技术特征：
技术总结
本发明涉及一种用于强磁场测量的梳齿状微传感器。包括依次连接的基底、传感器本体和封盖，其中传感器本体分为主体、一对测量电极体和一对驱动电极体三部分，一对测量电极体位于主体X方向的两侧，一对驱动电极体在主体Y方向两侧，且分别与主体对称呈齿状交错配合结构，最后基底、传感器本体和封盖通过键合形成内部真空的梳齿状微传感器。本发明实现了托卡马克的强磁环境下的竖直z方向的磁场大小的测量，通入交流信号的金属线圈在磁场下受到洛伦兹力作用，带动主体有往受力方向运动的趋势，再是驱动电极体上的梳齿上产生的静电力的复合作用下，使主体以某一频率机械振动，引起电容变化，进而推算出所测量的磁场大小。
技术研发人员：许高斌;王月媖;陈兴;马渊明;李坤
受保护的技术使用者：合肥工业大学
技术研发日：2017.06.02
技术公布日：2017.10.24