技术总结
提供三维测量装置，当利用相移法进行三维测量时，能够显著地提高测量精度。基板检查装置(1)包括：照明装置(4)，从斜上方向印刷基板(2)的表面投影预定的条纹图案；相机(5)，拍摄印刷基板(2)上的投影了条纹图案的部分；以及控制装置(6)，实施基板检查装置(1)内的各种控制和图像处理、运算处理。并且，将光栅板(4b)移动到预定位置，使其暂时停止，并且在包含该光栅板(4b)的停止期间和该停止期间开始前的光栅板(4b)的移动期间的一部分的预定期间分多次拍摄投影到印刷基板(2)的条纹图案，针对各像素将该拍摄的一连串的图像数据的各像素的亮度值相加，算出其平均值。
技术研发人员：梅村信行;大山刚;坂井田宪彦;奥田学
受保护的技术使用者：CKD株式会社
技术研发日：2016.06.01
技术公布日：2018.06.08