一种扫描电镜用平面样品制样装置的制作方法

本实用新型涉及一种理化试验装置，尤其是是一种用于制备扫描电镜用的平面样品的装置，具体的说是一种扫描电镜用平面样品制样装置。

背景技术：

根据现行国家标准方法，在利用扫描电镜进行长度测量时，要求标准样品和被测样品必须同时且同高度的安装在扫描电镜的样品台上。当被测量面在长度方向保持水平时，可忽略其倾斜引起的不确定度，因此，应尽量使标准样品和被测样品的长度方向接近平行且等高。目前，常用的方法是先后将标准样品和被测样品分别放置于金相显微镜下进行调节，使两者平行且等高。但是，这种方法操作复杂，步骤繁琐，严重影响测试效率。因此，急需设计一种操作简单，能够快捷的调节标准样品和被测样品的工作面等高且水平的装置，满足测试工作的需要。

技术实现要素：

本实用新型的目的是针对现有技术的不足，提供一种扫描电镜用平面样品制样装置，能够快速而准确的制备样品，提高了效率和样品质量，确保扫描电镜检测的顺利进行。

本实用新型的技术方案是：

一种扫描电镜用平面样品制样装置，包括底座，所述底座上设有样品台；该样品台上设有两个相同的样品座；每个样品座包括均为矩形且相互分离的底板和面板；所述底板通过立杆与所述样品台相连；所述面板的四角分别设有与底板相连的弹簧；所述底板上设有四根正对所述面板四边中点处的顶杆，该顶杆能够上下移动而顶推面板的边缘部上下移动；所述底座上设有能够移动的测距装置，能够分别测量放置于两个样品座上的试样的距离。

进一步的，所述样品台底面上设有连接头，该连接头上设有开口向下的燕尾槽；所述底座上设有立柱，该立柱的上端设有与所述连接头相配合的燕尾头，使所述连接头能够活动的与所述立柱相契合，进而使所述样品台安装到所述底座上。

进一步的，所述顶杆为直杆状，下部设有螺纹，所述底板上设有与所述顶杆对应的通孔；该通孔的下方设有与所述底板固定连接的螺母，使所述顶杆能够穿过所述通孔并与所述螺母相旋接。

进一步的，所述顶杆的下端设有手轮，方便旋转所述顶杆；所述顶杆的上端为半球形，并在所述面板的底面上设有球形凹槽，使所述顶杆上端能够稳妥的放置于该凹槽内。

进一步的，所述底座上设有正跨在所述样品座上方的门形框架，该框架顶部的横梁上设有滑轨；所述测距装置安装在该滑轨上，并能够沿该滑轨移动。

进一步的，所述测距装置为三台激光测距仪，能够同时测量三个位置的距离。

进一步的，所述立杆的下端通过锥形齿轮与所述样品台相连接，使所述样品座能够沿中轴转动。

本实用新型的有益效果：

本实用新型设计合理，结构紧凑，使用方便，能够通过简单的操作即可快速而准确的将被测样品和标准样品调整至相同的水平高度，极大的提高了效率和样品质量，确保扫描电镜检测的顺利进行。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图。

其中：1-底座；2-框架；3-滑轨；4-弹簧；5-顶杆；6-螺母；7-手轮；8-样品台；9-连接头；10-立柱；11-测距装置；12-面板；13-底板；14-立杆。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步的说明。

如图1所示。

一种扫描电镜用平面样品制样装置，包括底座1和样品台8。该样品台8为平板状，底面上设有连接头9，且该连接头9上设有开口向下的燕尾槽。所述底座1上设有立柱10，且该立柱10的上端设有与所述连接头9相配合的燕尾头，使所述连接头9能够活动的与所述立柱10相契合，进而使所述样品台8安装到所述底座1上。

所述样品台8上设有两个相同的样品座。每个样品座包括均为矩形且相互分离的底板13和面板12。所述底板13通过立杆14与所述样品台8相连，且该立杆14的下端通过一组锥形齿轮与所述样品台8相连接，使所述样品座能够沿中轴转动，便于调整试样的位置。所述底板13上设有四根正对所述面板12四边中点处的顶杆5。该顶杆5为直杆状，下部设有螺纹。同时，所述底板13上设有与所述顶杆5对应的通孔，并在该通孔的下方设有与所述底板13固定连接的螺母6，使所述顶杆5能够穿过所述通孔并与所述螺母6相旋接。当旋转顶杆5时，可以使所述顶杆5沿螺母6上下移动，进而顶推与该顶杆5接触的所述面板12的边缘部上下移动。优选的，所述顶杆5的下端设有手轮7，方便旋转所述顶杆5。所述顶杆5的上端为半球形，并在所述面板12的底面上设有球形凹槽，使所述顶杆5上端能够稳妥的放置于该凹槽内。所述面板12的四角分别设有与底板13相连的弹簧4，可以确保面板12受所述弹簧4的拉力作用而与所述顶杆5稳定接触，避免滑移。所述面板12的形状也可以是圆形或椭圆形，并使顶杆5和弹簧4均匀布置。

所述底座1上设有正跨在所述两个样品座上方的门形框架2。该框架2的顶部横梁上设有滑轨3。该滑轨3通过设于其两端的螺杆与所述横梁连接，并可以通过调节螺杆而使该滑轨3处于水平状态。所述滑轨3上安装有测距装置11，并能够沿该滑轨3移动。所述测距装置11为三台激光测距仪，能够同时测量三个位置的距离。

本实用新型的使用步骤为：

1. 将标准试样和被测试样分别放置于两个样品座上，并通过目测等方式大致调节到两个试样的上表面基本处于相同的高度。

2. 将测距装置移动至标准试样的正上方，将三台激光测距仪分别对准试样表面三个非共线的测试点。根据测距数值，旋转样品座并调节不同顶杆，使样品座面板的高度得到调节，直至三台激光测距仪的测距结果一致，确保该标准试样的表面水平。

3. 将测距装置移动至被测试样的正上方，重复与步骤2相同的操作方法，并使其所测数值与步骤2所测数值一致，从而确保了该被测试样的上表面与标准试样的表面处于同一个水平面。

4. 将样品台从底座上取下，放入扫描电镜中进行检测。

本实用新型未涉及部分均与现有技术相同或可采用现有技术加以实现。