亮度校正方法及光学检测系统与流程

文档序号:12356821阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种亮度校正方法,其特征在于,应用于一光学检测系统中,该光学检测系统包含一单光源照射器以及一探针卡,该单光源照射器用以朝向该探针卡照射,该探针卡具有多个检测位置,该亮度校正方法包含:

以一感测芯片透过多个扩散片其中之一依序在所述检测位置量测亮度;

以该感测芯片在所述检测位置其中之一依序量测所述扩散片的透明度;以及

筛选所述透明度中较大者所对应的所述扩散片并分别设置于所述亮度中较小者所对应的所述检测位置上方,并筛选所述透明度中较小者所对应的所述扩散片并分别设置于所述亮度中较大者所对应的所述检测位置上方。

2.根据权利要求1所述的亮度校正方法,其特征在于,还包含:

计算所述亮度的一均匀度比值;

计算所述透明度的一透明度平均值;

分别计算所述透明度相对于该透明度平均值的偏差度比值;以及

摒弃所述偏差度比值的绝对值中大于该均匀度比值者所对应的所述扩散片。

3.根据权利要求1所述的亮度校正方法,其特征在于,筛选并设置所述扩散片的步骤还包含:

计算所述亮度的一亮度平均值;

计算所述透明度的一透明度平均值;以及

筛选所述透明度中大于该透明度平均值者所对应的所述扩散片并分别设置于所述亮度中小于该亮度平均值者所对应的所述检测位置上方,并筛选所述透明度中小于该透明度平均值者所对应的所述扩散片并分别设置于所述亮度中大于该亮度平均值者所对应的所述检测位置上方。

4.根据权利要求1所述的亮度校正方法,其特征在于,筛选并设置所述扩散片的步骤还包含:

计算所述亮度的一亮度平均值;

将所述透明度由大到小均分为M个透明度群组,其中M为2的倍数;以及

筛选所述透明度群组中排序第N个者所对应的所述扩散片并分别设置于所述亮度中小于该亮度平均值者所对应的所述检测位置上方,并筛选所述透明度群组中排序第N+M/2个者所对应的所述扩散片并分别设置于所述亮度中大于该亮度平均值者所对应的所述检测位置上方,其中N为小于等于M/2的正整数。

5.根据权利要求4所述的亮度校正方法,其特征在于,所述亮度具有一均匀度比值,并且该第N个透明度群组的一上限值与该第N+M/2个透明度群组的一下限值的差值是等于或小于该均匀度比值的两倍。

6.一种光学检测系统,其特征在于,包含:

一探针卡,具有多个检测位置;

多个扩散片,分别设置于所述检测位置上方,其中所述扩散片分别具有多个透明度;以及

一单光源照射器,用以朝向该探针卡照射,使得照射至所述扩散片的光线分别具有多个亮度,

其中所述亮度中较小者所对应的所述扩散片的所述透明度较大,并且所述亮度中较大者所对应的所述扩散片的所述透明度较小。

7.根据权利要求6所述的光学检测系统,其特征在于,所述亮度具有一均匀度比值,所述透明度具有一透明度平均值,每一所述透明度相对于该透明度平均值具有一偏差度比值,并且所述偏差度比值的绝对值是等于或小于该均匀度比值。

8.根据权利要求6所述的光学检测系统,其特征在于,所述亮度具有一亮度平均值,所述透明度具有一透明度平均值,所述亮度中小于该亮度平均值者所对应的所述扩散片的所述透明度是大于该透明度平均值,并且所述亮度中大于该亮度平均值者所对应的所述扩散片的所述透明度是小于该透明度平均值。

9.根据权利要求6所述的光学检测系统,其特征在于,所述亮度具有一亮度平均值,所述透明度由大到小均分为M个透明度群组,M为2的倍数,所述亮度中小于该亮度平均值者所对应的所述扩散片的所述透明度是位于所述透明度群组中排序第N个者中,所述亮度中大于该亮度平均值者所对应的所述扩散片的所述透明度是位于所述透明度群组中排序第N+M/2个者中,并 且N为小于等于M/2的正整数。

10.根据权利要求9所述的光学检测系统,其特征在于,所述亮度具有一均匀度比值,并且该第N个透明度群组的一上限值与该第N+M/2个透明度群组的一下限值的差值是等于或小于该均匀度比值的两倍。

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