一种基于反射率光谱测量光学薄膜厚度的方法及系统与流程

文档序号:12265198阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种基于反射率光谱测量光学薄膜厚度的方法,其特征在于:提供多组已知光学薄膜厚度的标准样品,获得多组标准样品中光学薄膜厚度与光学薄膜反射率光谱的色空间坐标之间的对应关系;基于测量待测样品的反射率光谱并获取其对应的色空间坐标,并依据所述对应关系得到待测样品的光学薄膜厚度。

2.如权利要求1中所述基于反射率光谱测量光学薄膜厚度的方法,其特征在于:所述色空间坐标为CIELAB色空间坐标。

3.如权利要求2中所述基于反射率光谱测量光学薄膜厚度的方法,其特征在于:所述色空间坐标为(a*,b*)。

4.如权利要求1中所述基于反射率光谱测量光学薄膜厚度的方法,其特征在于:进一步包括:基于所述对应关系,建立数据库,所述数据库包括多组一一对应的光学薄膜厚度与光学薄膜反射率光谱的色空间坐标数据。

5.如权利要求1中所述基于反射率光谱测量光学薄膜厚度的方法,其特征在于:所述基于反射率光谱测量光学薄膜厚度的方法进一步包括:基于所述对应关系,获得光学薄膜厚度与光学薄膜反射率光谱的色空间坐标之间的函数关系式。

6.如权利要求1-5中任一项所述基于反射率光谱测量光学薄膜厚度的方法,其特征在于:所述标准样品和待测样品包括一基板和一覆盖在基板表面的光学薄膜,标准样品和待测样品的反射率光谱的测量为:向标准样品和待测样品覆盖有光学薄膜的基板表面提供一入射光,并接收该入射光经光学薄膜的反射后所形成的反射光,进而得到标准样品和待测样品的反射率光谱的色空间坐标。

7.一种基于反射率光谱测量光学薄膜厚度的系统,其特征在于:包括测量模块和处理模块;所述测量模块用于测量标准样品和待测样品的反射率光谱并获取其对应的色空间坐标;所述处理模块用于获得多组标准样品中光学薄膜厚度与光学薄膜反射率光谱的色空间坐标之间的对应关系,以及基于测量待测样品的反射率光谱并获取其对应的色空间坐标,并依据所述对应关系得到待测样品的光学薄膜厚度。

8.如权利要求7中所述基于反射率光谱测量光学薄膜厚度的方法,其特征在于:所述处理模块进一步包括数据库单元,所述数据库单元包括多组一一对应的光学薄膜厚度与光学薄膜反射率光谱的色空间坐标数据。

9.如权利要求7中所述基于反射率光谱测量光学薄膜厚度的方法,其特征在于:所述处理模块进一步包括计算单元,所述计算单元包括光学薄膜厚度与光学薄膜反射率光谱的色空间坐标之间的函数关系式。

10.如权利要求7-9中任一项所述基于反射率光谱测量光学薄膜厚度的方法,其特征在于:所述测量模块包括用于测量标准样品和待测样品的反射率光谱的光纤光谱仪;所述光纤光谱仪包括光纤探头,所述光纤探头呈同轴式排布方式。

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