专利名称：悬浮式传感器的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及压力/差压变送器的传感器，具体涉及一种悬浮式传感器。
背景技术：
压力传感器广泛应用于各种不同的领域，如医疗器械、工业控制、压力控 制、航空航天等。其中金属电容式原理工作的压力传感器广泛用于各种介质的 压力检测，由于介质环境大多是在钢铁生产、环境4企测的现场等，工作环境比 较复杂、恶劣，易产生较强的电磁波干扰，由于目前的压力变送器的信号感应 端与外壳没有隔离，使得传感器与大地直接连接，传感器在工作时常受到电》兹 信号的干扰而不能正常工作。另外，压传感器在制备过程中，需要将传感器焊 接装配在金属膜盒体中，需要外加容室较大压力的装夹，因此与传感器相连接 的各种金属体受温度变化影响产生的交变应力及装夹应力对传感器产生较大影 响，无法进一步提高产品的精度，使传感器产生零点漂移。
发明内容
本实用新型的目的是提供一种悬浮式传感器，它能使传感器能对地隔离，
有较强的抗干扰电磁信号的能力；增强传感器的抗交变应力及装夹应力的能力， 保证传感器的工作稳定性，从而提高传感器的精度，解决了传感器零点漂移的 问题。
本实用新型的目的是这样实现的包括膜盒体和由左膜座体和右膜座体焊 接而成的传感器，传感器中间设有中心膜片，所述膜座体中间部设置有开口的 陶瓷杯；所述膜盒体中间焊接具有波紋的膜座，波紋膜座外壁设有波紋膜片， 所述波紋膜座的波紋部为凸台结构；所述陶瓷杯与波紋膜座之间设置有带有弯 曲部的金属管，金属管一端用玻璃烧结连接在陶资杯底部内孔中，另一端焊接 在波紋膜座上。所述陶瓷杯的壁上的开口为U形口 。 所述金属管上具有两个Q型弯曲部。
由于采用了上述技术方案，传感器中间部设置有陶瓷杯，陶瓷杯壁上设有U 型的开口，陶瓷杯的口部向外，两个陶瓷杯底部相对放置，陶乾杯底部的内孔
对金属管起支撑定位作用，u型开口将陶瓷杯内外连通，通过u型开口将膜座体 内融化的玻璃引入陶瓷杯内填满，将金属管牢固粘接在陶瓷杯内。金属管另一 端焊接在波紋膜座上，金属管具有两个Q型弯曲部，通过金属管的连接和支撑， 使传感器与外部部件保持相对独立，金属管能緩沖并吸收外部部件应力变化， 确保传感器工作状态不受外界影响，保证传感器的工作稳定性。所述波纟丈膜座 外部表面具有波紋结构，能够緩沖膜盒体的应力冲击，〗吏膜盒体的应力变化不 会传递给传感器，传感器工作稳定，从而提高传感器的精度。金属管与波紋膜 座都能使外界应力和装夹应力都得到緩沖，在制备时，传感器就不受应力变化 影响，解决了零点漂移的问题。
以下结合附图和实施例对本发明作进一步说明。
图1为本实用新型的结构示意图； 图2为图1中M部的局部放大图。
图中，1为膜盒体，2、 25为左、右波紋膜座，3、 24为膜片压圏，4、 22 为膜座，5、 23为波紋隔离膜片，6、 20为玻璃，7、 17为陶瓷杯，8、 19为金 属管，9、 18为陶瓷垫圈，10、 21为金属膜，11、 15为单孔陶瓷芯，12、 14为 充油电极引线管，13为连接头，16为中心膜片。
具体实施方式
参照图1至图2,所述膜盒体1分上盖和下盖，上盖的端部焊接有连接头 13，上盖与下盖之间分别焊接左波紋膜座2和右波紋膜座25,左波紋膜座2与 右波紋膜座25外表面为波紋状结构，以緩冲膜盒体的应力冲击，左、右波紋膜 座外表面分别设有波紋隔离膜片5、 23，能降低膜盒体l变形产生的应力以及减少通过膜盒体l传导的外部应力对波紋隔离膜片5、23的影响，波紋隔离膜片5、 23分别通过膜片压圏3、 24压接在波玟膜座上，左、右波紋膜座中部分别设有 过孔。膜盒体和波紋膜座组成一个与外界隔离的腔室，腔室内设置传感器，所 述传感器由左膜座体和右膜座体组成，左膜座体下端为左膜座4，左膜座4上设 有左陶资杯7，所述左陶瓷杯7横向放置，其口部向外，口部镶嵌设置有陶瓷垫 圈9,陶瓷杯底部具有阶梯孔，阶梯孔中插接有金属管8，所述金属管8上具有 两个Q型的弯曲部，其中一个D型弯曲部分将被烧结在传感器玻璃6中，增强 玻璃与金属的接合力，防止金属管受力产生旋转；另一个Q型弯曲部分起缓冲 并吸收外部部件应力。陶资杯壁上设有U形的开口， U型开口将陶资杯的内外连 通，通过U型开口将膜座体内融化的玻璃引入陶瓷杯内填满。陶乾杯7上部设 有左单孔陶瓷芯11，单孔陶瓷芯11的孔中设有充油电极引线管12,左膜座体 中左膜座4、陶瓷杯7、单孔陶瓷芯11和充油电极引线管12的空隙部分由烧结 的玻璃6填充。所述右膜座体与左膜座体对称设置，右膜座体中的右膜座22、 陶瓷杯17、陶瓷垫圈18、单孔陶瓷芯15、充油电极引线管14和金属管19与左 膜座体的部件——对称，且安装结构与左膜座体相同，其中空隙部分用玻璃20 烧结填充。左、右膜座的玻璃表面通过铣磨加工成球面，用于安装中心膜片16。 在玻璃球面上镀金属膜10,金属膜10与充油电极引线管12连接形成传感器电 容极板，再在金属膜表面镀绝缘保护层。左、右膜座体与膜座体焊接，组成传 感器。金属管8、金属管19分别穿过左、右波故膜座2、 25的过孔焊接在波紋 膜座上，这样通过金属管把传感器支撑在膜盒体内腔中，形成悬浮结构，金属 管连接和支撑传感器与外部部件保持相对独立，缓沖并吸收外部部件应力变化 对传感器的影响，起固定和隔离作用，确保传感器工作状态不受外界影响。 本实用新型采用Q型金属管，以增加玻璃的抗拉、压强度和抗振强度。 本实用新型波紋膜座上加工的波紋在波紋膜座凸型台面，最大限度降低膜 盒体变形产生的应力以及通过膜盒体传导的外部应力对波紋隔离膜片的影响。
本实用新型的制作过程清洗每个零件、烘干；左膜座4、玻璃6、陶瓷杯 7、金属管8、陶瓷垫圈9、单孔陶瓷芯11、充油电极引线管12组成一组，装在特殊烧结夹具中，通过带保护气体的高温烧结炉烧结成左膜座体部件；左膜座 体玻璃表面通过铣磨加工成球面，在玻璃球面上4度金属膜与充油电极引线管连 接形成传感器电容极板，再在金属膜表面镀绝缘保护层；膜座4、玻璃6、陶资 杯7、金属管8、陶瓷垫圈9、单孔陶瓷芯ll、充油电极引线管12组成另一组， 用上述方法烧结成右膜座体。左膜座体、右膜座体、中心膜片16通过焊接组成 传感器。波紋膜座与膜盒体通过焊接成一体，传感器通过金属管8、 19分别与 左、右波玟膜座2、 25通过焊接相连接，将膜片压圏，波紋隔离膜片分别与波 紋膜座通过焊接相连为一体，连接头与膜盒体焊接，通过充油电极引线管在特 殊充罐设备中充灌介质油，再焊接充油电极引线管出口，组装成一个悬浮式传 感器。
权利要求1.一种悬浮式传感器，包括膜盒体和由左膜座体和右膜座体焊接而成的传感器，传感器中间设有中心膜片，其特征在于所述膜座体中间部设置有开口的陶瓷杯；所述膜盒体中间焊接具有波纹的膜座，波纹膜座外壁设有波纹膜片，所述波纹膜座的波纹部为凸台结构；所述陶瓷杯与波纹膜座之间设置有带有弯曲部的金属管，金属管一端用玻璃烧结连接在陶瓷杯底部内孔中，另一端焊接在波纹膜座上。
2. 根据权利要求1所述悬浮式传感器，其特征在于所述陶瓷杯的壁上的 开口为U形口。
3. 根据权利要求1所述悬浮式传感器，其特征在于所述金属管上具有两 个Q型弯曲部。
专利摘要本实用新型涉及一种悬浮式传感器，包括膜盒体和由左膜座体和右膜座体焊接而成的传感器，传感器中间设有中心膜片，所述膜座体中间部设置有开口的陶瓷杯；所述膜盒体中间焊接具有波纹的膜座，波纹膜座外壁设有波纹膜片，所述波纹膜座的波纹部为凸台结构；所述陶瓷杯与波纹膜座之间设置有带有弯曲部的金属管，金属管一端用玻璃烧结连接在陶瓷杯底部内孔中，另一端焊接在波纹膜座上。本实用新型通过金属管的连接与支撑使传感器与外部部件保持相对独立，实现对地隔离；金属管与波纹膜座的缓冲作用增强传感器的抗交变应力及装夹应力的影响，保证传感器的工作稳定性，从而提高传感器的精度；解决了传感器零点漂移的问题。
文档编号G01L13/00GK201355292SQ20092012643
公开日2009年12月2日 申请日期2009年2月25日 优先权日2009年2月25日
发明者聂绍忠 申请人:重庆川仪自动化股份有限公司