由折射及具有磁化率的波的速度上的变化测量温度的方法与流程

技术特征：

技术总结
于此描述用于在真空腔室中使用热传感器原位确定基板温度的方法及设备。在一个实施方式中，热感应器具有传送器，该传送器经构造以传送电磁波；接收器，该接收器经构造以接收电磁波；及控制器，该控制器经构造以控制该传送器及该接收器，其中该控制器自所传送的该电磁波及所接收的该电磁波之间的差异来确定温度。

技术研发人员：甘加达尔·希拉瓦特
受保护的技术使用者：应用材料公司
技术研发日：2015.10.06
技术公布日：2017.08.29