专利名称：探针卡的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种探针卡，特别是一种在固定探针的电路板上具有调整水平机构的 探针卡。
背景技术：
当晶片上的集成电路元件完成制作后，在进行后续封装流程前，需经过晶片测试 流程，以淘汰不良的集成电路元件，使封装的良率提高。一般而言，晶片测试的方法是利用 多根探针相对应地接触集成电路元件上的电接点(Pad)，藉此测量集成电路元件的电性特 性，以判别集成电路的良莠。在进行晶片测试时，各探针需施以一定的接触压力，使其尖端穿刺接点表面上的 氧化物，在碰触接点金属表面后，才可完成电性特性测试所需的连接。然而，多根探针同时 进行测试时，可能因其与待测集成电路元件间的倾斜，而导致部分探针无法和其相对应的 接点进行良好的接触，而影响到测试的精确度。传统上，探针的倾斜调整是通过承载探针的探针座上的调整机构。然则，这些常见 的调整机构通常过于复杂，而且使用上不甚方便。再者，这些调整机构固设于测试机台中， 在长期的重复使用下易产生磨耗，而将影响其调整的精准度。鉴于常见的调整机构的缺陷，因此有必要对其进行改良。
发明内容
本发明的目的在于提供一种探针卡，其调整机构简单，且使用方便。本发明一实施范例公开一种探针卡，其包含一电路板、多根探针以及至少一螺旋 调整机构。电路板具有相对的一第一表面与一第二表面。多根探针固定于该电路板的该第 一表面。至少一螺旋调整机构包含一固定装置及一螺旋装置。固定装置具有一螺孔，其中 该固定装置固定于该电路板。螺旋装置包含一端面，其中该螺旋装置以螺接的方式设于该 螺孔中，且该端面位在该电路板的该第一表面侧，使得当该螺旋装置被旋转时，该端面可相 对于该第一表面进退移动。本发明一实施范例另公开一种探针卡，其包含一电路板、多根探针以及至少一螺 旋调整机构。电路板具一表面。多根探针固定于该电路板的该表面。至少一螺旋调整机构 包含一座体、一内斜楔、一外斜楔及一调整螺丝。座体包含一开口和一容置空间，座体设置 于该电路板的该表面上，其中该开口形成于该座体背向该电路板的该表面上，且连通该容 置空间。内斜楔收容于该容置空间。内斜楔具有一第一斜面，该第一斜面朝向该开口。内 斜楔被建构以于该容置空间内往该第一斜面的倾斜方向上移动。外斜楔具一第二斜面与一 端面。外斜楔以该第二斜面面向该第一斜面的方式与该内斜楔相叠设置，其中该第二斜面 与该端面位于该外斜楔的相反两侧。调整螺丝在该倾斜方向上以螺接的方式设于该座体且 与该内斜楔相连接。本发明的探针卡具有设置在探针卡的电路板上的可调整倾斜度的螺旋调整机构，构造简单、使用方便。
图1显示本发明的一实施范例的探针卡与支撑件的立体示意图； 图2与图3显示图1内容的分解示意图； 图4显示图1的探针卡与支撑件的俯视示意图； 图5显示图4中沿A-A剖面线的剖视图； 图6显示图5中圆圈区域B的局部放大图；图7显示本发明的另一实施范例的探针卡与螺旋调整机构的立体示意图 图8显示图7的探针卡与螺旋调整机构的仰视图； 图9显示本发明的一实施范例的螺旋调整机构的立体图；图10显示本发明的-实施范例的螺旋调整机构的内斜楔的立体示意图； 图11显示本发明的-实施范例的内斜楔与外斜楔的组合示意图；图12显示本发明的- 实施范例的螺旋调整机构的侧视图；图13显示本发明的- 实施范例的螺旋调整机构的主视图；及图14显示本发明的- 实施范例的螺旋调整机构的固定方式的示意图。其中，附图标记说明如下 IaUb 探针卡2 支撑件IlaUlb 螺旋调整机构12电路板14 支撑物16 探针18 下表面19 上表面 21 端壁 22 开孔 23 内表面24 支撑表面 26 固定件 27 螺丝28 凹槽111 螺旋装置112 座体113 内斜楔114 外斜楔115 调整螺丝116 容置空间117 底面
1121113111411142118119120121 IlllaUlllb
孔
体 穿S孔 口性孔贯MI螺 开弹螺
第一斜面 第二斜面 本体
具体实施例方式图1显示本发明的一实施范例的一探针卡Ia与一支撑件2的立体组合示意图，而 图2与图3显示图1的分解示意图。参照图1至图3所示，本发明的一实施范例公开的探 针卡Ia可具一圆形形状，但本发明不限于此。探针卡Ia包含一电路板12、一支撑物14以 及多根探针16。电路板12具有一下表面18，支撑物14固设于电路板11的下表面18上， 探针16固定于支撑物14上。电路板12上可设有多个接点(未绘示)，多根探针16电性连 接至相对应的多个接点，使得通过电路板11可提供多根探针16测试信号。再参照图1至图3所示，探针卡Ia可收容于一呈盖状的支撑件2之内，该支撑件 2具有一端壁21，一凹陷的支撑表面M设置于端壁21的内表面23上，该支撑件2另具有 一开孔22，该开孔22形成于支撑表面M上。参照图5所示，电路板12以多根探针16朝向该开孔22的方式放置于支撑件2内。 当探针卡Ia安放于支撑件2上后，多根探针16可穿过该开孔22凸出于支撑件2的端壁21 外。而且，由于支撑表面M的径宽可略大于探针卡Ia的径宽，使得电路板12可完全放置 在支撑表面M上。参照图4至图5，探针卡Ia另包含多个螺旋调整机构11a，多个螺旋调整机构Ila 设置在电路板12上且位于可抵靠支撑表面M的部分，这些螺旋调整机构Ila可彼此等距 设置，但本发明不限于前述配置。参照图5与图6所示，多个贯穿孔121相对应于这些螺旋调整机构Ila设置于电 路板12上。各螺旋调整机构Ila包含一螺旋装置111及一固定装置112。螺旋装置111具 有一端面Illla及设置于其外表面上的外螺纹，其中各螺旋装置111穿设于相对应的贯穿 孔121内，而其端面Illla位于电路板12的下表面18侧，使螺旋装置111的端面Illla可 顶抵支撑件2的支撑表面M。固定装置112设置于电路板12的上表面19上，各固定装置 112包含一贯穿螺孔1121，其中该螺旋装置111上的外螺纹螺合于该螺孔1121。此外，在另 一实施例中，固定装置112可设置或固定于电路板12的下表面18。各固定装置112可固定于电路板12的上表面19，使得当旋转螺旋装置111时，端 面Illla可相对于下表面18做进退移动，而改变其凸出于电路板12的下表面18的高度， 从而调整电路板12与支撑表面M间的间距。若同时令环设于电路板12的多个螺旋装置 111的端面Illla凸出不同高度，即可调整电路板12的水平。本案实施例中，螺旋装置111 可为一调整螺丝，其可具0. 1至0.5厘米(millimeter)的节距，但本发明不以此为限。固定装置112的固定方式可为使用黏胶、焊锡或螺丝固定，但本发明不以此为限。参照图7至图9，在另一实施例中，探针卡Ib包含多个螺旋调整机构11b，这些螺 旋调整机构lib固定于电路板12的下表面18上，且相对于支撑件2的支撑表面M设置。 这些螺旋调整机构lib可彼此等距配置，然本发明不以此为限。参照图9所示，各螺旋调整机构lib包含一座体112、一内斜楔113、一外斜楔114 及一调整螺丝115。座体112包含一容置空间116，容置空间116为座体112的底面117下 凹而形成。内斜楔113收容于容置空间116，调整螺丝115以螺接的方式设于座体112且 与内斜楔113相连接，其中调整螺115设置于内斜楔113的第一斜面1131的倾斜方向上。 通过旋转调整螺丝115，可使内斜楔113于容置空间116的内部，在内斜楔113的第一斜面 1131的倾斜方向(箭头"X"所示的移动方向)上移动。再者，座体112的底面117具有一开口 118，开口 118通连容置空间116。外斜楔 114包含一本体1142，本体1142具一端面1111b，其中外斜楔114被部分收容于座体112的 容置空间116中，且本体1142的端面Illlb经由开口 118凸出于座体112的底面117。本 体1142的形状可与座体112的开口 118的形状配合，以拘限外斜楔114仅能于开口 1118 朝向的方向上移动。换言之，移动上受拘限的外斜楔114，使端面Illlb仅可相对于电路板 12的下表面18做进退的移动。在一实施例中，前述座体112包含金属或工程塑料，但本发 明不以此为限。参照图10至图12所示，内斜楔113具有一第一斜面1131，外斜楔114具有一第 二斜面1141，其中该第二斜面1141与端面Illlb位于外斜楔114的相反两侧。内斜楔113 的第一斜面1131被设置为朝向容置空间116的开口 118，而外斜楔114以其第二斜面1141 面向内斜楔113的第一斜面1131与内斜楔113相叠设置。参照图12所示，由于内斜楔113的第一斜面1131的倾斜角度与外斜楔114的第 二斜面1141的倾斜角度可相同，因此当内斜楔113移动时，可使端面Illlb相对于电路板 12的下表面18仅做进退移动。此外，在本实施例中，内斜楔113可以旋转调整螺丝115来 推动，而相对于调整螺丝115所在的另一侧上可设置弹性体119。因此，当调整螺丝115旋 转使内斜楔113往弹性体119方向移动时，弹性体119可被压缩；而当调整螺丝115旋转而 往弹性体119反向上移动时，弹性体119可同时将内斜楔113推向调整螺丝115，从而使内 斜楔113可做来回移动。弹性体119可为弹簧，但本发明不以此为限。调整螺丝115可以 螺接的方式设于座体112。S卩，如图9所示，座体112上设置可螺合该调整螺丝115的螺孔 120，而调整螺丝115可以螺接的方式设于该螺孔120中。利用调整螺丝115与螺孔120间 的配合，可达到移动内斜楔113的目的。参照图10、图11与图13所示，内斜楔113的第一斜面1131与外斜楔114的第二 斜面1141间可彼此嵌接。在本实施例中，第二斜面1141上可形成鸠尾榫结构，相对应地， 在第一斜面1131上可形成与该鸠尾榫结构配合的鸠尾槽结构。在另一实施例中，鸠尾榫结 构可形成于第一斜面1131上，而鸠尾槽结构可形成于第二斜面1141上。在其它实施例中， 内斜楔113的第一斜面1131与外斜楔114的第二斜面1141间可以其它结构如工字型等相 嵌接。参照图14所示，各螺旋调整机构lib设置于电路板12的下表面18，而在电路板12 的上表面19，相对应于各螺旋调整机构lib之所在，可设置固定件26。固定件沈可利用如黏胶等固定于上表面19，但本发明不以此为限。电路板12可包含多个贯穿孔121，这些贯 穿孔121相应于这些螺旋调整机构lib设置，固定件沈与各螺旋调整机构lib可分别设置 于相对应的贯穿孔121的相对两侧。如图14所示，螺旋调整机构lib的座体112与固定件 26可分别设有螺孔，螺丝27穿设于相对应的贯穿孔121并以其两端分别螺入座体112与固 定件沈的螺孔，从而使各螺旋调整机构lib固定于电路板12。参照图7与图14所示，电路板12的下表面18上可形成多个凹槽观，各螺旋调整 机构lib可先行设置于相对应的凹槽观内，之后以前述方法固定于电路板12上。在其它 实施例中，各螺旋调整机构lib可以黏着的方式固定。相较于现有技术，本发明的各实施例公开的各探针卡具有可调整倾斜度的螺旋调 整机构。由于螺旋调整机构构造简单，且设置在探针卡的电路板上，因此可充分解决现有的 调整机构所具有的问题。本发明的技术内容及技术特点已公开如上，然而本领域技术人员仍可能基于本发 明的教示及所公开的内容而做种种不背离本发明精神的替换及修饰。因此，本发明的保护 范围应不限于实施范例所公开的内容，而应包括各种不背离本发明的替换及修饰，并以权 利要求书的界定为限。
权利要求
1.一种探针卡，包含一电路板，具有相对的一第一表面与一第二表面； 多根探针，固定于该电路板的该第一表面；以及至少一螺旋调整机构，被建构以调整该电路板的水平，该至少一螺旋调整机构包含 一固定装置，具有一螺孔，其中该固定装置固定于该电路板；及 一螺旋装置，包含一端面，其中该螺旋装置以螺接的方式设于该螺孔中，且该端面位于 该电路板的该第一表面侧，使得当该螺旋装置被旋转时，该端面可相对于该第一表面进退 移动。
2.根据权利要求1所述的探针卡，其中该电路板包含至少一贯穿孔，该贯穿孔相对应 于该至少一螺旋调整机构设置，其中该固定装置固定于该第二表面，而该螺旋装置穿设于 该贯穿孔。
3.根据权利要求2所述的探针卡，其中该至少一螺旋调整机构包含多个螺旋调整机 构，其中所述螺旋调整机构彼此等距设置。
4.根据权利要求3所述的探针卡，其中该螺旋装置为一调整螺丝。
5.根据权利要求4所述的探针卡，其中该调整螺丝包含0.1至0. 5厘米的节距。
6.根据权利要求1所述的探针卡，其中该固定装置以黏胶、焊锡或螺丝固定。
7.一种探针卡，包含 一电路板，具一表面；多根探针，固定于该电路板的该表面；以及至少一螺旋调整机构，被建构以调整该电路板的水平，该至少一螺旋调整机构包含 一座体，包含一开口和一容置空间，该座体设置于该电路板的该表面，其中该开口形成 于该座体背向该电路板的该表面上，且连通该容置空间；一内斜楔，收容于该容置空间，该内斜楔具有一第一斜面，该第一斜面朝向该开口，该 内斜楔被建构以于该容置空间内往该第一斜面的倾斜方向上移动；一外斜楔，具一第二斜面与一端面，该外斜楔以该第二斜面面向该第一斜面的方式与 该内斜楔相叠设置，其中该第二斜面与该端面位于该外斜楔的相反两侧；及一调整螺丝，在该倾斜方向上以螺接的方式设于该座体且与该内斜楔相连接。
8.根据权利要求7所述的探针卡，其中该至少一螺旋调整机构包含多个螺旋调整机 构，其中所述螺旋调整机构彼此等距设置。
9.根据权利要求7所述的探针卡，其中该外斜楔的外形与该开口相配合。
10.根据权利要求7所述的探针卡，其中该内斜楔与该外斜楔彼此嵌接。
11.根据权利要求10所述的探针卡，其中该内斜楔与该外斜楔彼此以鸠尾榫与鸠尾槽 嵌接。
12.根据权利要求7所述的探针卡，其中该探针卡还包含一固定件与一螺丝，其中该电 路板包含至少一贯穿孔，该固定件与该至少一螺旋调整机构分别设置于该贯穿孔的相对两 侧，该螺丝锁固该固定件与该至少一螺旋调整机构。
13.根据权利要求7所述的探针卡，其中该电路板还包含至少一凹槽，该至少一螺旋调 整机构设置于该凹槽内。
14.根据权利要求7所述的探针卡，其中该至少一螺旋调整机构以一黏胶黏着于该电路板的该表面。
15.根据权利要求7所述的探针卡，其中该座体的材质为金属或工程塑料。
全文摘要
本发明涉及一种探针卡，其包含具有相对的一第一表面与一第二表面的一电路板、固定于电路板的第一表面的多根探针以及至少一螺旋调整机构。至少一螺旋调整机构包含一固定装置及一螺旋装置。固定装置具有一螺孔，其中该固定装置固定于该电路板。螺旋装置包含一端面，其中该螺旋装置以螺接的方式设于该螺孔中，且该端面位在该电路板的该第一表面侧，使得当该螺旋装置被旋转时，该端面可相对于该第一表面进退移动。本发明的探针卡具有设置在探针卡的电路板上的可调整倾斜度的螺旋调整机构，构造简单、使用方便。
文档编号G01R1/073GK102135550SQ20101000285
公开日2011年7月27日 申请日期2010年1月21日 优先权日2010年1月21日
发明者刘俊良, 曾筱婷, 王礼民, 陈和也 申请人:思达科技股份有限公司