一种基于条纹图像频谱分析的干涉测量方法与流程

文档序号:14193519阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明公开了一种基于条纹图像频谱分析的干涉测量方法。该方法首先获取待测元件经干涉仪生成的单幅加载频干涉条纹图像,然后对条纹图像进行延拓及边缘平滑处理,再对延拓条纹图像进行快速傅里叶变换(FFT)以获取其频谱。针对该频谱运用二维插值FFT算法估计频谱旁瓣峰值位置,并根据估计结果去除图像载频。最后通过计算得出待测波面的相位信息,实现待测光学元件的面形估计。本发明的方法基于经改进的条纹图像延拓方法与条纹载频估计方法进行条纹图像分析处理,具有更高的干涉测量精度。

技术研发人员:赵兆;阚凌志
受保护的技术使用者:南京理工大学
技术研发日:2017.10.24
技术公布日:2018.04.17
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