一种电极覆盖多孔氧化铝的氮氧传感器的制作方法

文档序号:13699764阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种电极覆盖多孔氧化铝的氮氧传感器,其特征在于:包括有氧化锆基体(1),氧化锆基体(1)包括有从上至下依次层叠布置的第一氧化锆陶瓷层(11)、第二氧化锆陶瓷层(12)、第三氧化锆陶瓷层(13)、第四氧化锆陶瓷层(14)、第五氧化锆陶瓷层(15),氧化锆基体(1)的内部于第一氧化锆陶瓷层(11)与第三氧化锆陶瓷层(13)之间设置有进气口(21)、第一腔室(22)、第二腔室(23),进气口(21)与第一腔室(22)之间设置有第一扩散障(31),第一腔室(22)与第二腔室(23)之间设置有第二扩散障(32);

第一腔室(22)内设置有氧泵,氧泵包括有设置于第一氧化锆陶瓷层(11)下表面且伸入至第一腔室(22)内的主泵电极(41)、设置于第一氧化锆陶瓷层(11)上表面的公共电极(42),主泵电极(41)由铂、金混合浆料印刷于第一氧化锆陶瓷层(11)下表面而形成;

第二腔室(23)内设置有测量泵,测量泵包括有设置于第三氧化锆陶瓷层(13)上表面且伸入至第二腔室(23)内的测量电极(43),测量电极(43)由铂、铑混合浆料印刷于第三氧化锆陶瓷层(13)上表面而形成,测量电极(43)的表面覆盖有经高温烧结而形成的多孔氧化铝层(5);第三氧化锆陶瓷层(13)的下表面设置有参考电极(44)。

2.根据权利要求1所述的一种电极覆盖多孔氧化铝的氮氧传感器,其特征在于:所述第一氧化锆陶瓷层(11)的下表面设置有伸入至所述第二腔室(23)内的辅泵电极(45),辅泵电极(45)由铂、金混合浆料印刷于第一氧化锆陶瓷层(11)下表面而形成。

3.根据权利要求1所述的一种电极覆盖多孔氧化铝的氮氧传感器,其特征在于:所述第四氧化锆陶瓷层(14)与所述第五氧化锆陶瓷层(15)之间设置有加热器(6)。

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