基板放置架的制作方法

文档序号:14211243阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型公开了一种基板放置架,其为由两个侧板和上、下底板连接组成的框架结构,两个所述侧板相对设置,且所述侧板内侧对称设置有多个用于放置基板的限位杆,所述限位杆和所述上底板之间设置有监测装置,所述监测装置用于监测并显示所述基板和用于取放所述基板的叉片的形变量。相对于现有技术,基于本实用新型实施例的基板放置架可实现对基板和叉片形变量的实时监测和显示。

技术研发人员:郝彬彬
受保护的技术使用者:昆山龙腾光电有限公司
文档号码:201720979412
技术研发日:2017.08.07
技术公布日:2018.04.17

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