一种mems压力传感器的制造方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种MEMS压力传感器，包括壳体、MEMS压力传感元件、控制器，所述壳体呈长方体形，且壳体内形成一容置腔，该容置腔的底部安装有MEMS压力传感元件和控制器，MEMS压力传感元件和控制器相互电连接，所述壳体的六个内壁上都设有至少一个通气孔，所述各通气孔的两端口均呈喇叭口状。本实用新型结构简单，采用MEMS压力传感元件能极大地提升压力传感器的测量精度。通过在壳体上开设多个通气孔，有效实现MEMS压力传感器内外部气流的及时流通，确保压力传感器的性能。另外，喇叭口的通气孔具有导流作用，能促进空气的对流。
【专利说明】
一种MEMS压力传感器
技术领域
[0001]本实用结构改进的涉及一种检测装置，特别是指一种用于检测压力的传感器。【背景技术】
[0002]传感器(英文名称:transducer/sensor)是一种检测装置，能感受到被监测的信息，并能将感受到的信息，按一定规律变换成为电信号或其他所需形式的信息输出，以满足信息的传输、处理、存储、显示、记录和控制等要求。
[0003]传感器的特点包括:微型化、数字化、智能化、多功能化、系统化、网络化。它是实现自动检测和自动控制的首要环节。传感器的存在和发展，让物体有了触觉、味觉和嗅觉等感官，让物体慢慢变得活了起来。通常根据其基本感知功能分为热敏元件、光敏元件、气敏元件、力敏元件、磁敏元件、湿敏元件、声敏元件、放射线敏感元件、色敏元件和味敏元件等十大类。
[0004]随着科学技术日新月异的飞速发展，智能化的便携式电子设备逐渐流行起来，例如智能手机、智能手环、智能手边、平板电脑等。用户在不断追求便携式电子设备智能化的同时，更加注重的是需要便携式电子设备具有丰富多彩的用户体验感受。目前越来越多的厂商将压力传感器置于便携式电子设备中，而通常测试压力的传感器为应力传感器，但是应力传感器的测量精度低。现有技术中提供的MEMS压力传感器以提高测量精度，然而，现有的MEMS压力传感器的散热性能不佳，无法实现实时内外部透气，影响传感器的性能。【实用新型内容】
[0005]本实用新型的目的是提供一种结构简单，散热性能良好的MEMS压力传感器。
[0006]本实用结构的技术方案如下:
[0007]一种MEMS压力传感器，包括壳体、MEMS压力传感元件、控制器，所述壳体呈长方体形，且壳体内形成一容置腔，该容置腔的底部安装有MEMS压力传感元件和控制器，MEMS压力传感元件和控制器相互电连接，所述壳体的六个内壁上都设有至少一个通气孔，所述各通气孔的两端口均呈喇叭口状。
[0008]进一步的，所述壳体的四个侧壁上均设有两个通气孔;所述壳体的顶壁和底板设有一个通气孔，且两相对内壁上的通气孔两两正对。
[0009]由上述对本实用结构改进的的描述可知，和现有技术相比，本实用新型具有如下优点:本实用新型结构简单，采用MEMS压力传感元件能极大地提升压力传感器的测量精度。 通过在壳体上开设多个通气孔，有效实现MEMS压力传感器内外部气流的及时流通，确保压力传感器的性能。另外，喇叭口的通气孔具有导流作用，能促进空气的对流。【附图说明】
[0010]图1为本实用新型的剖面结构示意图。【具体实施方式】
[0011]下面参照【附图说明】本实用结构改进的的【具体实施方式】。[0012 ] 参照图1，一种MEMS压力传感器，包括壳体1、MEMS压力传感元件2、控制器3，所述壳体1呈长方体形，且壳体1内形成一容置腔4,该容置腔4的底部安装有MEMS压力传感元件2和控制器3，MEMS压力传感元件2和控制器3相互电连接，所述壳体1的六个内壁上都设有通气孔5,所述各通气孔5的两端口均呈喇叭口状。从图中可看出，所述壳体1的四个侧壁11上均设有两个通气孔5;所述壳体1的顶壁12和底板13各设有一个通气孔5,且两相对内壁上的通气孔5两两正对，这样有助于空气的对流。[〇〇13]本实用新型结构简单，采用MEMS压力传感元件2能极大地提升压力传感器的测量精度。通过在壳体1上开设多个通气孔5,有效实现MEMS压力传感器内外部气流的及时流通， 确保压力传感器的性能。另外，喇叭口的通气孔5具有导流作用，能促进空气的对流。
[0014]上述仅为本实用结构改进的的【具体实施方式】，但本实用结构改进的的设计构思并不局限于此，凡利用此构思对本实用结构改进的进行非实质性的改动，均属于侵犯本实用结构改进的保护范围的行为。
【主权项】
1.一种MEMS压力传感器，包括壳体、MEMS压力传感元件、控制器，其特征在于:所述壳体 呈长方体形，且壳体内形成一容置腔，该容置腔的底部安装有MEMS压力传感元件和控制器， MEMS压力传感元件和控制器相互电连接，所述壳体的六个内壁上都设有至少一个通气孔， 所述各通气孔的两端口均呈喇叭口状。2.根据权利要求1所述的一种MEMS压力传感器，其特征在于:所述壳体的四个侧壁上均 设有两个通气孔;所述壳体的顶壁和底板设有一个通气孔，且两相对内壁上的通气孔两两 正对。
【文档编号】G01L19/14GK205719398SQ201620638127
【公开日】2016年11月23日
【申请日】2016年6月24日
【发明人】郑立新, 郑正非, 郑立军
【申请人】新昌县科畅科技咨询有限公司