ATE测量线路中的阻抗校准补偿方法与流程

文档序号:11825274阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种ATE测量线路中的阻抗校准补偿方法,其特征在于包括:

第一步骤:按照待测芯片的尺寸大小,制造与待测芯片尺寸相同的铜块;

第二步骤:将铜块置于测试夹具内,夹具的各测试探针与铜块接触;

第三步骤:针对各个ATE测试资源通道,采用施流测压方式和/或施压测流方式来测试并计算测量线路等效电阻;

第四步骤:在测量待测信号时,将ATE测试资源通道的相应的测量线路等效电阻作为误差,从在最终测量值中去除所述误差的相关数值以得到校准后的测量结果。

2.根据权利要求1所述的ATE测量线路中的阻抗校准补偿方法,其特征在于,在第四步骤,将针对各个ATE测试资源通道测试得到的测量线路等效电阻存储为全局变量,并且在测量待测信号时,调用ATE测试资源通道的相应的测量线路等效电阻的对应全局变量作为误差。

3.根据权利要求1或2所述的ATE测量线路中的阻抗校准补偿方法,其特征在于,制造的铜块的表面平整。

4.根据权利要求1或2所述的ATE测量线路中的阻抗校准补偿方法,其特征在于,夹具的各测试探针与铜块接触的方式使得接触电阻最小化。

5.根据权利要求1或2所述的ATE测量线路中的阻抗校准补偿方法,其特征在于,施流测压方式指的是利用ATE测试资源通道对铜块施加测试电流,并检测测量线路上的电压,而且通过计算测量线路上的电压除以测试电流的值来计算测量线路等效电阻。

6.根据权利要求1或2所述的ATE测量线路中的阻抗校准补偿方法,其特征在于,施压测流方式指的是利用ATE测试资源通道对铜块施加测试电压,并检测测量线路上的电流,而且通过计算测试电压除以测量线路上的电流的值来计算测量线路等效电阻。

7.根据权利要求1或2所述的ATE测量线路中的阻抗校准补偿方法,其特征在于,ATE测试资源通道的等效电阻包括:测试资源板信号通道中的电阻、ATE资源接口与测试负载板连接产生的接触电阻、测试负载板上的走线及外围产生的等效电阻、测试负载板与其上的测试夹具相连产生的接触电阻、测试夹具的测试探针的电阻、以及测试夹具测试探针与芯片接触产生的接触阻抗。

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