一种新型压力传感器的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及传感器领域，尤其涉及一种性能优良的压力传感器。
【背景技术】
[0002]基于微机电系统技术的压力传感器，包括基板，固定于所述基板的外壳，所述基板与所述外壳构成所述压力传感器外部封装结构。所述外部封装结构内、所述基板上固定设置集成电路芯片，压力传感器芯片与集成电路芯片通过金属引线打线的方式电连接，基板上设置有焊盘，基板焊盘将压力传感器内部芯片与外部电子电路电连接，同时，压力传感器通过焊盘固定于外部主板上。传统结构的压力传感器，难以牢靠的固定在峭壁和陡峭的支架上，压力传感器的移动将导致压力传感器产生误差。
[0003]因此有必要提出一种改进，以克服传统结构压力传感器缺陷。
【发明内容】
[0004]本实用新型所要解决的技术问题是提供一种性能优良的压力传感器。
[0005]为了实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案:
[0006]一种压力传感器，包括外部封装结构，设置于所述外部封装结构外的压力传感器芯片，设置于所述外部结构内的集成电路芯片以及凹槽，所述凹槽承接压力传感器芯片。所述外部封装结构包括基板，并且:所述压力传感器还包含螺孔，所述螺孔设置于所述外部结构内凸台的底部，所述凸台设置于基板的底部。
[0007]作为一种优选的技术方案，所述外部封装结构还包括外壳，所述外壳与所述基板固定设置，所述外壳与所述基板配合将所述集成电路芯片与外部隔离。
[0008]作为一种优选的技术方案，所述外部封装结构还包括框架及顶板，所述框架与所述基板固定设置，所述顶板设置于所述框架远离所述基板一端;所述基板、框架及顶板配合将所述集成电路芯片与外部隔离。
[0009]本实用新型压力传感器，外部封装结构内设置有凸台，凸台下并设有螺孔，压力传感器芯片设置于凹槽上部，在压力传感器装配、使用过程中，外部应力直接作用在压力传感器芯片上，压力传感器芯片将力传递给凹槽，凹槽进一步将力传递到基板的凸台上，在基板底部设置有螺孔，可以将其牢靠的固定在支点处不发生转动。因此，本实用新型压力传感器具有性能优良的优点。
【附图说明】
[0010]图1为本实用新型压力传感器剖视图；图2为图1所示压力传感器内部结构俯视透视图。
【具体实施方式】
[0011]下面结合附图，详细说明本实用新型压力传感器具体结构。
[0012]如图1和图2所示，本实施例压力传感器，包括基板I，与基板I固定设置的外壳6，基板I与外壳6以及压力传感器芯片4构成压力传感器外部封装结构。集成电路芯片2设置于压力传感器外部结构内，压力传感器芯片4和集成电路芯片2之间通过金属引线3通过打线的方式电连接，基板I上设置有焊盘，焊盘将压力传感器内部芯片与外部电子电路电连接。为了保证多功能传感器正常工作，在基板底部设有螺孔使其牢靠的固定在支点上。外部应力直接作用在压力传感器芯片上，压力传感器芯片将力传递给凹槽，凹槽进一步将力传递到基板的凸台上，在基板底部设置有螺孔，可以将其牢靠的固定在支点处不发生转动。
[0013]如图1和图2所示，本实施例压力传感器还包括凹槽5，凹槽5设置于封装结构内，压力传感器芯片4固定于凹槽上部。压力传感器芯片4通过凹槽固定于基板I上，在压力传感器装配、工作过程中，外部应力传递至压力传感器芯片4，后由凹槽5直接传递到凸台7进一步传递到基板上，避免了基板的受力对压力传感器芯片的影响而导致压力传感器数据误差，提高压力传感器精度，使压力传感器性能稳定，保证本实用新型压力传感器性能良好。
[0014]作为一种优化的技术方案，如图1所示，基板I底部设有7凸台，凸台既能够承担凹槽5传递下来的力，而且在凸台7中并设有螺孔8，使其牢靠的固定在支点上，这样既充分利用了压力传感器的空间，有利于产品的小型化设计，又能使其牢靠的固定在支点上，使压力传感器的稳定性更稳定，检测结果更加准确。
【主权项】
1.一种新型压力传感器，包括外部封装结构，设置于所述结构外的压力传感器芯片位于凹槽上部，所述外部封装结构包括基板，其特征在于:所述压力传感器基板底部包含一个承接上部压力的凸台，凸台下部还包含一个螺孔，方便在峭壁处安装。2.根据权利要求1要求所述的一种新型压力传感器，其特征在于:所述基板对应所述凸台上部设置有凹槽，所述凹槽设置于所述压力传感器芯片下面，避免了基板受力对压力传感器芯片的影响。
【专利摘要】本实用新型公开了一种压力传感器，包括外部封闭结构，在压力传感器芯片处的外部结构设置成弧形，方便于检测流动物体的压力，外界压力直接作用在压力传感器芯片上，芯片下设有凹槽，避免基板受力对压力传感器的影响，压力传感器采集外部外部压力变化并转化为电信号，装在基板上的集成电路芯片将压力传感器芯片采集的信号进行初步处理并经所述焊盘传递至外部电子电路。在压力传感器的基板上设有凸台，能够承担凹槽传递下来的压力，并设有螺孔，可用螺丝直接固定在峭壁或者较难固定的位置，提高的压力传感器的稳定性。因此，本实用新型压力传感器具有良好性能的优点。
【IPC分类】G01L19/00, G01L1/00
【公开号】CN205209659
【申请号】CN201520976029
【发明人】秦哲, 王国珍, 朱少瑞
【申请人】山东科技大学
【公开日】2016年5月4日
【申请日】2015年12月1日