三维轮廓测量仪的制作方法

文档序号:12530259阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种三维轮廓测量仪,包括测量仪本体(3),设置测量仪本体(3)上的用于安置待测物体的载物台(2)和可获取待测物体三维轮廓的同轴光学模组(1),所述同轴光学模组(1)位于载物台(2)的正上方;其特征在于:所述同轴光学模组(1)的光轴方向垂直于所述载物台(2)的载物平面;同轴光学模组(1)包括从上向下依次设置的光源(11)、透镜(12)、液晶光栅(13)、第一远心光路透镜组(14)、第一光阑(15)、与所述光轴方向呈一定夹角的分光镜(16)及第二远心光路透镜组(17),在垂直于所述光轴方向的一侧由近到远依次设有第二光阑(18)、第三远心光路透镜组(19)及工业相机(10)。

2.根据权利要求1所述的三维轮廓测量仪,其特征在于:所述分光镜(16)平面与光轴方向的夹角为45°。

3.根据权利要求1所述的三维轮廓测量仪,其特征在于:所述光源(11)为LED白色光源。

4.根据权利要求1所述的三维轮廓测量仪,其特征在于:所述载物台(2)为可分别调整待测物体在X轴、Y轴及Z轴方向位置的X-Y-Z三轴运动载物平台。

5.根据权利要求4所述的三维轮廓测量仪,其特征在于:所述X-Y-Z三轴运动载物台包括:X轴平台(22)以及驱动所述X轴平台运动的第一动力装置(221);Y轴平台(23)以及驱动所述Y轴平台运动的第二动力装置(231);Z轴平台(24)以及驱动所述Z轴平台运动的第三动力装置(241);X轴平台(22)与第一动力装置共同设置于Y轴平台(23)上,Y轴平台及第二动力装置共同设置Z轴平台上,Z轴平台(24)通过一固定板(21)安装于测量仪本体(3)上,并使得所述同轴光学模组的垂直光轴与X轴平台(22)载物平面垂直;Z轴平台与固定板(21)之间通过滑轨与滑块的配合滑动连接。

6.根据权利要求1所述的三维轮廓测量仪,其特征在于:所述测量仪本体(3)的底部设有底座(4)。

7.根据权利要求1所述的三维轮廓测量仪,其特征在于:还包括一连接所述同轴光学模组(1)的控制计算处理器(5)。

8.根据权利要求7所述的三维轮廓测量仪,其特征在于:所述控制计算处理器(5)连接显示设备。

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