亮度校正方法及光学检测系统与流程

文档序号:12356821阅读:来源:国知局
技术总结
一种亮度校正方法及光学检测系统。亮度校正方法应用于光学检测系统中。光学检测系统包含单光源照射器以及探针卡。单光源照射器用以朝向探针卡照射。探针卡具有多个检测位置。亮度校正方法包含:以感测芯片透过多个扩散片其中之一依序在检测位置量测亮度;以感测芯片在检测位置其中之一依序量测扩散片的透明度;以及筛选透明度中较大者所对应的扩散片并分别设置于亮度中较小者所对应的检测位置上方,并筛选透明度中较小者所对应的扩散片并分别设置于亮度中较大者所对应的检测位置上方。借此,根据本发明的亮度校正方法所制造的光学检测系统将可有效地降低光源均匀度、扩散片偏差度与不同检测位置所造成的检测偏差。

技术研发人员:刘昌明
受保护的技术使用者:创意电子股份有限公司;台湾积体电路制造股份有限公司
文档号码:201510390024
技术研发日:2015.07.06
技术公布日:2017.01.04

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