一种高度测量装置的制作方法

文档序号:14409060阅读:来源:国知局
一种高度测量装置的制作方法

技术特征:

1.一种高度测量装置,用于测量平板装置(100)表面的凸起物(101)的高度,其特征在于,包括:

压力测量组件(1),包括压力传感器(11)以及与所述压力传感器(11)连接的测量探针(12),所述测量探针(12)垂直于所述平板装置(100)且其底端抵靠于所述平板装置(100)表处的非凸起处,所述测量探针(12)能够相对于所述平板装置(100)平动至其底端抵靠于所述凸起物(101)上,所述压力传感器(11)能够检测所述测量探针(12)在所述非凸起处和所述凸起物(101)处所受的压力数值;以及

高度转换模块(2),与所述压力传感器(11)电连接,所述高度转换模块(2)能够根据所述压力传感器(11)检测到的所述压力数值得出所述凸起物(101)的高度数值。

2.根据权利要求1所述的高度测量装置,其特征在于,还包括测量臂(3),所述测量臂(3)位于所述平板装置(100)上方,平行于所述平板装置(100)设置,并且与所述平板装置(100)间距一定,所述压力测量组件(1)安装于所述测量臂(3)上。

3.根据权利要求2所述的高度测量装置,其特征在于,所述凸起物(101)为细长结构,所述测量臂(3)垂直于所述凸起物(101)设置,所述压力测量组件(1)能够沿所述测量臂(3)的长度方向滑动。

4.根据权利要求3所述的高度测量装置,其特征在于,沿所述测量臂(3)长度方向设置有纵向导轨(31),所述压力测量组件(1)滑动设置于所述纵向导轨(31)上。

5.根据权利要求3所述的高度测量装置,其特征在于,所述压力测量组件(1)还包括滑动设置于所述测量臂(3)上的固定筒(13),所述固定筒(13)的固定腔(131)开口朝下,所述压力传感器(11)固定于所述固定腔(131)内,所述测量探针(12)的顶端伸入所述固定腔(131)内通过弹簧(14)连接于所述压力传感器(11)底部,所述测量探针(12)的底端抵靠于所述平板装置(100)的表面,所述弹簧(14)能够通过自身压缩量的变化向所述压力传感器(11)传递对应的压力。

6.根据权利要求2-5任一所述的高度测量装置,其特征在于,还包括真空吸板(4),所述真空吸板(4)用于固定所述平板装置(100)。

7.根据权利要求6所述的高度测量装置,其特征在于,所述真空吸板(4)包括多个真空吸盘,多个所述真空吸盘分别连接于抽真空泵,多个所述真空吸盘用于固定所述平板装置(100)。

8.根据权利要求6所述的高度测量装置,其特征在于,所述真空吸板(4)一侧设置有横向导轨(41),所述横向导轨(41)沿所述凸起物(101)长度方向设置,所述测量臂(3)滑动设置于所述横向导轨(41)上。

9.根据权利要求1-5任一所述的高度测量装置,其特征在于,所述高度转换模块(2)包括显示屏(21),所述显示屏(21)能够显示所述高度数值。

10.根据权利要求1-5任一所述的高度测量装置,其特征在于,所述测量探针(12)抵靠于所述平板装置(100)表面的非凸起处时,所述高度转换模块(2)转换并显示的所述高度数值为零。

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