1.一种基于并联柔顺机构的精密测头，包括圆环状的外壳(20)，外壳(20)的顶部设有上端盖(19)，上端盖(19)的内侧中心吊装一个载物体(11)，所述载物体(11)位于由外壳(20)围城的腔内，其特征在于：所述外壳(20)的底部连接并联柔顺机构，所述并联柔顺机构包括动平台(2)以及定平台(1)，定平台(1)呈圆环状，且定平台(1)的外圈与外壳(20)底部固定，所述动平台(2)呈等边三角形，且其中心与定平台(1)的圆心重合，动平台(2)与定平台(1)之间通过若干分支杆(3)连接，所述分支杆(3)一端与动平台(2)柔性连接，另一端与定平台(1)柔性连接；所述动平台(2)在远离上端盖(19)的一侧的中心设有测杆(8)，测杆(8)远离动平台(2)的一端端部设有测球(9)；所述动平台(2)的三个顶角处分别设有一个移动反射镜(10)，所述载物体(11)的侧壁上均匀分布三个激光干涉仪(12)，相邻的两个激光干涉仪(12)之间的交角为120°，载物体(11)在激光干涉仪(12)的下方分别设有固定干涉镜(14)，每个激光干涉仪(12)对准一个固定干涉镜(14)，且激光干涉仪(12)与分布在动平台(2)上的移动反射镜(10)一一对应。
2.根据权利要求1所述的基于并联柔顺机构的精密测头，其特征在于：所述分支杆(3)设有六个，动平台(2)的每个侧边均匀分布两个，且动平台(2)每相邻的两个侧边分布的分支杆(3)呈对称分布，分支杆(3)与动平台(2)以及定平台(1)之间均采用柔性球铰(6)连接。
3.根据权利要求2所述的基于并联柔顺机构的精密测头，其特征在于：所述分支杆(3)上均设有压电陶瓷片(4)，所述压电陶瓷片(4)黏在分支杆(3)上。
4.根据权利要求3所述的基于并联柔顺机构的精密测头，其特征在于：所述测杆(8)与动平台(2)连接的端部设有测杆基体(7)，测杆基体(7)通过粘合剂粘帖在动平台(2)的中心，所述测杆(8)、测球(9)、测杆基体(7)为一体式结构。
5.根据权利要求1所述的基于并联柔顺机构的精密测头，其特征在于：所述载物体(11)为空心的正六棱柱，所述激光干涉仪(12)通过夹持器(13)固定于载物体(11)上。
6.根据权利要求5所述的基于并联柔顺机构的精密测头，其特征在于：所述载物体(11)的底部设有载物体端盖(15)，载物体端盖(15)上固定安装一个固定干涉镜支架(16)，所述固定干涉镜支架(16)呈三叉状，且其三叉均匀分布在同一圆周上，固定干涉镜支架(16)的中心固定安装在载物体端盖(15)的中心。
7.根据权利要求1所述的基于并联柔顺机构的精密测头，其特征在于：所述定平台(1)上均匀分布四个螺纹孔Ⅰ(5)，定平台(1)与外壳(20)采用螺钉固定，所述上端盖(19)的边缘也均匀分布四个用于与外壳(20)连接的螺纹孔Ⅱ(17)，且上端盖(19)的中心设有用于吊装载物体(11)的螺纹孔Ⅲ(18)。