一种基于介孔石墨烯场效应晶体管生物传感器的制作方法

文档序号:11051897阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种基于介孔石墨烯场效应晶体管生物传感器,其特征在于,包括基底层,设于所述基底层上的介孔石墨烯层,所述介孔石墨烯层上间隔设有一组源、漏电极,所述一组源、漏电极之间的介孔石墨烯层上设有生物识别层,所述生物识别层的上方设有参比电极,所述一组源、漏电极和所述生物识别层之间形成一用于导电的导电沟道,所述参比电极与所述导电沟道内的被测样品溶液插入式连接。

2.根据权利要求1所述的一种基于介孔石墨烯场效应晶体管生物传感器,其特征在于,所述基底层为Si/SiO2基底层。

3.根据权利要求1所述的一种基于介孔石墨烯场效应晶体管生物传感器,其特征在于,所述介孔石墨烯层上设有多个均匀间隔排列的介孔。

4.根据权利要求1所述的一种基于介孔石墨烯场效应晶体管生物传感器,其特征在于,所述一组源、漏电极为5-10nmCr和30-50nmAu构成。

5.根据权利要求1所述的一种基于介孔石墨烯场效应晶体管生物传感器,其特征在于,所述导电沟道长为10-20μm,宽为20-30μm。

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