一种通过识别探针卡类型预防烧针的方法与流程

本发明涉及机台测试领域，更具体地说，本发明涉及一种通过识别探针卡类型预防烧针的方法。

背景技术：
晶圆级可靠性测试所用的探针卡有一些不同的规格，针对不同的测试项目和条件需搭配使用不同类型的卡。在某些测试中，会出现在探针卡两端施加较大的电压的情况。例如，在绝缘体击穿电压测试中，由于击穿瞬间产生的大电流容易导致高功率而烧毁针尖的现象，测试中需要使用带串联电阻的探针卡来进行测试。如图1所示为带串联电阻的探针卡进行绝缘体击穿电压测试的示意图。探针卡的两个探针卡10分别接触待测器件20的两端。但是，由于这种带电阻的探针卡与普通的不带电阻的探针卡并无外观上的差别，或者测试人员未意识到需要使用带电阻探针卡。因此，存在操作人员用非匹配探针卡(例如，不带电阻的探针卡)去进行绝缘体击穿电压测试的可能性，这种误操作极易导致探针针尖烧毁而不能继续使用。

技术实现要素：
本发明所要解决的技术问题是针对现有技术中存在上述缺陷，提供一种能够预防烧针的方法。为了实现上述技术目的，根据本发明，提供了一种通过识别探针卡类型预防烧针的方法，其包括：第一步骤：提供探针卡电阻测试结构，其中所述探针卡电阻测试结构包括测试电阻，所述测试电阻的第一端包括第一连接点和第二连接点，所述测试电阻的第二端包括第三连接点和第四连接点，其中第一连接点连接至第一金属垫，第二连接点连接至第二金属垫，第三连接点连接至第三金属垫，第四连接点连接至第四金属垫；第二步骤：利用探针卡电阻测试结构来测试探针卡的电阻值，其中将探针卡的两个探针的一端分别连接至第一金属垫和第二金属垫并测量探针卡的两个探针的另一端之间的电阻大小，或者将探针卡的两个探针的一端分别连接至第三金属垫和第四金属垫并测量探针卡的两个探针的另一端之间的电阻大小；第三步骤：当第二步骤测得的电阻大小不小于预定电阻值时，利用所述探针卡执行测试；第四步骤：当第二步骤测得的电阻大小小于预定电阻值时，发出警告信息，并且不利用所述探针卡执行测试。优选地，所述探针卡用于绝缘体击穿电压测试。优选地，所述预定电阻值的大小介于80欧姆至110欧姆之间。优选地，所述预定电阻值的大小等于100欧姆。优选地，在第四步骤中，当第二步骤测得的电阻大小小于预定电阻值时，停止测试。由此，本发明的通过识别探针卡类型预防烧针的方法通过测试探针卡电阻的方法来自动识别探针卡类型，防止因放错探针卡导致探针损伤的现象。其中，在本发明中，通过在诸如绝缘体击穿电压测试程序之类的测试程序中加入探针卡识别功能，从而当操作人员放入非匹配的探针卡时能够侦测出，并自动停止测试，预防烧针。附图说明结合附图，并通过参考下面的详细描述，将会更容易地对本发明有更完整的理解并且更容易地理解其伴随的优点和特征，其中：图1示意性地示出了根据现有技术的探针卡测试结构。图2示意性地示出了根据本发明实施例的通过识别探针卡类型预防烧针的方法的流程图。图3示意性地示出了根据本发明实施例的通过识别探针卡类型预防烧针的方法采用的探针卡电阻测试结构。图4示意性地示出了根据本发明实施例的通过识别探针卡类型预防烧针的方法的示意图。需要说明的是，附图用于说明本发明，而非限制本发明。注意，表示结构的附图可能并非按比例绘制。并且，附图中，相同或者类似的元件标有相同或者类似的标号。具体实施方式为了使本发明的内容更加清楚和易懂，下面结合具体实施例和附图对本发明的内容进行详细描述。图2示意性地示出了根据本发明实施例的通过识别探针卡类型预防烧针的方法的流程图。具体地说，如图2所示，根据本发明实施例的通过识别探针卡类型预防烧针的方法包括：第一步骤S1：提供探针卡电阻测试结构，其中如图3所示，所述探针卡电阻测试结构包括测试电阻30，所述测试电阻30的第一端31包括第一连接点1和第二连接点2，所述测试电阻30的第二端32包括第三连接点3和第四连接点4，其中第一连接点1连接至第一金属垫P1，第二连接点2连接至第二金属垫P2，第三连接点3连接至第三金属垫P3，第四连接点4连接至第四金属垫P4。第二步骤S2：利用探针卡电阻测试结构来测试探针卡的电阻值，其中将探针卡的两个探针10的一端分别连接至第一金属垫P1和第二金属垫P2(如图4所示)并测量两个探针10的另一端之间的电阻大小，或者将探针卡的两个探针10的一端分别连接至第三金属垫P3和第四金属垫P4并测量两个探针10的另一端之间的电阻大小。第三步骤S3：当第二步骤S2测得的电阻大小不小于预定电阻值时，利用所述探针卡执行测试(例如绝缘体击穿电压测试)。优选地，所述预定电阻值的大小介于80欧姆至110欧姆之间，进一步优选地，所述预定电阻值的大小等于100欧姆。第四步骤S4：当第二步骤S2测得的电阻大小小于预定电阻值时，发出警告信息，并且不利用所述探针卡执行测试(例如绝缘体击穿电压测试)，并且例如可以停止测试。由于带电阻的探针卡与不带电阻的探针卡的区别在于在每根探针上串联了一个额外的大电阻(≥100欧姆)，因此如果能探测探针卡的电阻值就能识别出带电阻探针卡或常规探针卡。现有的很多电阻测试结构中都采用四端法的结构设计，如图2所示测试电阻30有四个连接点1、2、3、4，其中连接点1和2之间或连接点3和4之间的电阻很小(加上接触电阻小于10欧姆)。本发明建立了一个处理程式，借用任何短接的金属垫如连接点1和2达到将两根探针短接的目的(如图3所示)，从而可以测量两根探针之间的电阻，若电阻小于预定电阻值(例如100欧姆)则判断为普通不带电阻的探针卡，随后可跳出测试程序并报错；若电阻大于设定值，则判断为带电阻探针卡，继续测试。在每个绝缘体击穿电压测试程序前加入此程式，这样如果放错探针卡，就能够在测试前自动侦测到，然后终止测试，预防烧针。由此，本发明的通过识别探针卡类型预防烧针的方法通过测试探针卡电阻的方法来自动识别探针卡类型，防止因放错探针卡导致探针损伤的现象。其中，在本发明中，通过在诸如绝缘体击穿电压测试程序之类的测试程序中加入探针卡识别功能，从而当操作人员放入非匹配的探针卡时能够侦测出，并自动停止测试，预防烧针。此外，需要说明的是，除非特别说明或者指出，否则说明书中的术语“第一”、“第二”、“第三”等描述仅仅用于区分说明书中的各个组件、元素、步骤等，而不是用于表示各个组件、元素、步骤之间的逻辑关系或者顺序关系等。可以理解的是，虽然本发明已以较佳实施例披露如上，然而上述实施例并非用以限定本发明。对于任何熟悉本领域的技术人员而言，在不脱离本发明技术方案范围情况下，都可利用上述揭示的技术内容对本发明技术方案作出许多可能的变动和修饰，或修改为等同变化的等效实施例。因此，凡是未脱离本发明技术方案的内容，依据本发明的技术实质对以上实施例所做的任何简单修改、等同变化及修饰，均仍属于本发明技术方案保护的范围内。