陀螺传感器以及电子设备的制造方法与工艺

文档序号:11412425阅读:来源:国知局
技术总结
本发明提供一种能够实现小型化的陀螺传感器以及电子设备。陀螺传感器(10)包括:驱动质量部(14);驱动部(70);第一检测质量部(16a),其上设置有第一检测部(30)和第一振动部(40a);第二检测质量部(16b),其上设置有第二检测部(30b)和第二振动部(40b),第一振动体(40a)在第一轴的方向上延伸,且一端被连接于第一检测质量部(16a),第二振动体(40b)在与第一振动体的延伸方向相反的方向上延伸,且一端被连接于第二检测质量部(16b),振动体(40a、40b)随着第一轴(X)的方向上的振动,而在第三轴(Z)的方向上进行振动。

技术研发人员:金本啓
受保护的技术使用者:精工爱普生株式会社
文档号码:201310120831
技术研发日:2013.04.09
技术公布日:2017.08.29

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