一种测量复杂绝缘结构表面电位的静电探头控制机构及方法与流程

文档序号:14784764发布日期:2018-06-27 22:02阅读:来源:国知局
技术总结
本发明公开一种测量复杂绝缘结构表面电位的静电探头控制机构及方法,包括被测盆子装配、绝缘连接杆、传动组件、驱动组件、电连接部分、静电探头运动测量机构,所属驱动组件具有旋转轴,旋转轴与所述传动组件连接。所述绝缘连接杆的一端用于与所述被测盆子装配连接,另一端通过传动组件所述与旋转轴连接,从而带动所述被测盆子装配旋转。所述静电探头运动测量机构能够在水平方向、垂直方向平移运动以及在垂直平面内旋转。所述被测盆子装配的旋转配合所述静电探头运动测量机构的运动从而实现对所述被测盆子装配的全覆盖测量。所述被测盆子装配以及所述静电探头运动测量机构均有外部控制机构对其运动进行控制。

技术研发人员:潘成;唐炬;罗毅;张晓星;曾福平;肖淞
受保护的技术使用者:武汉大学
技术研发日:2017.12.29
技术公布日:2018.06.26

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