与吸附面不会干渉，而且彼此平行配置的多个固定保持构件以较宽的带状面积支承被检查体，所以不会使较强的局部应力作用于被检查体就能够适当地处理被检查体。
[0008]但是，在专利文献2所述的装置中，使用于吸附保持被检查体的负压发挥作用的吸附面由许多个固定保持构件和能够分别在该固定保持构件之间升降的升降构件构成。因此，形成吸附面的支承台的结构复杂化，并且需要在支承台的内部设置用于使许多个升降构件同时升降的机构，由于支承台的结构复杂化，所以存在吸附装置的结构复杂化而高价这样的缺点。
[0009]专利文献1:日本特开2002 - 246450号公报[0010]专利文献2:日本特开2011 - 29565号公报
【发明内容】
[0011]因此，本发明的目的在于提供一种吸附台，该吸附台能够在交接作为被检查体的显示面板时使该显示面板在吸附面上升降，而不会导致结构复杂化，不会使较强的应力局部作用于该显示面板。
[0012]本发明的吸附台用于保持显示面板，该吸附台包括:支承台，其具有开设有负压开口的吸附面；多个升降条，其以横穿上述吸附面的方式配置；多个凹部，该多个凹部彼此并行地设置在上述吸附面上，以便将上述升降条收容在上述支承台内而使上述升降条不会自上述吸附面突出；支承机构，其在上述支承台的侧部中的、上述多个凹部敞开的部位以能够使上述升降条升降的方式支承上述升降条；升降装置，其与上述支承机构相关联地设置，以便使上述升降条在自上述凹部突出的上升位置与收容在上述凹部中的下降位置之间升降，上述支承机构包括:一对支柱，其用于在上述升降条的两端部支承该升降条；导向销，其支承于该支柱和上述升降条中的任意一方；槽，其设于上述支柱和上述升降条中的另一方，用于容许该导向销贯穿。
[0013]在本发明的上述吸附台中，用于将上述升降条收容于上述支承台的上述凹部形成为横穿上述支承台的上述吸附面。利用设置在上述支承台的侧部的上述支承机构，使能收容在上述凹部内的上述升降条在被收容在上述凹部内的下降位置与自上述吸附面突出的上升位置之间升降。因而，不必如以往那样将上述支承台形成为许多个固定构件和可动构件的集合体，而且为了向上述吸附台交接上述显示面板，能够利用多个上述升降条使该显示面板在上述吸附面上升降，所以不会导致上述吸附台的结构复杂化，即使是大型的显示面板，也能防止较强的应力局部地作用于该显示面板。
[0014]可以将分别设于上述一对支柱或上述升降条的两端部的一对槽中的至少一个槽形成为沿上述升降条的长度方向延伸的细长的槽。利用该细长的槽容许上述升降条的沿长度方向的倾斜，所以能够补偿在该升降条的两端部的的升降动作的偏差。
[0015]可以将上述槽设于上述升降条，上述槽可以沿上述升降条的厚度方向贯穿该升降条，且沿该升降条的长度方向延伸。
[0016]可以在上述支承机构上与上述导向销相关联地设置有弹簧构件，该弹簧构件用于对所对应的上述升降条施加朝向该升降条的长度方向外侧的张力。可以利用该弹簧构件的张力来抑制上述升降条的挠曲。
[0017]在上述升降条上，可以在位于比该升降条的设有上述槽的位置靠内侧的位置的端部附近设置与上述导向销平行的相对应的卡定销，作为上述弹簧构件，可以使用拉伸螺旋弹簧，该拉伸螺旋弹簧的两端卡定于上述导向销和与该导向销对应的上述卡定销。
[0018]可以在上述支承机构上设置用于使作用于上述升降条的冲击缓和的冲击缓和机构。利用该冲击缓和机构，在例如与机器人手臂之间交接上述显示面板时，不必为了避免冲击作用于该显示面板而如以往那样使机器人手臂的工作明显减速。因此，能够不必使机器人手臂进行缓慢的动作，所以能够谋求减少生产节拍时间。
[0019]上述冲击缓和机构可以由如下部分构成:支柱，其被上述支承台支承，在且顶部形成有引导槽，该引导槽能以够沿上下方向引导上述升降条的方式接收该升降条；压缩螺旋弹簧，其配置在上述引导槽的底部与上述升降条之间。
[0020]可以在上述升降条上设置用于与上述压缩螺旋弹簧的端部抵接而调整该螺旋弹簧的压缩量的调整螺钉。通过利用该调整螺钉调整压缩量，能够适当地调整该压缩螺旋弹簧的弹簧力，以便根据所处理的上述显示面板的大小即重量的变化而使上述压缩螺旋弹簧的位移量大致恒定。
[0021]可以在各支柱上设置能够调整该支柱的长度方向位置的高度调整机构。设置于各支柱的各高度调整机构能够针对每个上述升降条调整该升降条的倾斜和高度位置。
[0022]可以在上述支承机构上设置在上述支承台的两侧沿该支承台配置的一对梁构件。该一对梁构件以能沿上下方向移动的方式支承于上述支承台，能够利用上述升降装置的工作使该一对梁构件沿上下方向移动。在该情况下，可以借助上述支柱将所对应的上述升降条的端部支承于各梁构件。
[0023]另外，在上述梁构件与各支柱之间设置有用于调整该支柱的高度位置的上述高度调整机构。
[0024]可以在各升降条上形成用于与该升降条上的上述显示面板的缘抵接而防止该显示面板脱落的肩部。利用该肩部的止挡功能，能够可靠地防止上述显示面板不慎自上述升降条脱落。
[0025]另外，可以与上述肩部相关联地在上述升降条的上表面以与上述肩部接近的方式设置退让槽，该退让槽用于防止因上述升降条上的上述被检查体倾斜而使该被检查体的缘与上述上表面干渉。由此，在将上述被检查体配置在上述升降条上、或者从该升降条上去除上述被检查体时，即使上述被检查体相对于上述升降条倾斜，也能防止该被检查体的缘与上述升降条的上表面抵接，所以能够防止因该抵接导致被检查体的损伤。
[0026]采用本发明，不必如以往那样将支承台形成为许多个固定构件和可动构件的集合体，能够将上述支承台形成为具有用于收容上述升降条的上述凹部的一体结构，而且能够利用设置于上述支承台的侧部的上述升降装置使上述升降条升降。因而，能够比较便宜地提供一种吸附台，即使是大型的显示面板也能够处理，而不会使上述吸附台的结构复杂化，不会使较强的应力局部地作用于该显示面板。
【专利附图】
【附图说明】
[0027]图1是将本发明的吸附台与输送机器人一并表示的立体图。
[0028]图2是图1所示的吸附台的俯视图。
[0029]图3是图1所示的吸附台的侧视图。
[0030]图4是沿图3所示的线IV -1V获得的剖视图。
[0031]图5是沿图3所示的线V - V获得的剖视图。
[0032]图6是沿图3所示的线V1- VI获得的剖视图。
[0033]图7是放大表不由图3中用附图标记A表不的圆形记号围绕的部分的图。
[0034]图8是沿图6中表示的附图标记B所示的箭头方向看去的支柱的高度调整机构的主视图。
[0035]图9是图1所示的吸附台的主视图，图9的(a)表示升降条位于上升位置的状态，图9的(b)表示升降条位于下降位置的状态。[0036]图10是以局部剖切的方式表示本发明的另一实施方式的立体图。
[0037]图11是表示本发明的又一实施方式的立体图。
【具体实施方式】
[0038]如图1所示，将本发明的吸附台10组装于用于检查液晶面板、有机发光面板那样的显示板12的探测仪(未图示)而进行使用。在图1中表示在吸附台10与输送机器人14之间交接被检查体12的例子。
[0039]如以往公知的那样，输送机器人14包括:可动台18，其能够在基座16上向吸附台10移动以及沿离开该吸附台10的方向移动；轴构件22，其与设置在该可动台上的支柱20同轴地被该支柱20支承，该轴构件22绕轴线进行旋转动作，而且沿上述轴线相对于支柱20进行伸缩动作。如以往公知的那样，在能够进行该旋转动作及伸缩动作的轴构件22上固定有用于载置被检查体12的叉状的机器人手臂24。
[0040]当输送机器人14例如从未图示的盒中将收容在该盒内的显示板、即被检查体12接收到机器人手臂24上时，为了在使轴构件22伸长了的状态下使机器人手臂24朝向吸附台10上移动，使可动台18工作。然后，使轴构件22进行收缩动作，当将被检查体12转移到吸附台10时，在轴构件22的该收缩状态下使可动台18工作，以便使机器人手臂24离开吸附台10。
[0041]另外，当对吸附台10上的被检查体12的电气性检查或视觉检查结束时，输送机器人14使可动台18工作而向吸附台10移动，以便在轴构件22收缩的状态下将机器人手臂24插入到吸附台10上的被检查体12之下。然后，当通过使轴构件22进行伸长动作而将吸附台10上的被检查体12转移到机器人手臂24上时，输送机器人14使可动台18工作，以便在该伸长状态下使机器人手臂24离开吸附台10。利用该输送机器人14的动作，将被检查体12自吸附台10经由输送机器人14转移到上述盒内。
[0042]在与输送机器人14之间交接被检查体12的吸附台10具有支承台26，该支承台26具有吸附面26a。在图1所示的例子中，吸附台10的支承台26载置在以往公知的XYZ Θ台28上。因而，支承台26与以往同样地能够绕作为铅垂轴线的Z轴旋转，而且能够在与Z轴成直角的XY面上分别沿X轴和Y轴移动。
[0043]吸附台10利用其支承台26的吸附面26a保持来自输送机器人14的被检查体12。在图1和图2所示的例子中，该吸附面26a在XY面上具有矩形形状，该矩形形状具有长边和短边。另外，如图2中清楚地所示，在吸附面26a上形成有多条以往公知的细槽30a，上述细槽30a沿吸附面26a的长边延伸，且两端在支承台26的两侧敞开，另外，在吸附面26a上形成有描画出矩形的负压槽30b。
[0044]如以往公知的那样，在将被检查体12保持于吸附面26a时，自负压源(未图示)将用于吸附该被检查体的负压导入到负压槽30b。细槽30a是用于防止带电的槽。在使被检查体12离开吸附面26a时，如以往公知的那样，细槽30a将空气引导到被检查体12与吸附面26a之间，从而减弱在被检查体12与吸附面26a这两者之间产生的空气流，由此抑制因该空气流而导入到被检查体12的静电的产生。
[0045]此外，如图2所示，在吸附面26a上形成有沿该吸附面26a的长边呈直线状延伸的多个凹部32。如图3中清楚所示，各凹部32到达支承台26的两侧，且在该两侧敞开。另夕卜，以与各凹部32相对应地设置有沿吸附面26a的长边方向横穿该吸附面26a的升降条34。凹部32具有用于将所对应的升降条34收容起来的充分的宽度尺寸，而且具有使收容后的升降条34的上表面与吸附面26a平齐的深度尺寸。
[0046]如图2和图3所示，在支承台26的两侧分别配置有升降条34的支承机构36和升降装置38。如图2和图3所示，支承机构36包括:梁构件40，其在支承台26的侧部沿该支承台大致水平配置；多个引导装置42 (参照图3)，它们沿Z轴在铅垂方向上引导该梁构件。
[0047]如图4中清楚地所示，各引导装置42包括:安装板44，其以自支承台26向下方延伸的方式固定于该支承台；导轨46，其安装于该安装板，且沿铅垂方向延伸；滑动构件48，其固定于梁构件40，被导轨46沿铅垂方向引导。在导轨46的两端设置有用于与滑动构件48抵接而限制滑动构件48的移动范围的止挡部46a、46a。
[0048]因而，将配置在支承台26的两侧的一对梁构件40以能够借助各引导装置42而在支承台26的两侧在两个止挡部46a、46a间沿铅垂方向移动的方式保持于支承台26。
[0049]为了使一对梁构件40在两个止挡部46a、46a间升降，在支承台26的两侧设置有升降装置38。在图3和图5所示的例子中，升降装置38由流体缸装置38构成，该流体压缸装置38包括借助安装板50固定于支承台26的缸主体38a、和自该缸主体突出的活塞杆38b。利用空气压或液压使缸装置38工作。沿铅垂方向配置缸装置38的轴线，活塞杆38b的顶端固定于结合构件52，该结合构件52固定于梁构件40。
[0050]因而，通过使配置在支承台26的两侧的一对流体缸装置38同步工作，能够使沿支承台26配置的一对梁构件40在该支承台的两侧同步升降。
[0051]此外，如图3所示，上述支承机构36还具有使各升降条34与所对应的梁构件40相结合的支柱54。如图6和图7所示，在各支柱54的上端部设置有冲击缓和机构56，各升降条34的端部借助各冲击缓和机构56与所对应的支柱54的上端部弹性结合。
[0052]各冲击缓和机构56包括:凹部58，其开设在支柱54的上端而以具有游隙的方式接收所对应的升降条34的端部；槽60，其形成为横穿升降条34，且大致沿水平方向贯穿该升降条34的端部；导向销62，其贯穿在该槽内，该导向销62的两端支承于凹部58的铅垂壁58a ;以及压缩螺旋弹簧64，其配置在升降条34的端部与凹部58的底壁58b之间。
[0053]压缩螺旋弹簧64的下端由设于凹部58的底壁58b的孔66接收，压缩螺旋弹簧64的上端与带切槽的定位螺钉构件68抵接。定位螺钉构件68在升降条34的端部自该升降条的上方与升降条34螺纹配合，使定位螺钉构件68的下端自升降条34的下表面突出。压缩螺旋弹簧64通过与该带切槽的定位螺钉构件68的下端抵接，被定位在升降条34与底壁58b之间。另外，槽60沿上下(Z轴)方向延伸，以便容许升降条34随着压缩螺旋弹簧64的压缩变形而发生的沿上下方向的移动。因而，在压缩螺旋弹簧64的弹簧力的作用下，升降条34的各端部对于重力方向作用的外力呈现弹性地支承于支柱54。
[0054]利用槽60与由该槽接收的导向销62间的干涉来限制升降条34与凹部58的底壁58b之间的距离，所以能够通过自定位螺钉构件68的上端对定位螺钉构件68进行旋转操作而压缩压缩螺旋弹簧64，由此能够调整压缩螺旋弹簧64的弹簧力。结果，定位螺钉构件68作为对压缩螺旋弹簧64的压缩量进行调整的调整螺钉而发挥功能。
[0055]另外，如图6所示，在各升降条34的端部形成有肩部34b，当将被检查体12载置在升降条34的上表面34a上时，该肩部34b与该被检查体的缘抵接而防止被检查体12超出升降条34的端部。此外，在升降条34的上表面34a的接近肩部34b的区域形成有凹状的退让槽70，该退让槽70用于防止因被检查体12在升降条34上倾斜而使被检查体12的缘部与升降条34的上表面34a抵接的情况。
[0056]各支柱54借助于设置在其下部的高度调整机构72而支承于所对应的梁构件40。如图6和图8所示，各高度调整机构72包括:锚固构件76，其利用固定螺钉74固定于各支柱54的下部；固定连接用具78，其用于以能够解除结合的方式将该支承台与所对应的梁构件40结合；带切槽的定位螺钉80，其用于在松开了固定连接用具78的状态下调整锚固构件76相对于梁构件40的高度位置。
[0057]在锚固构件76上形成有一对槽82，这一对槽82朝向梁构件40贯穿锚固构件76，以便容许固定连接用具78贯穿。如图6中清楚地所示，槽82在锚固构件76中沿上下方向延伸，以便沿上下方向以具有游隙的方式接收所对应的固定连接用具78。贯穿在各槽82中的固定连接用具78由顶端与形成于梁构件40的螺纹孔84螺纹配合的螺栓构件构成。因而，在松开了螺栓构件78的状态下，能够在槽82的上下方向的长度尺寸的范围内调整锚固构件76和下端被固定在该支承台上的支柱54的高度位置。
[0058]为了易于调整该锚固构件76的高度位置、即支柱54的高度位置，定位螺钉80以其上端能自固定于梁构件40的螺纹座86的螺纹孔86a突出的方式与螺纹孔86a螺纹配合。螺纹孔86a沿上下方向贯穿螺纹座86，定位螺钉80的自该螺纹孔突出的上端与锚固构件76的底面抵接。
[0059]因而，如上所述，通过在松开了螺栓78的状态下对定位螺钉80进行旋转操作，能够利用该定位螺钉的上端例如顶起锚固构件76，由此能够在槽82的上述长度尺寸的范围内调整支柱54的高度位置。在利用该定位螺钉80调整了支柱54的高度位置后，利用螺栓78将锚固构件76紧固于梁构件40，从而结束各支柱54的高度调整作业。
[0060]通过调整该支柱54的高度位置，能够对端部支承于各支柱54的升降条34的倾斜、高度位置的偏差进行修正，从而能使升降条34的上表面34a与平行于支承台26的吸附面26a的假想平面齐平。
[0061]能够将上述的锚固构件76与支柱54形成为一体。另外，能够不需要高度调整机构72。
[0062]一对流体缸装置38 (参照图5)同步工作，以便使所有的升降条34在上升位置与下降位置之间同步工作，如图9的(a)所示，在升降条34位于上升位置时，所有的升降条34自支承台26的吸附面26a的凹部32突出而位于吸附面26a的上方，如图9的(b)所示，在升降条34位于下降位置时，升降条34被收容在凹部32内而使升降条34的上表面34a处于吸附面26a以下。
[0063]在图9的(a)所示的上升位置，如上所述，输送机器人14的机器人手臂24上的被检查体12被转移到升降条34上。此时，伴随着由输送机器人14的轴构件22的收缩动作引起的机器人手臂24的下降动作，与被检查体12的重量相对应的冲击作用于升降条34。但是，当被检查体12被转移到升降条34上时，由于设置在各升降条34与支柱54之间的冲击缓和机构56的弹性支承作用，被检查体12不会受到冲击。
[0064]另外，由于设有冲击缓和机构56，所以不必像以往那样使上述的机器人手臂24的下降动作减速，就能防止作用于被检查体12的冲击，所以不必使机器人手臂24进行缓慢的动作，能够谋求缩短生产节拍时间。
[0065]如上所述，通过冲击缓和机构56与所处理的被检查体12的重量的增减相应地进行定位螺钉构件68的旋转操作，无论被检查体12的重量如何增减，冲击缓和机构56也能将压缩螺旋弹簧64的因被检查体12的重量导致的变形量保持得大致恒定。因而，通过与被检查体12的重量相应地进行定位螺钉构件68的旋转操作，能够利用冲击缓和机构56有效地吸收冲击。
[0066]当被检查体12自机器人手臂24转移到各升降条34时，即使该被检查体沿升降条34的长度方向发生倾斜，由于在各升降条34的两端部以接近肩部34b的方式形成有退让槽70，所以被检查体12的向下方倾斜的缘也不会与升降条34的上表面34a抵接。由此，被检查体12不会受到因其与升降条34抵接而造成的损伤就转移到该升降条上，利用升降条34的肩部34b能够可靠地防止被转移到升降条34上的被检查体12自升降条34脱落。
[0067]在被检查体12被移动到升降条34上且机器人手臂24自支承台26上后退后，一对流体缸构件38同步地进行收缩动作，由此，将升降条34保持在图9的(b)所示的下降位置。
[0068]在升降条34移动到下降位置后，如上所述，利用作用于负压槽30b的负压将被检查体12可靠地保持在支承台26上，并对被检查体12进行规定的检查。
[0069]在完成被检查体12的上述检查后，通过一对流体缸构件38进行动作来使升降条34朝向图9的(a)所示的上升位置移动。在支承台26上的被检查体12随着该流体缸构件38而欲借助升降条34自支承台26的吸附面26a浮起时，由于细槽30a如上述那样发挥空气引导作用，从而能够防止在被检查体12上产生静电。
[0070]通过在将输送机器人14的机器人手臂24插入到升降条34之间的状态下使轴构件22进行伸长动作，将位于上升位置的升降条34上的检查完成后的被检查体12转移到机器人手臂24上，然后，利用输送机器人14使该被检查体12返回到上述盒中。
[0071]采用本发明的吸附台10，能够在支承台26上形成用于收容升降条34的凹部32并利用设于支承台26的侧方的升降装置38来使升降条34升降。因而，不会造成吸附台10的结构的复杂化而能够较廉价地提供一种吸附台10，该吸附台10对于大型的显示面板12也能够不会使较强的应力局部地作用于该显示面板地处理该显示面板。
[0072]以上示出了与吸附面26a的长边平行地形成了凹部32的例子，但也能够替代这种形成方法，而以凹部32与吸附面26a的长边夹着角度地延伸的方式并列地形成多个凹部32。
[0073]另外，能够使该凹部32的深度尺寸大于升降条34的高度尺寸而在升降条34的下降位置将该升降条的上表面设定在吸附面26a下。
[0074]对于升降装置38，能够替代上述的流体缸装置，而适当地使用电动马达和齿轮齿条或者线性马达等各种升降装置。
[0075]如图10所示，为了接收被支柱54支承的具有圆形横截面的导向销62，可以将设置在用于接收被检查体12的升降条34的两端部的槽60形成为沿升降条的长度(X轴)方向延伸的横向细长的槽。在该情况下，冲击缓和机构56的压缩螺旋弹簧64不发挥功能，所以未设置。横向延伸的细长的槽60容许升降条34的倾斜，从而对设置在升降条34的两端侧的一对升降装置38间的同步的偏差进行补偿。[0076]可以不将设置在升降条34的两端部的一对槽60形成为沿横向延伸的上述的横向细长的槽，而替代为将一对槽60中的一个槽形成为上述的横向细长的槽，且将另一个槽形成为具有能接收导向销62的圆形横截面的槽。由此，升降条34能够倾斜，所以能补偿一对升降装置38间的同步的偏差。
[0077]如图11所示，能够使导向销62的两端突出到支柱54的外侧。另外，能够在升降条34的两侧的、各升降条34的比上述的沿长度方向延伸的槽60的位置靠升降条34内侧的位置设置与附近的导向销62平行的卡定销88，并在升降条34的两侧配置在所对应的导向销62与卡定销88之间施加拉伸力的一对弹簧构件90。在图11所示的例子中，各弹簧构件90由拉伸螺旋弹簧构成。
[0078]两端卡定于所对应的导向销62和卡定销88的一对拉伸螺旋弹簧90对升降条34施加朝向升降条的长度方向外侧的张力。利用该张力抑制升降条34的挠曲变形。因而，在为了实现轻型化而利用刚性比较低的铝的扁方棒形成升降条34的情况下，能够利用拉伸螺旋弹簧90的张力抑制升降条34的挠曲，能够有效地防止被检查体在该升降条上挠曲。在利用高刚性的CFRP材料形成升降条34的情况下，能够不需要拉伸螺旋弹簧90。
[0079]而且,在图10和图11中表不将导向销62设置于支柱54、且将接收导向销62的横向细长的槽60设置于升降条34的例子，但也能够替代此结构而将导向销62设置于升降条34并且将横向细长的槽60设置于支柱54。
[0080]产业h的可利用件
[0081]本发明不限定于上述实施例，能够在不脱离本发明的主旨的范围内进行各种变更。
[0082]附图标记说明
[0083]10、吸附台；12、被检查体(显示面板)；26、支承台；26a、吸附面；32、凹部；34、升降条；36、支承机构；38、升降装置；40、梁构件；54、支柱；56、冲击缓和机构；58、支柱的凹部；58b、凹部的底壁；60、槽；62、导向销；64、压缩螺旋弹簧；68、定位螺钉构件(调整螺钉)；70、退让槽；72、高度调整机构；88、卡定销；90、弹簧构件(拉伸螺旋弹簧)。
【权利要求】
1.一种吸附台，其用于保持显示面板，其中， 该吸附台包括: 支承台，其具有开设有负压开口的吸附面； 多个升降条，其以横穿上述吸附面的方式配置； 多个凹部，该多个凹部彼此并行地设置在上述吸附面上，以便将上述升降条收容在上述支承台内而使上述升降条不会自上述吸附面突出； 支承机构，其在上述支承台的侧部中的、上述多个凹部敞开的部位以能够使上述升降条升降的方式支承上述升降条； 升降装置，其与上述支承机构相关联地设置，以便使上述升降条在自上述凹部突出的上升位置与收容在上述凹部中的下降位置之间升降， 上述支承机构包括: 一对支柱，其用于在上述升降条的两端部支承该升降条； 导向销，其支承于该支柱和上述升降条中的任意一方； 槽，其设于上述支柱和上述升降条中的另一方，用于容许该导向销贯穿。
2.根据权利要求1所述的吸附台，其中， 分别设于上述一对支柱或上述升降条的两端部的一对槽中的至少一个槽是沿上述升降条的长度方向延伸的细长的槽。
3.根据权利要求2所述的吸附台，其中， 上述槽设于上述升降条，该槽沿该升降条的厚度方向贯穿该升降条，且沿该升降条的长度方向延伸。
4.根据权利要求3所述的吸附台，其中， 在上述支承机构上与上述导向销相关联地设置有弹簧构件，该弹簧构件用于对所对应的上述升降条施加朝向该升降条的长度方向外侧的张力。
5.根据权利要求4所述的吸附台，其中， 在上述升降条上，在位于比该升降条的设有上述槽的位置靠内侧的位置的端部附近设置有与上述导向销平行的相对应的卡定销，上述弹簧构件由拉伸螺旋弹簧构成，该拉伸螺旋弹簧的两端卡定于上述导向销和与该导向销对应的上述卡定销。
【文档编号】H01L21/683GK103681436SQ201310395196
【公开日】2014年3月26日 申请日期:2013年9月3日 优先权日:2012年9月4日
【发明者】白户顺, 工藤隆善 申请人:日本麦可罗尼克斯股份有限公司