一种用于电子背散射衍射仪的样品台的制作方法

文档序号:17237405发布日期:2019-03-30 08:25阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种用于电子背散射衍射仪的样品台,其特征在于,包括:

所述样品台的固定面与底座呈70°夹角,所述固定面上开有凹槽,所述凹槽用于安装并固定薄片样品,所述凹槽与所述薄片样品的尺寸吻合;

所述凹槽的深度与所述薄片样品的厚度一致,当所述薄片样品安装在所述凹槽中时,所述薄片样品的待测表面与所述固定面的表面处于同一平面;

所述固定面上开有用于安装单晶硅标样的标样凹槽,所述标样凹槽的深度与所述单晶硅标样的厚度一致,当所述单晶硅标样安装在所述标样凹槽中时,所述单晶硅标样的待测表面与所述固定面的表面处于同一平面;

所述样品台的中部,开有一立方体孔洞,所述立方体孔洞用于安装块状样品;

所述立方体孔洞的内表面填充固体导电胶,当所述块状样品接触所述固体导电胶并安装在所述立方体孔洞中时,所述块状样品的待测表面与所述单晶硅标样的表面处于同一平面;

其中,标样凹槽接近凹槽的边缘,使得单晶硅标样与薄片样品处于在同一平面,以便于在实验过程中样品能够在同一个工作距离下通过单晶硅标样进行校准。

2.根据权利要求1所述的样品台,其特征在于,所述样品台由纯铜材料制成,或者由导电性大于纯铜的材料制成。

3.根据权利要求1所述的样品台,其特征在于,所述样品台的底座由纯铜材料制成,或者由导电性大于纯铜的材料制成;

所述样品台中除了底座以外的部分由导电材料制成。

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