具有自动基准化的红外成像系统的制作方法

文档序号:12589591阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种装置,包括:

可调谐中红外(MIR)激光器,其生成光束;

标本级,其适用于承载待扫描的标本,所述级在第一方向上移动所述标本;

光学组件,其将所述光束汇聚到所述标本上的点,所述光学组件包括扫描组件,其具有:聚焦透镜,其将所述光束汇聚到所述标本上的点;以及镜,其相对于所述级在第二方向上移动,使得所述聚焦透镜在所述聚焦透镜与所述标本级之间保持固定距离,所述第一方向与所述第二方向不同。

第一光检测器,其测量离开所述标本上的所述点的第一光强度;

控制器,其从所述第一光强度形成MIR图像;以及

基准级,其定位为使得所述镜响应于来自所述控制器的命令在所述基准级上移动。

2.一种用于在扫描标本期间获得基准样本的方法,所述方法包括:

提供生成光束的可调谐中红外(MIR)激光器;

在适用于在第一方向上移动所述标本的标本级上安装所述标本;

使用光学组件将所述光束汇聚到所述标本上的点,所述光学组件包括扫描组件,其具有:聚焦透镜,其将所述光束汇聚到所述标本上的点;以及镜,其相对于所述标本级在第二方向上移动,使得所述聚焦透镜在所述聚焦透镜与所述标本级之间保持固定距离,所述第二方向与所述第一方向不同;

测量离开所述标本上的所述点的光以形成MIR图像,并且测量离开基准级的光,所述基准级定位为使得所述镜响应于来自所述控制器的命令在所述基准级上移动,所述基准级与所述标本级不同。

3.如权利要求1所述的装置或如权利要求2所述的方法,其中,所述第一方向实质上与第二方向正交。

4.如权利要求1所述的装置或如权利要求2所述的方法,其中,所述基准级响应于来自所述控制器的命令在所述第一方向上移动。

5.如权利要求1所述的装置或如权利要求2所述的方法,其中,所述基准级包括分辨率目标。

6.如权利要求1所述的装置或如权利要求2所述的方法,其中,所述基准级包括具有不同的镜面反射对于漫反射的已知比率的多个样本。

7.如权利要求1所述的装置或如权利要求2所述的方法,其中,所述基准级包括具有不同反射率的多个样本。

8.如权利要求1所述的装置或如权利要求2所述的方法,其中,所述基准级包括具有与所述标本中的化合物匹配的化学组分的化合物的样本。

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