一种电极覆盖多孔氧化铝的氮氧传感器的制作方法

文档序号:13699764阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型公开了一种电极覆盖多孔氧化铝的氮氧传感器,其氧化锆基体包括从上至下依次层叠布置的第一、二、三、四五氧化锆陶瓷层,氧化锆基体内部于第一、三氧化锆陶瓷层之间设置进气口、第一腔室、第二腔室,进气口与第一腔室之间、第一腔室与第二腔室之间分别设置第二扩散障;第一腔室内设置氧泵,氧泵包括主泵电极、公共电极;第二腔室内设置测量泵,测量泵包括测量电极,测量电极的表面覆盖有经高温烧结而形成的多孔氧化铝层;第三氧化锆陶瓷层的下表面设置有参考电极。通过上述结构设计,本实用新型具有结构设计新颖、测量精度高的优点,且能够有效地避免铂污染并保证测量精度。

技术研发人员:廖瑞楷
受保护的技术使用者:深圳安培龙科技股份有限公司
文档号码:201720909587
技术研发日:2017.07.26
技术公布日:2018.02.13

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