1.一种空气静压主轴的径向刚度测量装置,其特征在于,所述的径向刚度测量装置包括支架(1)、力加载装置B(2)、力传感器B(3)、空气静压主轴(4)、力加载装置A(5)、力传感器A(6)、位移传感器A(7)、位移传感器C(8)、位移传感器B(9);
其连接关系是:所述的支架(1)放置在隔振地基上;空气静压主轴(4)竖直固定在支架(1)上,空气静压主轴(4)的空气静压主轴转子悬浮在空气静压主轴外壳中,空气静压主轴转子和空气静压主轴外壳之间的缝隙为压缩空气形成的空气静压主轴气膜,空气静压主轴外壳的底部固定在支架(1)上;所述的力传感器B(3)固定在水平放置的力加载装置B(2)的前端,力加载装置B(2)的后端固定在支架(1)上,力传感器B(3)和力加载装置B(2)固定安装在空气静压主轴(4)的下部,空气静压主轴(4)的上部对应安装结构相同的力传感器A(6)和力加载装置A(5);所述的支架(1)上安装有位移传感器A(7)、位移传感器C(8)和位移传感器B(9),位移传感器A(7)用于测量空气静压主轴气膜的径向间隙变化量△HA,位移传感器B(9)用于测量空气静压主轴气膜的径向间隙变化量△HB,位移传感器C(8)用于测量空气静压主轴(4)的变形量△HC。
2.根据权利要求1所述的一种空气静压主轴的径向刚度测量装置,其特征在于:所述的位移传感器A(7)、位移传感器C(8)和位移传感器B(9)的位移敏感方向为水平方向,分辨率为0.1μm。
3.根据权利要求1所述的一种空气静压主轴的径向刚度测量装置,其特征在于:所述的力加载装置B(2)和力加载装置A(5)的中心线与水平方向的偏角小于等于0.5°。
4.根据权利要求1所述的一种空气静压主轴的径向刚度测量装置,其特征在于:所述的力传感器B(3)和力传感器A(6)的力敏感方向为水平方向,分辨率小于等于1N。