本发明涉及集成圆片加工技术领域，具体是一种高效的半导体集成圆片加工设备。
背景技术
在半导体集成圆片加工过程中经常需要利用激光探测装置对集成圆片内部进行检测看是否质量达标，目前市场上使用的激光检测装置设置模式较为单一，需要借助人力推动装置在集成圆片上前进，这样检测效率就十分低下，严重影响了加工效率。
技术实现要素：
本发明所要解决的技术问题是提供一种高效的半导体集成圆片加工设备，其能够解决上述现在技术中的问题。
本发明是通过以下技术方案来实现的：本发明的一种高效的半导体集成圆片加工设备，包括第一机体、设置于所述第一机体上的调节装置、左右相称设置于所述调节装置上的行走装置、设置于所述行走装置上端的光伏装置、设置于所述行走装置后侧的检测装置以及设置于所述检测装置上的标记装置，所述调节装置包括左右相称设置于所述第一机体内且端口分别朝向左右两侧的滑行腔，所述滑行腔内设置有可左右滑行且一端延长出端口外的滑行柱，所述滑行柱的外端固定连接有第二机体,左右相称设置的所述第二机体之间且位于所述第一机体上侧设置有第一接连块，所述第一接连块的左右两侧端面上转动配合连接有第一接连杆，左右相称设置的所述第一接连杆远离所述第一接连块的一端分别转动配合连接于所述第二机体的相对一侧端面上，所述滑行柱远离所述第二机体的一侧端面上固定设置有第一固定块，左右相称设置的所述滑行腔之间设置有第一腔体，所述第一机体内设置有通连所述第一腔体与所述滑行腔的第二腔体，所述第一腔体的前后侧内壁之间通过第一转轴转动配合连接有第一卷绕轮，所述第一卷绕轮上绕设有第一拉绳，所述第一拉绳的一端固定连接于所述第一固定块上，所述第一机体上侧端面的中部位置固定设置有第二固定块，所述第二固定块内设置有第一转腔，所述第一转腔的上侧内壁内设置有第一通连孔，所述第一转腔的右侧内壁内固定设置有第一驱动机，所述第一驱动机外侧设有承护组件，所述承护组件包括减震与金属降热片，所述第一驱动机的左端通过转轴动力配合连接有第二卷绕轮，所述第二卷绕轮与所述第一转腔转动配合连接，动力连接于所述第一驱动机左端的转轴与所述第一转腔的左侧内壁之间设置有第一密封圈，所述第二卷绕轮上绕设有第二拉绳，所述第二拉绳的上端延长通过所述第一通连孔固定配合连接于所述第一接连块的下侧端面上，所述行走装置包括设置于所述第二机体内第一凹陷腔，所述第一凹陷腔的下侧内壁上前后贯通且相通连的设置有第一驱动槽，所述第一凹陷腔内设置有通过第二转轴转动配合连接于所述第一凹陷腔左右侧内壁上的第一行走轮，所述第一凹陷腔远离所述第一机体的一侧内壁内设置有第一安装腔，所述第一安装腔内设置有第一齿形轮，所述第一齿形轮通过延长入所述第一安装腔内的所述第二转轴转动配合连接于所述第一安装腔的左右侧内壁之间，所述第一齿形轮上侧且位于所述第一安装腔内设置有与所述第一齿形轮配合连接的第二齿形轮，所述第二齿形轮通过第三转轴动力配合连接于固定设置在所述第二安装腔内壁内的第二驱动机上。
作为优选的技术方案，所述检测装置包括设置于所述第二机体后侧端面内的第一滑行槽，所述第一滑行槽的后侧内壁上设置有第一端口槽，所述第一滑行槽的下侧内壁内固定设置有第三驱动机，所述第三驱动机的上端动力配合连接有上端转动配合连接于所述第一滑行槽上侧内壁上的第一螺旋杆，所述第一滑行槽内设置有可上下滑行且与所述第一螺旋杆配合连接的第一滑行块，所述第二机体后侧设置有接连架，所述接连架内设置有端口向前方第二滑行槽，所述第二滑行槽的上侧内壁内设置有第二端口槽，所述第二滑行槽的下侧内壁内固定设置有第四驱动机，所述第四驱动机上端动力配合连接有上端转动配合连接于所述第一滑行槽上侧内壁上的第二螺旋杆，所述第二滑行槽内设置有可上下滑行且与所述第二螺旋杆配合连接的第二滑行块，所述第二机体与所述接连架之间设置有第二接连块，所述第二接连块前侧端面与所述第一滑行块后侧端面之间固定连接有可在所述第一端口槽内上下滑行的第一导块，所述第二接连块后侧端面与所述第二滑行块前侧端面之间固定连接有第二导块，所述第二接连块的下侧端面上通过接连柱固定连接有检测块，所述检测块内左右贯通设置有端口向下的通连腔，所述通连腔的上侧内壁及前后侧内壁上固定设置有激光检测头，本装置可通过下降所述检测块进而将集成圆片伸入所述通连腔内进而通过所述激光检测头对集成圆片进行检测探伤。
作为优选的技术方案，所述光伏装置包括设置于所述第二机体内且端口向上的第一端口腔，所述第一端口腔的下侧内壁内固定设置有第五驱动机，所述第一端口腔内转动配合设置有转块，所述转块的下侧端面通过转轴动力配合连接于所述第五驱动机的上端，所述转块内设置有端口向上的第二端口腔，所述第二端口腔下侧内壁的左端固定连接有安装块，所述转动安装块内固定设置有第六驱动机，所述第六驱动机右侧设置有固定连接于所述第二端口腔下侧内壁上的第三接连块，所述第六驱动机的右端动力配合连接有右端转动配合连接于所述第三接连块上的第三螺旋杆，所述第三螺旋杆上配合连接有下端面与所述第二端口腔下侧内壁滑行配合连接的第一导块，所述第三螺旋杆下侧的所述第二端口腔的下侧内壁上设置有端口向上的导腔，所述第一导块的下端固定连接有可在所述导腔内左右滑行的第二导块，所述第二端口腔下侧内壁的右端固定连接有第四接连块，所述第二端口腔内设置有架座，所述架座下侧端面的右端通过铰链转动配合连接于所述第四接连块的上端，所述架座的下侧端面上转动配合连接有第二接连杆，所述第二接连杆的下端转动配合连接于所述第一导块的上端，所述架座的上侧端面上固定设置有光伏板。
作为优选的技术方案，所述标记装置包括设置于所述第二接连块内的涂料槽以及固定连接于所述第二接连块下侧端面上的标记块，所述标记块内设置有通管，所述涂料槽与所述通管通过接连管相通连，所述接连管内壁内固定设置有第一单向阀，所述通管的下端端口处设置有第二单向阀，所述通管的上侧内壁内固定设置有液压缸，所述液压缸内配合连接有液压杆，所述液压杆的下端固定配合连接有与所述通管内壁滑行配合连接的活塞块。
作为优选的技术方案，所述接连架的后侧端面上固定连接有第三机体，所述第三机体内设置有第二凹陷腔，所述第二凹陷腔的下侧内壁内前后贯通设置有端口向下的第二驱动槽，所述第二凹陷腔的前后侧内壁之间通过转轴转动配合连接有第二行走轮。
作为优选的技术方案，所述第一转轴的前端向前延长出所述第一机体的前侧端面外且固定连接有盘体，所述盘体前侧端面的右端固定连接有手摇柄。
作为优选的技术方案，所述第一接连块的下侧端面上固定设置有第一缓冲垫，所述第二固定块的上侧端面上固定设置有第二缓冲垫，所述第一缓冲垫与所述第二缓冲垫有益与减小所述第一接连块下降时与所述第二固定块的缓冲。
作为优选的技术方案，所述安装块的上侧端面上固定设置有第三缓冲垫，所述第三缓冲垫可减小所述架座向下翻转至与所述安装块相接触时的缓冲。
作为优选的技术方案，所述第二机体内固定设置蓄电池，所述蓄电池与所述光伏板电性连接进而储存所述光伏板所转化的电能。
作为优选的技术方案，所述减震设置在所述第一驱动机的上端和下端且与所述第一驱动机固定连接，所述金属降热片设置在所述第一驱动机的前端和后端且与所述第一驱动机的外壳固定连接，所述金属降热片的上端和下端均与所述减震固定连接，所述第一驱动机的前端和后端分别设有三片以上的所述金属降热片。
本发明的有益效果是：本发明结构简单，操作方便，通过本装置进行集成圆片检测时，第一驱动机启动，进而通过转轴带动第二卷绕轮转动，进而将第二拉绳卷绕，此时第一接连块受到第二拉绳的拉力作用向下移动，进而推动第一接连杆转动，进而带动左右相称设置的第二机体相互远离至与集成圆片宽度相同的状态，此时工作人员可将本装置放置与集成圆片上，并保持集成圆片与第一行走轮以及第二行走轮相抵接状态，其中将左右设置的检测装置收缩可减小储存空间以及方便运输，此时第二驱动机转动，进而通过第三转轴带动第二齿形轮转动，进而通过第二齿形轮与第一齿形轮的啮合连接带动第一齿形轮转动，进而通过第二转轴带动第一行走轮转动，进而带动装置在集成圆片上前进，在此过程中，第六驱动机转动，进而通过第三螺旋杆带动第一导块向右移动，进而推动第二接连杆向上翻转，进而通过第二接连杆推动架座向上翻转，此时第五驱动机转动，进而通过转轴带动转块转动，此时通过第五驱动机与第六驱动机的配合转动进而带动架座最大限度对准太阳光，同时第三驱动机与第四驱动机同时启动，进而分别通过第一螺旋杆与第二螺旋杆带动第一滑行块与第二滑行块向下移动，进而带动第二接连块向下移动，进而带动检测块向下移动并将集成圆片伸入通连腔内，此时在前进的过程中可通过激光检测头检测集成圆片是否有损伤，当检测到集成圆片损伤时，液压缸启动，进而通过液压杆带动活塞块在通管内向下挤压涂料进而对该段集成圆片进行标记，在此过程中，活塞块下降时第一单向阀关闭第二单向阀导通，此时可将通管内的涂料挤出，当活塞块上升时，第二单向阀关闭第一单向阀导通，此时涂料槽内的涂料可通过接连管进入到通管内进而准备下次标记，通过本装置对集成圆片进行检测不仅加快了检测效率，节省了人力，同时本装置还具有体积小的特点，在检测到集成圆片出现损伤时，本装置还可以对出现损伤的部位进行标记并记录方便后期工作人员进行处理。
附图说明
为了易于说明，本发明由下述的具体实施例及附图作以详细描述。
图1为本发明的一种高效的半导体集成圆片加工设备的内部结构示意图；
图2为本装置的右视图；
图3为图1中“a”的放大示意图；
图4为图1中“b”的放大示意图；
图5为图2中“c”的放大示意图。
具体实施方式
如图1-图5所示，本发明的一种高效的半导体集成圆片加工设备,包括第一机体29、设置于所述第一机体29上的调节装置、左右相称设置于所述调节装置上的行走装置、设置于所述行走装置上端的光伏装置、设置于所述行走装置后侧的检测装置以及设置于所述检测装置上的标记装置，所述调节装置包括左右相称设置于所述第一机体29内且端口分别朝向左右两侧的滑行腔31，所述滑行腔31内设置有可左右滑行且一端延长出端口外的滑行柱32，所述滑行柱32的外端固定连接有第二机体11,左右相称设置的所述第二机体11之间且位于所述第一机体29上侧设置有第一接连块53，所述第一接连块53的左右两侧端面上转动配合连接有第一接连杆51，左右相称设置的所述第一接连杆51远离所述第一接连块53的一端分别转动配合连接于所述第二机体11的相对一侧端面上，所述滑行柱32远离所述第二机体11的一侧端面上固定设置有第一固定块33，左右相称设置的所述滑行腔31之间设置有第一腔体36，所述第一机体29内设置有通连所述第一腔体36与所述滑行腔31的第二腔体35，所述第二腔体35的前后侧内壁之间通过第一转轴39转动配合连接有第一卷绕轮37，所述第一卷绕轮37上绕设有第一拉绳34，所述第一拉绳34的一端固定连接于所述第一固定块33上，所述第一机体29上侧端面的中部位置固定设置有第二固定块42，所述第二固定块42内设置有第一转腔43，所述第一转腔43的上侧内壁内设置有第一通连孔45，所述第一转腔43的右侧内壁内固定设置有第一驱动机48，所述第一驱动机48外侧设有承护组件，所述承护组件包括减震481与金属降热片482，所述第一驱动机48的左端通过转轴动力配合连接有第二卷绕轮46，所述第二卷绕轮46与所述第一转腔43转动配合连接，动力连接于所述第一驱动机48左端的转轴与所述第一转腔43的左侧内壁之间设置有第一密封圈47，所述第二卷绕轮46上绕设有第二拉绳49，所述第二拉绳49的上端延长通过所述第一通连孔45固定配合连接于所述第一接连块53的下侧端面上，所述行走装置包括设置于所述第二机体11内第一凹陷腔27，所述第一凹陷腔27的下侧内壁上前后贯通且相通连的设置有第一驱动槽72，所述第一凹陷腔27内设置有通过第二转轴26转动配合连接于所述第一凹陷腔27左右侧内壁上的第一行走轮28，所述第一凹陷腔27远离所述第一机体29的一侧内壁内设置有第一安装腔21，所述第一安装腔21内设置有第一齿形轮25，所述第一齿形轮25通过延长入所述第一安装腔21内的所述第二转轴26转动配合连接于所述第一安装腔21的左右侧内壁之间，所述第一齿形轮25上侧且位于所述第一安装腔21内设置有与所述第一齿形轮25配合连接的第二齿形轮22，所述第二齿形轮22通过第三转轴23动力配合连接于固定设置在所述第二安装腔21内壁内的第二驱动机24上。
有益地，所述检测装置包括设置于所述第二机体11后侧端面内的第一滑行槽75，所述第一滑行槽75的后侧内壁上设置有第一端口槽76，所述第一滑行槽75的下侧内壁内固定设置有第三驱动机73，所述第三驱动机73的上端动力配合连接有上端转动配合连接于所述第一滑行槽75上侧内壁上的第一螺旋杆74，所述第一滑行槽75内设置有可上下滑行且与所述第一螺旋杆74配合连接的第一滑行块77，所述第二机体11后侧设置有接连架93，所述接连架93内设置有端口向前方第二滑行槽94，所述第二滑行槽94的上侧内壁内设置有第二端口槽96，所述第二滑行槽94的下侧内壁内固定设置有第四驱动机97，所述第四驱动机97上端动力配合连接有上端转动配合连接于所述第一滑行槽75上侧内壁上的第二螺旋杆90，所述第二滑行槽94内设置有可上下滑行且与所述第二螺旋杆90配合连接的第二滑行块95，所述第二机体11与所述接连架93之间设置有第二接连块79，所述第二接连块79前侧端面与所述第一滑行块77后侧端面之间固定连接有可在所述第一端口槽76内上下滑行的第一导块78，所述第二接连块79后侧端面与所述第二滑行块95前侧端面之间固定连接有第二导块92，所述第二接连块79的下侧端面上通过接连柱81固定连接有检测块105，所述检测块105内左右贯通设置有端口向下的通连腔103，所述通连腔103的上侧内壁及前后侧内壁上固定设置有激光检测头104，本装置可通过下降所述检测块105进而将集成圆片伸入所述通连腔103内进而通过所述激光检测头104对集成圆片进行检测探伤。
有益地，所述光伏装置包括设置于所述第二机体11内且端口向上的第一端口腔54，所述第一端口腔54的下侧内壁内固定设置有第五驱动机58，所述第一端口腔54内转动配合设置有转块56，所述转块56的下侧端面通过转轴动力配合连接于所述第五驱动机58的上端，所述转块56内设置有端口向上的第二端口腔65，所述第二端口腔65下侧内壁的左端固定连接有安装块63，所述转动安装块63内固定设置有第六驱动机62，所述第六驱动机62右侧设置有固定连接于所述第二端口腔65下侧内壁上的第三接连块57，所述第六驱动机62的右端动力配合连接有右端转动配合连接于所述第三接连块57上的第三螺旋杆66，所述第三螺旋杆66上配合连接有下端面与所述第二端口腔65下侧内壁滑行配合连接的第一导块67，所述第三螺旋杆66下侧的所述第二端口腔65的下侧内壁上设置有端口向上的导腔61，所述第一导块67的下端固定连接有可在所述导腔61内左右滑行的第二导块，所述第二端口腔65下侧内壁的右端固定连接有第四接连块55，所述第二端口腔65内设置有架座71，所述架座71下侧端面的右端通过铰链转动配合连接于所述第四接连块55的上端，所述架座71的下侧端面上转动配合连接有第二接连杆68，所述第二接连杆68的下端转动配合连接于所述第一导块67的上端，所述架座71的上侧端面上固定设置有光伏板69。
有益地，所述标记装置包括设置于所述第二接连块79内的涂料槽82以及固定连接于所述第二接连块79下侧端面上的标记块87，所述标记块87内设置有通管88，所述涂料槽82与所述通管88通过接连管86相通连，所述接连管86内壁内固定设置有第一单向阀91，所述通管88的下端端口处设置有第二单向阀89，所述通管88的上侧内壁内固定设置有液压缸83，所述液压缸83内配合连接有液压杆84，所述液压杆84的下端固定配合连接有与所述通管88内壁滑行配合连接的活塞块85。
有益地，所述接连架93的后侧端面上固定连接有第三机体98，所述第三机体98内设置有第二凹陷腔99，所述第二凹陷腔99的下侧内壁内前后贯通设置有端口向下的第二驱动槽102，所述第二凹陷腔99的前后侧内壁之间通过转轴转动配合连接有第二行走轮101。
有益地，所述第一转轴39的前端向前延长出所述第一机体29的前侧端面外且固定连接有盘体38，所述盘体38前侧端面的右端固定连接有手摇柄41。
有益地，所述第一接连块53的下侧端面上固定设置有第一缓冲垫52，所述第二固定块52的上侧端面上固定设置有第二缓冲垫44，所述第一缓冲垫52与所述第二缓冲垫44有益与减小所述第一接连块53下降时与所述第二固定块52的缓冲。
有益地，所述安装块63的上侧端面上固定设置有第三缓冲垫64，所述第三缓冲垫64可减小所述架座71向下翻转至与所述安装块63相接触时的缓冲。
有益地，所述第二机体11内固定设置蓄电池12，所述蓄电池12与所述光伏板69电性连接进而储存所述光伏板69所转化的电能。
有益地，所述减震481设置在所述第一驱动机48的上端和下端且与所述第一驱动机48固定连接，所述金属降热片482设置在所述第一驱动机48的前端和后端且与所述第一驱动机48的外壳固定连接，所述金属降热片482的上端和下端均与所述减震481固定连接，所述第一驱动机48的前端和后端分别设有三片以上的所述金属降热片482，所述金属降热片482用以吸收并散发所述第一驱动机48运行时产生的热量，所述减震481用以减少所述第一驱动机48在运行时产生的震动力，防止震动力过大而影响本装置的正常运行。
初始状态时，工作人员通过手摇柄41转动盘体38进而带动第一卷绕轮37收紧第一拉绳34，此时滑行柱32最大限度缩回滑行腔31内，此时左右相称设置的第一接连杆51绕设与第一接连块53的连接铰链最大限度向下翻转，此时左右相称设置的第二机体11最大限度相互靠近，此时第一滑行块77与第二滑行块95分别在第一滑行槽75及第二滑行槽94内最大限度上升，此时第二接连块79最大限度上升远离地面，同时液压杆84最大限度缩回液压缸83内，进而带动活塞块85在通管88内最大限度上升，同时第一导块67最大限度向左移动，此时架座71缩回第二端口腔65内，此时架座71的下侧端面与第三缓冲垫64的上侧端面相抵接。
通过本装置进行集成圆片检测时，第一驱动机48启动，进而通过转轴带动第二卷绕轮46转动，进而将第二拉绳49卷绕，此时第一接连块53受到第二拉绳49的拉力作用向下移动，进而推动第一接连杆51转动，进而带动左右相称设置的第二机体11相互远离至与集成圆片宽度相同的状态，此时工作人员可将本装置放置与集成圆片上，并保持集成圆片与第一行走轮28以及第二行走轮101相抵接状态，此时第二驱动机24转动，进而通过第三转轴23带动第二齿形轮22转动，进而通过第二齿形轮22与第一齿形轮25的啮合连接带动第一齿形轮25转动，进而通过第二转轴26带动第一行走轮28转动，进而带动装置在集成圆片上前进，在此过程中，第六驱动机62转动，进而通过第三螺旋杆66带动第一导块67向右移动，进而推动第二接连杆68向上翻转，进而通过第二接连杆68推动架座71向上翻转，此时第五驱动机58转动，进而通过转轴带动转块56转动，此时通过第五驱动机58与第六驱动机62的配合转动进而带动架座71最大限度对准太阳光，同时第三驱动机73与第四驱动机97同时启动，进而分别通过第一螺旋杆74与第二螺旋杆90带动第一滑行块77与第二滑行块95向下移动，进而带动第二接连块79向下移动，进而带动检测块105向下移动并将集成圆片伸入通连腔103内，此时在前进的过程中可通过激光检测头104检测集成圆片是否有损伤，当检测到集成圆片损伤时，液压缸83启动，进而通过液压杆84带动活塞块85在通管88内向下挤压涂料进而对该段集成圆片进行标记，在此过程中，活塞块85下降时第一单向阀91关闭第二单向阀89导通，此时可将通管88内的涂料挤出，当活塞块85上升时，第二单向阀89关闭第一单向阀91导通，此时涂料槽82内的涂料可通过接连管86进入到通管88内进而准备下次标记。
本发明的有益效果是：本发明结构简单，操作方便，通过本装置进行集成圆片检测时，第一驱动机启动，进而通过转轴带动第二卷绕轮转动，进而将第二拉绳卷绕，此时第一接连块受到第二拉绳的拉力作用向下移动，进而推动第一接连杆转动，进而带动左右相称设置的第二机体相互远离至与集成圆片宽度相同的状态，此时工作人员可将本装置放置与集成圆片上，并保持集成圆片与第一行走轮以及第二行走轮相抵接状态，其中将左右设置的检测装置收缩可减小储存空间以及方便运输，此时第二驱动机转动，进而通过第三转轴带动第二齿形轮转动，进而通过第二齿形轮与第一齿形轮的啮合连接带动第一齿形轮转动，进而通过第二转轴带动第一行走轮转动，进而带动装置在集成圆片上前进，在此过程中，第六驱动机转动，进而通过第三螺旋杆带动第一导块向右移动，进而推动第二接连杆向上翻转，进而通过第二接连杆推动架座向上翻转，此时第五驱动机转动，进而通过转轴带动转块转动，此时通过第五驱动机与第六驱动机的配合转动进而带动架座最大限度对准太阳光，同时第三驱动机与第四驱动机同时启动，进而分别通过第一螺旋杆与第二螺旋杆带动第一滑行块与第二滑行块向下移动，进而带动第二接连块向下移动，进而带动检测块向下移动并将集成圆片伸入通连腔内，此时在前进的过程中可通过激光检测头检测集成圆片是否有损伤，当检测到集成圆片损伤时，液压缸启动，进而通过液压杆带动活塞块在通管内向下挤压涂料进而对该段集成圆片进行标记，在此过程中，活塞块下降时第一单向阀关闭第二单向阀导通，此时可将通管内的涂料挤出，当活塞块上升时，第二单向阀关闭第一单向阀导通，此时涂料槽内的涂料可通过接连管进入到通管内进而准备下次标记，通过本装置对集成圆片进行检测不仅加快了检测效率，节省了人力，同时本装置还具有体积小的特点，在检测到集成圆片出现损伤时，本装置还可以对出现损伤的部位进行标记并记录方便后期工作人员进行处理。
以上所述，仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何不经过创造性劳动想到的变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应该以权利要求书所限定的保护范围为准。