非制冷红外焦平面阵列低噪声选通电路的制作方法

技术特征：

1.一种非制冷红外焦平面阵列低噪声选通电路，该电路包括三个部分：复用接触孔、复用接触孔的微测辐射热计单元、微测辐射热计单元两端的开关；微测辐射热计阵列中相邻行单元复用同一个接触孔，相邻两个接触孔，一个通过开关连接至读出电路ROIC，另一个通过开关连接至参考电平VCOM；本电路中连接至复用接触孔的开关可以通过时序控制，微测辐射热计单元的信号流向固定。

2.根据权利要求1所述的一种非制冷红外焦平面阵列低噪声选通电路，其特征是：相邻的微测辐射热计单元复用接触孔，通过闭合微测辐射热计单元两端的开关，在微测辐射热计单元上形成从读出电路ROIC到参考电平VCOM的信号通路。

3.根据权利要求1所述的一种非制冷红外焦平面阵列低噪声选通电路，其特征是：对于某一行微测辐射热计单元，其信号通路的方向可以通过闭合该微测辐射热计单元的复用接触孔连接至读出电路ROIC的开关和闭合该微测辐射热计单元的复用接触孔连接至参考电平VCOM的开关，使得该微测辐射热计单元上的信号流向为：从该微测辐射热计单元连接至读出电路ROIC的复用接触孔端流向该微测辐射热计单元连接至参考电平VCOM的复用接触孔端。

4.根据权利要求1所述的一种非制冷红外焦平面阵列低噪声选通电路，其特征是：从阵列中首行的微测辐射热计单元往阵列中末行的微测辐射热计单元方向读出和从阵列中末行的微测辐射热计单元往阵列中首行的微测辐射热计单元读出均能实现。

5.根据权利要求1所述的一种非制冷红外焦平面阵列低噪声选通电路，其特征是：复用接触孔端的开关可以通过时序控制，将没有被选通的微测辐射热计单元的悬空端，或短路至读出电路ROIC，或短路至参考电平VCOM，可有效减轻容性负载和寄生电容引起的微测辐射热计阵列性能下降。