1.一种假冒翻新塑封器件识别方法,其特征在于,包括以下步骤:
S1:运用显微镜放大检查器件的外观物理特征;
S2:利用X射线检查器件的内部物理特征;
S3:通过声学扫描显微镜检查器件的内部物理特征;
S4:通过激光开封与酸开封结合的方式去除器件的包封料;
S5:运用显微镜对器件的内部物理特征进行微观检查;
S6:对器件内部的键合引线材料进行能谱分析;
S7:运用扫描电子显微镜检查芯片结构特征;
S8:判断器件的外观物理特征、内部物理特征、键合引线材料、芯片结构特征是否与原厂器件一致,如果其中任意一项或多项不一致,则判断该器件为假冒翻新器件。
2.如权利要求1所述的方法,其特征在于,
在步骤S1中,在三维视频显微镜下放大3倍~200倍来检查器件的外观物理特征,所述器件的外观物理特征包括:标志信息、定位标识、塑封形貌、引出端形貌、尺寸及重量。
3.如权利要求1或2所述的方法,其特征在于,
所述器件的内部物理特征包括:芯片、引线框架、基板的形貌;键合引线材料及互联方式;内部缺陷。
4.如权利要求3所述的方法,其特征在于,
所述内部缺陷包括分层和空洞。
5.如权利要求1-4中任意一项所述的方法,其特征在于,
在步骤S4中,首先利用激光对将要酸开封的区域进行刻蚀,然后通过酸蚀刻去除覆盖在芯片表面的塑封材料,以去除器件的包封料,暴露器件的内部形貌。
6.如权利要求1-5中任意一项所述的方法,其特征在于,
在步骤S5中,运用三维视频显微镜放大3倍~100倍及金相显微镜放大50倍~200倍对器件的内部物理特征进行微观检查。
7.如权利要求1-6中任意一项所述的方法,其特征在于,
在步骤S6中,运用能谱分析仪检查键合引线材料。
8.如权利要求1-7中任意一项所述的方法,其特征在于,
在步骤S7中,运用扫描电子显微镜检查芯片的晶圆钝化层和金属化层的结构。