陀螺传感器以及电子设备的制造方法与工艺

文档序号:11412425阅读:来源:国知局
陀螺传感器以及电子设备的制造方法与工艺

技术特征:
1.一种陀螺传感器,具备结构体,所述结构体包括:驱动质量部;驱动部,其在第一轴的方向上对所述驱动质量部进行驱动;第一检测质量部,其上设置有第一检测部和第一振动体,且经由第一弹性部而被连接于所述驱动质量部,其中,所述第一弹性部能够在与所述第一轴正交的第二轴的方向上进行位移;第二检测质量部,其上设置有第二检测部和第二振动体,且经由第二弹性部而被连接于所述驱动质量部,其中,所述第二弹性部能够在所述第二轴的方向上进行位移,所述第一振动体在所述第一轴的方向上延伸,且一端被连接于所述第一检测质量部,所述第二振动体在与所述第一振动体的延伸方向相反的方向上延伸,且一端被连接于所述第二检测质量部,所述第一振动体和所述第二振动体随着所述第一轴的方向上的振动,而在相对于所述第一轴及所述第二轴垂直的第三轴的方向上进行振动,所述结构体在所述第一轴的方向上被配置有两个,两个所述结构体通过连结弹性部而被相互连接,所述驱动部使两个所述结构体的所述驱动质量部以相互反相的方式进行振动。2.如权利要求1所述的陀螺传感器,其中,所述第一检测质量部和所述第二...
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