技术总结
本发明公开了一种基于并联柔顺机构的精密测头，包括圆环状的外壳，外壳的顶部设有上端盖，上端盖的内侧中心吊装一个载物体，外壳的底部连接并联柔顺机构，并联柔顺机构的中心设有测杆，测杆远离动平台的一端端部设有测球；并联柔顺机构的中心处均匀分布三个移动反射镜，载物体的侧壁上均匀分布三个激光干涉仪，载物体在激光干涉仪的下方分别设有固定干涉镜，每个激光干涉仪对准一个固定干涉镜，通过并联柔顺机构代替常见的弹性支承，使测头的结构得到简化，同时大幅度减少了并联柔顺机构与外壳之间的间隙和摩擦，提高了测头的精度。由于并联柔顺机构的结构呈整体化，还有利于实现测头结构的小型化，减小自身重力对测量的影响。
技术研发人员：李保坤;王康;韩迎鸽;杨洪涛;马天兵;张国荣;陈清华;王成军
受保护的技术使用者：安徽理工大学
文档号码：201610428798
技术研发日：2016.06.15
技术公布日：2016.11.16