一种石英一体式谐振加速度计的制作方法

文档序号:12454476阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种石英一体式谐振加速度计,包括外围的支撑框架(1),其特征在于:支撑框架(1)通过第一柔性铰链(5)和第三柔性铰链(7)分别与第一柔性杠杆放大机构(3)和第二柔性杠杆放大机构(4)的一端相连,第一柔性杠杆放大机构(3)和第二柔性杠杆放大机构(4)的另一端分别通过第二柔性铰链(6)、第四柔性铰链(8)和质量块(2)连接,第一柔性杠杆放大机构(3)和第二柔性杠杆放大机构(4)位于加速度计的敏感方向SA上,第一柔性杠杆放大机构(3)和第二柔性杠杆放大机构(4)靠近支撑框架(1)边框的一端分别和第一石英振梁(9)和第二石英振梁(10)的一端连接,第一石英振梁(9)和第二石英振梁(10)的另一端和支撑框架(1)连接,第一石英振梁(9)和第二石英振梁(10)上表面布有电极,第一石英振梁(9)和第二石英振梁(10)分别位于完全贯通的第一空槽(11)和第二空槽(12)内,第一空槽(11)和第二空槽(12)分别位于支撑框架(1)的一组对角上,石英一体式谐振加速度计成中心对称。

2.根据权利要求1所述的一种石英一体式谐振加速度计,其特征在于:所述的支撑框架(1)为正方形,边长为7000微米,上下边框宽度为450微米,左右边框的宽度为900微米。

3.根据权利要求1所述的一种石英一体式谐振加速度计,其特征在于:所述的质量块(2)为正方形,边长为5000微米,质量块(2)与支撑框架(1)、第一柔性杠杆放大机构(3)和第二柔性杠杆放大机(4)之间存在间隙,间隙为100微米,当有加速度作用时,质量块(2)在惯性力的作用下要产生一定位移,第一石英振梁(9)和第二石英振梁(10)发生微弱的变形,这种变形导致这对石英振梁一个受拉,一个受压,构成差动形式。

4.根据权利要求1所述的一种石英一体式谐振加速度计,其特征在于:所述的第一柔性杠杆放大机构(3)和第二柔性杠杆放大机构(4)的宽度为350微米,长度为5500微米,厚度为360微米,力放大倍数为15-20。

5.根据权利要求1所述的一种石英一体式谐振加速度计,其特征在于:所述的第一柔性铰链(5)、第二柔性铰链(6)、第三柔性铰链(7)和第四柔性铰链(8)长度为200微米,宽度为50微米,厚度为360微米,整体形状呈平板状,在Z轴方向不容易发生变形。

6.根据权利要求1所述的一种石英一体式谐振加速度计,其特征在于:所述的第一石英振梁(9)和第二石英振梁(10)宽度为80微米,厚度为40微米,长度为2000微米,第一石英振梁(9)和第二石英振梁(10)通过干法刻蚀工艺加工获得,第一石英振梁(9)和第二石英振梁(10)的振动模态相同,频率相同。

7.根据权利要求1所述的一种石英一体式谐振加速度计,其特征在于:所述的第一空槽(11)和第二空槽(12)的宽度为300微米以上。

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